VCMステージカタログ

VCM ステージ
XV series
XYV series
薄型VCM ステージ
薄型で高精度・高推力
薄型 VCM Xステージ(XVシリーズ), XYステージ(XYV シリーズ)
特長
・ ス ク エ ア コ イ ル 式 採 用 に よ り 薄型で高推力を実現
・ 1 軸Xステージに加え、 2軸XYステージも展開
・ ボイスコイルモータをステージの重心側に内蔵したコンパクト設計
・ ガイドに精密クロスローラガイドを採用し高い真直精度を達成
・ 弊社独自の小型リニアエンコーダ ( 光学反射型 ) を組込み、 コスト低減を実現。リミットセンサ付きはオプション
・ 温度センサ ( サーミスタ ) を標準装備 ( サーモスタットはオプション)
仕様
型式
項目
XV002C-4
XV003C-8
XYV003C-8
駆動形態
コイル可動式
コイル可動式
コイル可動式
相・極数
1相 ・ 2極
1相 ・ 2極
1相 ・ 2極
有効ストローク
±2mm
±4mm
±4mm
最大ストローク
±2.2mm
±4.2mm
±4.2mm
コイル線材
2LOCKY1 Φ0.21
2LOCKY1 Φ0.21
2LOCKY1 Φ0.21
コイル巻数
320T
320T
320T
コイル抵抗
8.3Ω±10%
10.3Ω±10%
10.3Ω±10%
3.14mH±10%
3.38mH±10%
4.24mH±10%
2N/A
3N/A
3N/A
インダクタンス
推力定数
ガイド
クロスローラガイド
クロスローラガイド
クロスローラガイド
水平:2μm 垂直:2μm
水平:2μm 垂直:2μm
水平:2μm 垂直:2μm
可動部重量
30g
45g
200g
最大搭載荷重(水平使用時)
1kg
1kg
800g
約126g
約180g
約400g
1μm、0.5μm、0.1μm選択可
←
←
真直精度
本体重量
最小分解能
XV002C-4 外形寸法図
32
26.5
6-M2 貫通
(有効深さ 3.5)
9
29
36
40
41.6
3
・ 推力特性
4
31
3.5
36.35
推力(N)
24.2
3
2.5
2
1.5
1
-2
-1.5
-1
-0.5
0
0.5
1
1.5
24.7
1.6
3.5
24
25.9
27.5
ストローク(mm)
クロスローラー
モーターコネクタ
(JST コネクタ SB04B-GHS-TB)
0.1
13.1
エンコーダコネクタ
(JST コネクタ SB08B-GHS-TB)
スライダー
ベース
2
XV003C-8 外形寸法図
Slider
Base
6-M2貫通
(有効深さ3.5mm)
FPCB
60.6
32
14.05
encoder
・推力特性
5
32
50
推力(N)
4
3
16
2
1
-4
-3
-2
-1
0
1
2
3
4
2
3
4
2
3
4
9
ストローク(mm)
7
モーターコネクタ
(JST コネクタ SB04B-GHS-TB)
13.1
クロスローラー
XYV003C-8 外形寸法図
XV003C-8 を基本に、 X ステージのスライダーがYステージの
ベースを兼ね、 薄型を実現したXYステージ
14.05
60.6
32
9
16
・推力特性
50
モーターコネクタ
(JST コネクタ SM04B-GHS-TB)
Xステージ
5
16
10 (X原点位置)
6-M2貫通
(有効深さ3.5mm)
エンコーダコネクタ
(JST コネクタ SM08B-GHS-TB) 2.5 (Y原点位置)
推力(N)
4
3
2
1
-4
-3
-2
-1
0
1
ストローク(mm)
Yステージ
5
推力(N)
4
3
2
1
-4
-3
-2
-1
0
1
ストローク(mm)
18.1
22.5
1.6
2.2
23.9
27.5
24.3
XV003C-50 外形寸法図
※1
薄型でストローク50mmを実現したVCM Xステージ
Slider
25
0
5
encoder connector
20
50
65
100
35
Motor connector
80
magnet
Base
95
Cross roller
Coil
72.5
2.5
2.5
10
85
・推力特性
95
5
推力(N)
4
3
2
80
2.5
1
-25
-18
-12
-6
0
6
12
18
25
ストローク(mm)
XYV003C-50 外形寸法図
※1
XV003C-50を基本に、薄型でストローク50mmを実現したVCM XYステージ
・推力特性
Xステージ
5
推力(N)
4
3
100
2
1
-25
-18
-12
-6
0
6
12
18
25
12
18
25
ストローク(mm)
Yステージ
5
100
4
推力(N)
※稼働時
3
2
1
-25
-18
-12
-6
0
6
22
ストローク(mm)
