『タウア・ニン 最新VLSIの基礎』 正誤表 ● 初版本につきまして下記の誤りが判明いたしました。 訂正して、深くお詫び申し上げます。 誤 1ページ(ページ番号) 6 21ページ(図1.2単位) □m 37ページ(上から1行目) …をもつ 属元素である 37ページ(上から2行目) …といった 属の 37ページ(上から3行目) …のような 属の 37ページ(上から4行目) 格子中の 属原子は 37ページ(上から8行目) …をもつ. 属不純物 37ページ(上から11行目) 格子中の 属原子は 37ページ(下から13行目) 属不純物 125ページ(図2.35 a) □(x) 125ページ(図2.35 b) □(x) 133ページ(図2.39) ‐Q/□ox 205ページ(図3.23) □si 205ページ(図3.23) /∂↓/qN (↓をトル。 /qの後のNをズラス。) 252ページ(図4.4 a 3箇所) □si 343ページ(図5.21 2箇所) □ins 361ページ(図5.30) Table5.2の値 449ページ(図6.19) 正 5 μm …をもつⅣ属元素である …といったⅤ属の …のようなⅢ属の 格子中のⅤ属原子は …をもつ. Ⅴ属不純物 格子中のⅢ属原子は Ⅲ属不純物 ‰ ‰ ‐Q/εox εsi /∂x/q N εsi εins 表5.2の値 1つ目の式と図を入れ替える
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