軟 X 線分光器 SXES(Soft X-Ray Emission Spectrometer)の導入

軟 X 線分光器 SXES(Soft X-Ray Emission Spectrometer)の導入
センターでは、平成 26 年度に共用機器の電子プローブ
マイクロアナライザー(JXA-8530A)に新開発の軟 X 線
分光器を搭載した。
この分光器は、回折格子と高感度 X 線 CCD カメラを組み
合わせ、EDS 同様にパラレル検出可能でかつ従来の WDS
のエネルギー分解能を越える 0.3eV(Fermi 端 Al-L 基準)
の超高エネルギー分解能を可能としている。
この装置の詳細は、日本電子ホームページに掲載していま
す。