VCM ステージ XV series XYV series 薄型VCM ステージ 薄型で高精度・高推力 薄型 VCM Xステージ(XVシリーズ), XYステージ(XYV シリーズ) 特長 ・ ス ク エ ア コ イ ル 式 採 用 に よ り 薄型で高推力を実現 ・ 1 軸Xステージに加え、 2軸XYステージも展開 ・ ボイスコイルモータをステージの重心側に内蔵したコンパクト設計 ・ ガイドに精密クロスローラガイドを採用し高い真直精度を達成 ・ 弊社独自の小型リニアエンコーダ ( 光学反射型 ) を組込み、 コスト低減を実現。リミットセンサ付きはオプション ・ 温度センサ ( サーミスタ ) を標準装備 ( サーモスタットはオプション) 仕様 型式 項目 XV002C-4 XV003C-8 XYV003C-8 駆動形態 コイル可動式 コイル可動式 コイル可動式 相・極数 1相 ・ 2極 1相 ・ 2極 1相 ・ 2極 有効ストローク ±2mm ±4mm ±4mm 最大ストローク ±2.2mm ±4.2mm ±4.2mm コイル線材 2LOCKY1 Φ0.21 2LOCKY1 Φ0.21 2LOCKY1 Φ0.21 コイル巻数 320T 320T 320T コイル抵抗 8.3Ω±10% 10.3Ω±10% 10.3Ω±10% 3.14mH±10% 3.38mH±10% 4.24mH±10% 2N/A 3N/A 3N/A インダクタンス 推力定数 ガイド クロスローラガイド クロスローラガイド クロスローラガイド 水平:2μm 垂直:2μm 水平:2μm 垂直:2μm 水平:2μm 垂直:2μm 可動部重量 30g 45g 200g 最大搭載荷重(水平使用時) 1kg 1kg 800g 約126g 約180g 約400g 1μm、0.5μm、0.1μm選択可 ← ← 真直精度 本体重量 最小分解能 XV002C-4 外形寸法図 32 26.5 6-M2 貫通 (有効深さ 3.5) 9 29 36 40 41.6 3 ・ 推力特性 4 31 3.5 36.35 推力(N) 24.2 3 2.5 2 1.5 1 -2 -1.5 -1 -0.5 0 0.5 1 1.5 24.7 1.6 3.5 24 25.9 27.5 ストローク(mm) クロスローラー モーターコネクタ (JST コネクタ SB04B-GHS-TB) 0.1 13.1 エンコーダコネクタ (JST コネクタ SB08B-GHS-TB) スライダー ベース 2 XV003C-8 外形寸法図 Slider Base 6-M2貫通 (有効深さ3.5mm) FPCB 60.6 32 14.05 encoder ・推力特性 5 32 50 推力(N) 4 3 16 2 1 -4 -3 -2 -1 0 1 2 3 4 2 3 4 2 3 4 9 ストローク(mm) 7 モーターコネクタ (JST コネクタ SB04B-GHS-TB) 13.1 クロスローラー XYV003C-8 外形寸法図 XV003C-8 を基本に、 X ステージのスライダーがYステージの ベースを兼ね、 薄型を実現したXYステージ 14.05 60.6 32 9 16 ・推力特性 50 モーターコネクタ (JST コネクタ SM04B-GHS-TB) Xステージ 5 16 10 (X原点位置) 6-M2貫通 (有効深さ3.5mm) エンコーダコネクタ (JST コネクタ SM08B-GHS-TB) 2.5 (Y原点位置) 推力(N) 4 3 2 1 -4 -3 -2 -1 0 1 ストローク(mm) Yステージ 5 推力(N) 4 3 2 1 -4 -3 -2 -1 0 1 ストローク(mm) 18.1 22.5 1.6 2.2 23.9 27.5 24.3 XV003C-50 外形寸法図 ※1 薄型でストローク50mmを実現したVCM Xステージ Slider 25 0 5 encoder connector 20 50 65 100 35 Motor connector 80 magnet Base 95 Cross roller Coil 72.5 2.5 2.5 10 85 ・推力特性 95 5 推力(N) 4 3 2 80 2.5 1 -25 -18 -12 -6 0 6 12 18 25 ストローク(mm) XYV003C-50 外形寸法図 ※1 XV003C-50を基本に、薄型でストローク50mmを実現したVCM XYステージ ・推力特性 Xステージ 5 推力(N) 4 3 100 2 1 -25 -18 -12 -6 0 6 12 18 25 12 18 25 ストローク(mm) Yステージ 5 100 4 推力(N) ※稼働時 3 2 1 -25 -18 -12 -6 0 6 22 ストローク(mm) ※1. XV003C-50、及びXYV003C-50の詳細仕様につきましては只今準備中です。 