軟 X 線分光器 SXES(Soft X-Ray Emission Spectrometer)の導入 センターでは、平成 26 年度に共用機器の電子プローブ マイクロアナライザー(JXA-8530A)に新開発の軟 X 線 分光器を搭載した。 この分光器は、回折格子と高感度 X 線 CCD カメラを組み 合わせ、EDS 同様にパラレル検出可能でかつ従来の WDS のエネルギー分解能を越える 0.3eV(Fermi 端 Al-L 基準) の超高エネルギー分解能を可能としている。 この装置の詳細は、日本電子ホームページに掲載していま す。
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