※1. XV003C-50、及びXYV003C-50の詳細仕様につきましては只今準備中です。
別途お問合せください。
VCM ステージ
単相モータで推力リップルがなく高精度
VCM ステージ XV シリーズ
特長
・ ボイスコイルモータをステージの重心側に内蔵したコンパクトな設計
・ 平角コイルを使ったフラットコイル式を採用。 当社従来品より 15%以上の推力アップを実現
・ ガイドに精密クロスローラガイドを採用し高い真直精度を達成
・ ダイレクトドライブ制御でボールネジのピッチムラがなく、 速度制御に最適
・ DC モータと同様に制御回路が簡単で、 アナログ ( 電圧) 入力の制御も可能
・ レンズ等の光学部品を一体型テーブルに固定でき、 高剛性で高速スキャニングが可能
・ 弊社独自の小型リニアエンコーダ ( 光学反射型 ) を組込み、 コスト低減を実現。 リミットセンサ付きはオプション
・ 温度センサ ( サーミスタ ) を標準装備 ( サーモスタットはオプション)
仕様
型式
XV015F-10
XV005F-6
XV005F-6S16
駆動形態
コイル可動式
コイル可動式
コイル可動式
相・極数
1相 ・ 6極
1相 ・ 4極
1相 ・ 4極
有効ストローク
±5mm
±3mm
±3mm
最大ストローク
±7mm
±3.5mm
±3.5mm
コイル線材
平角線材 H種(180℃)
平角線材 H種(180℃)
平角線材 H種(180℃)
コイル巻数
320T
100T
100T
コイル抵抗
7.5Ω±10%
1.5Ω±10%
1.5Ω±10%
2.73mH±10%
320μH±10%
320μH±10%
項目
インダクタンス
推力定数
15N/A
5N/A
5N/A
クロスローラガイド
クロスローラガイド
クロスローラガイド
水平:2μm 垂直:2μm
水平:2μm 垂直:2μm
水平:2μm 垂直:2μm
130g
105g
125g
ガイド
真直精度
可動部重量
最大搭載荷重(水平使用時)
2kg
1kg
1kg
約800g
約400g
約400g
1μm、0.5μm、0.1μm選択可
←
←
本体重量
最小分解能
XV015F-10 外形寸法図
85
15
20
15
2
M
8-
5
80.85
35
51.5
45
6.15
穴
用
ジ
3ネ
M
4-
・ 推力特性
20
8.5
推力(N)
18
27
16
14
12
10
encoder case
-7 -6 -5 -4 -3 -2 -1
34.3 ±0.2
51.5
92
0
1
2
ストローク(mm)
60
3
4
5
6
7
motor cable
XV005F-6 外形寸法図
46
30
23
3- 2貫通
(有効深さ8.0)
15
10
8-M2 貫通
(有効深さ8.0)
・推力特性
10
7
推力(N)
10
6
5
4
3
-7 -6 -5 -4 -3 -2 -1
0
1
2
3
最大stroke = 3.5mm
Motor connector
Encoder connector
6
7
有効stroke = 3 mm
30
3.4
37.1
5
最大stroke = 3.5mm
有効stroke = 3 mm
31.1
29.6
4
ストローク(mm)
70
35
50
5
25
2
4-M3 長さ 12mm採用
60
61.2
75.8
XV005F-6S16 外形寸法図
可動テーブルにはレンズが装着でき、 高速スキャニングが可能
用途 : 産業用 AF ユニット
・推力特性
7
推力(N)
6
5
4
3
2
-7 -6 -5 -4 -3 -2 -1
0
1
2
3
4
5
6
7
4-M3 長さ 12mm採用
レンズー枠
15
70
50
35
25
ストローク(mm)
適用レンズホルダ :
Edmund Optics 社
S-Mount Thin Lens Mount
(10mm Diameter)
7.5
30
最大stroke = 3.5mm
有効stroke = 3 mm
最大stroke =3.5mm
有効stroke = 3 mm
Motor connector
75.8
61.1
61.2
46.1
37.1
3.4
29.6
31.1
Encoder connector
30
60
※ ドライバはデジタルサーボドライバ、 リニアアンプ駆動ドライバ等を別途ご用意しております。 詳細はお問合せください。
カスタマイズにも対応します。 ご相談ください。
テクノハンズ株式会社
〒222-0037 神奈川県横浜市港北区大倉山 6-29-34-103
TEL : 045-547-6971
FAX : 045-547-6976
www.technohands.co.jp
本カタログの記載内容は、改良等のため予告なしに変更することがあります。
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