『タウア・ニン 最新VLSIの基礎』 正誤表

『タウア・ニン 最新VLSIの基礎』
正誤表
● 初版本につきまして下記の誤りが判明いたしました。
訂正して、深くお詫び申し上げます。
誤
1ページ(ページ番号)
6
21ページ(図1.2単位)
□m
37ページ(上から1行目)
…をもつ 属元素である
37ページ(上から2行目)
…といった 属の
37ページ(上から3行目)
…のような 属の
37ページ(上から4行目)
格子中の 属原子は
37ページ(上から8行目)
…をもつ. 属不純物
37ページ(上から11行目)
格子中の 属原子は
37ページ(下から13行目)
属不純物
125ページ(図2.35 a)
□(x)
125ページ(図2.35 b)
□(x)
133ページ(図2.39)
‐Q/□ox
205ページ(図3.23)
□si
205ページ(図3.23)
/∂↓/qN
(↓をトル。 /qの後のNをズラス。)
252ページ(図4.4 a 3箇所)
□si
343ページ(図5.21 2箇所)
□ins
361ページ(図5.30)
Table5.2の値
449ページ(図6.19)
正
5
μm
…をもつⅣ属元素である
…といったⅤ属の
…のようなⅢ属の
格子中のⅤ属原子は
…をもつ. Ⅴ属不純物
格子中のⅢ属原子は
Ⅲ属不純物
‰
‰
‐Q/εox
εsi
/∂x/q N
εsi
εins
表5.2の値
1つ目の式と図を入れ替える