別途お問合せください。 VCM ステージ 単相モータで推力リップルがなく高精度 VCM ステージ XV シリーズ 特長 ・ ボイスコイルモータをステージの重心側に内蔵したコンパクトな設計 ・ 平角コイルを使ったフラットコイル式を採用。 当社従来品より 15%以上の推力アップを実現 ・ ガイドに精密クロスローラガイドを採用し高い真直精度を達成 ・ ダイレクトドライブ制御でボールネジのピッチムラがなく、 速度制御に最適 ・ DC モータと同様に制御回路が簡単で、 アナログ ( 電圧) 入力の制御も可能 ・ レンズ等の光学部品を一体型テーブルに固定でき、 高剛性で高速スキャニングが可能 ・ 弊社独自の小型リニアエンコーダ ( 光学反射型 ) を組込み、 コスト低減を実現。 リミットセンサ付きはオプション ・ 温度センサ ( サーミスタ ) を標準装備 ( サーモスタットはオプション) 仕様 型式 XV015F-10 XV005F-6 XV005F-6S16 駆動形態 コイル可動式 コイル可動式 コイル可動式 相・極数 1相 ・ 6極 1相 ・ 4極 1相 ・ 4極 有効ストローク ±5mm ±3mm ±3mm 最大ストローク ±7mm ±3.5mm ±3.5mm コイル線材 平角線材 H種(180℃) 平角線材 H種(180℃) 平角線材 H種(180℃) コイル巻数 320T 100T 100T コイル抵抗 7.5Ω±10% 1.5Ω±10% 1.5Ω±10% 2.73mH±10% 320μH±10% 320μH±10% 項目 インダクタンス 推力定数 15N/A 5N/A 5N/A クロスローラガイド クロスローラガイド クロスローラガイド 水平:2μm 垂直:2μm 水平:2μm 垂直:2μm 水平:2μm 垂直:2μm 130g 105g 125g ガイド 真直精度 可動部重量 最大搭載荷重(水平使用時) 2kg 1kg 1kg 約800g 約400g 約400g 1μm、0.5μm、0.1μm選択可 ← ← 本体重量 最小分解能 XV015F-10 外形寸法図 85 15 20 15 2 M 8- 5 80.85 35 51.5 45 6.15 穴 用 ジ 3ネ M 4- ・ 推力特性 20 8.5 推力(N) 18 27 16 14 12 10 encoder case -7 -6 -5 -4 -3 -2 -1 34.3 ±0.2 51.5 92 0 1 2 ストローク(mm) 60 3 4 5 6 7 motor cable XV005F-6 外形寸法図 46 30 23 3- 2貫通 (有効深さ8.0) 15 10 8-M2 貫通 (有効深さ8.0) ・推力特性 10 7 推力(N) 10 6 5 4 3 -7 -6 -5 -4 -3 -2 -1 0 1 2 3 最大stroke = 3.5mm Motor connector Encoder connector 6 7 有効stroke = 3 mm 30 3.4 37.1 5 最大stroke = 3.5mm 有効stroke = 3 mm 31.1 29.6 4 ストローク(mm) 70 35 50 5 25 2 4-M3 長さ 12mm採用 60 61.2 75.8 XV005F-6S16 外形寸法図 可動テーブルにはレンズが装着でき、 高速スキャニングが可能 用途 : 産業用 AF ユニット ・推力特性 7 推力(N) 6 5 4 3 2 -7 -6 -5 -4 -3 -2 -1 0 1 2 3 4 5 6 7 4-M3 長さ 12mm採用 レンズー枠 15 70 50 35 25 ストローク(mm) 適用レンズホルダ : Edmund Optics 社 S-Mount Thin Lens Mount (10mm Diameter) 7.5 30 最大stroke = 3.5mm 有効stroke = 3 mm 最大stroke =3.5mm 有効stroke = 3 mm Motor connector 75.8 61.1 61.2 46.1 37.1 3.4 29.6 31.1 Encoder connector 30 60 ※ ドライバはデジタルサーボドライバ、 リニアアンプ駆動ドライバ等を別途ご用意しております。 詳細はお問合せください。 カスタマイズにも対応します。 ご相談ください。 テクノハンズ株式会社 〒222-0037 神奈川県横浜市港北区大倉山 6-29-34-103 TEL : 045-547-6971 FAX : 045-547-6976 www.technohands.co.jp 本カタログの記載内容は、改良等のため予告なしに変更することがあります。 1503
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