ガス流量制御ボックス ●MFC１台と制御系・ガス系をワンボックスに収納 AC１００V と配管接続でご使用頂けます。 ●高精度、高速応答 MFC 搭載デジタル MFC 搭載可能（標準：アナログ MFC） ●コンパクトサイズ H：222×W：260×D：280 (mm) ●各種ガス流量制御ユニットとして大学や企業の研究所など各種試験や研究用途に最適です。仕様（対応ガス種：不活性ガス）品番 *F*** － ** サイズ H：222×W：260×D：280 (mm) 入力電源 AC85V～264V 消費電流 MAX：350ｍA 流量制御範囲 2%～100％F.S. （N2 換算：10SCCM～50SLM）流量制御 ※＊は、MFC シリーズ、F.S.流量及びガス種 ※F.S.流量は、搭載 MFC に準ずる MFC：FCST1000 シリーズ（アナログ/デジタル/MG・MR） ※1 デジタル MFC：デジタル通信 RJ485（RJ11 コネクタ）流量設定 0～5V ポテンションメータ流量設定/出力表示 0.0～100.0％表示（デジタルパネルメーター）表示切替（設定/出力）トグルスイッチにより切替 OPEN/CLOSE OPEN/CLOSE 信号入力時のみ INRET、OUTRET バルブダイヤフラム手動バルブ ※電磁弁搭載可能圧力設定減圧弁 P1：24MPa max 表示圧力範囲 0～0.7MPa 外部リーク量 ≦5×10-7Pa・ｍ3/sec He 耐圧 0.7MPa 接ガス部材質 SUS316、磁性ステンレス、PTFE、フッ素ゴム又はクロロプレンゴム配管接続 1/4″F900 （1/4″SW 相当）使用環境温度 5～50℃ 精度保証範囲（15℃～35℃）湿度 30％～80％（結露無き事）重量 7.5 ㎏外部入力本体背面、デジタル通信用 RJ11 用ソケット付属品 AC ケーブル（2m）、バンド取手（左右各 1）、取扱説明書、※2 USB ケーブル P2：搭載 MFC に準ずる ※デジタル MFC 搭載の場合 ※1 搭載 MF C（ガス種・流量）の仕様についてはご相談下さい。 ※2 デジタルマスフロー搭載の場合 FCON FCON201309 外観外形寸法：H222×W260×D280(mm) AC100V と INRET/OUTRET をお繋ぎ頂くだけで高精度なガス流量制御が行えます。 INRET/OUTRET にダイヤフラムバルブを配置していますので容易にガスの遮断が可能です。配管接続は 1/4″F900（1/4″SWL 相当）を使用していますので容易に配管接続が可能です。デジタル MFC 搭載の場合、アプリケーションソフトにより PC からのデジタル制御やプログラム制御も可能です。通常のガス制御システムとしてのご使用はもちろん、各種試験や研究などにも最適です。型式選択 □-F□□□-□□ ③ ② ① ①MFC タイプ L：FCST1000L シリーズ F：FCST1000F シリーズ Z：FCST1000Z シリーズ ②流量例：500SCCM = 500 5SLM = 5L ③ガス種例：N2 = N2 正しく安全にお使いいただくためにご使用前に必ず取扱い説明書をお読みください。 ◎ 仕様・外観は改良のため、お断りなく変更させていただくことがあります。 ◎ ご注文の際には、最新の内容をご確認ください。 ◎ 本カタログに記載されている内容の一部または全てを無断転載することは禁止されています。お問い合わせ先・連絡先不明点及び製品に異常が御座いましたら下記へお問い合わせ願います。取扱店発売元エフコン株式会社〒780‐8039 高知県高知市東石立町 69 TEL/FAX 088‐879‐3785 Email [email protected] URL http://www.fcon-inc.jp FCON FCON201309