東京工業大学大学院理工学研究科機械物理工学専攻 創形力学研究室
プラズマ材料創製・創形
● 炭素系膜の合成と機械・トライボ・医療応
用技術：
DLCはダイヤモンドに似た性質を持ち高硬度，低
摩擦係数，化学的安定性などの優れた性質を持ちま
す．トライボ部材として応用化が進んでいるDLC膜
コーティングのさらなる高機能化を推進します．
プラズマによるDLC膜の合成
☆ナノパルスプラズマを用いたDLCの合成法を開発
します。
☆髙耐摩耗性マイクロテクスチャDLC膜のデザイン
と成膜技術開発を行います．
生体医療機器への応用検討
☆次世代コーティング材料としてのBCN，BN系薄
膜の合成を応用を目指します．
☆光を利用したマクロ欠陥検出法，SPRを利用した
DLCの表面吸着物質変化検出法を開発します．
ダイヤモンドコーティング技術：ダイヤモンド膜
の低温での合成と医療機器への応用を目指します．
● ICPプラズマによるBN膜の合成と機械的・電気的
応用を目指します．
●
テクスチャDLC膜の合成
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エンブレット の一般的性能 銘柄：PTHA