プロセスガス用バルブに新シリーズ登場！！

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プロセスガス用バルブ
LGDシリーズ
VALVE FOR PROCESS GAS
に
ブ
ル
バ
用
ス
ガ
プロセス
！
！
場
登
ズ
ー
リ
新シ
マニュアルバルブ
エアオペレイトバルブ
ご使用の前に「ドライファイン機器総合」カタログNo.CB-035の
「使用上の注意事項」を必ずお読みください。
CC-1171 1
プロセスガス用エアオペレイトバルブ
LGD※※ Series
●メタルダイアフラム
仕様
項　目
LGD1※
LGD2※
使用流体
不活性ガス・プロセスガス
1.3×10-6～0.99
使用圧力
Pa(abs)-MPa(G)
流体温度
℃
5～80
周囲温度
℃
5～80
弁座漏れ
Pa･m3/sec.He
1.0×10-10以下
外部漏れ
Pa･m /sec.He
1.0×10-10以下
3
Cv値
（23℃　加圧下）
3/8"　：　0.65
0.3
接続方式
1/2"　：　0.7
1/4″VCRオス継手相当
1/2″VCRオス継手相当（3/8"互換）
1/4″VCRメス継手相当
1/2″VCRメス継手相当（3/8"互換）
1/4″ニ重くい込み継手
3/8″ニ重くい込み継手
－
1/2″ニ重くい込み継手
NC形（ノーマルクローズ）
作動方式
NO形（ノーマルオープン）
操作圧力
NC ： 0.4～0.6
MPa
NO ： 0.4～0.5
操作ポート
M5
質量
kg
0.23
0.57
注1
注1
注1：質量はVCRオス継手相当の時の値です。
形番表示方法
LGD1 1
LGD2 1
4RM
記号
イ
作動方式
ロ
接続方式
イ
ロ
8RM
内　容
記号
作動方式
1
NC形（ノーマルクローズ）
2
NO形（ノーマルオープン）
接続方式
4RM
1/4”オス継手（VCR相当）
4R
4S
イ
イ
作動方式
ロ
接続方式
ロ
内　容
作動方式
1
NC形（ノーマルクローズ）
2
NO形（ノーマルオープン）
接続方式
8RM
1/2”オス継手（VCR相当）
1/4”メス継手（VCR相当）
8R
1/2”メス継手（VCR相当）
1/4”二重くい込み継手
6S
3/8”二重くい込み継手
8S
1/2”二重くい込み継手
内部構造および部品リスト
1
接ガス部材質
IN
2
3
1
OUT
品番
1
部品名
材　質
ダイアフラム
Ni-Co　合金
2
弁シート
PCTFE
3
ボディ
SUS316L
LGD※※ Series
外形寸法図
外形寸法図
●LGD1※-4R
操作ポート M5
φ37
IN
OUT
11
（64）
OUT
操作ポート M5
11
IN
φ37
φ28
φ28
1/4inch オス継手
1/4inch メス継手
78
57
2-M5ねじ深5
φ17
（64）
●LGD1※-4RM
2-M5ねじ深5
φ17
45
°
45
°
●LGD1※-4S
●LGD2※-8RM
操作ポート M5
φ48.3
操作ポート M5
IN
（87）
IN
OUT
φ28
39.1
16
11
OUT
（64）
φ37
1/4inch 二重くい込み継手
φ38
77
（67）
2-M5ねじ深5
φ17
45
°
φ28
1/2inch オス継手
2-M5ねじ深6
45
°
2
LGD※※ Series
外形寸法図
●LGD2※-8R
●LGD2※-6S
操作ポート M5
操作ポート M5
OUT
OUT
IN
16
IN
16
（87）
φ48.3
φ38
φ38
1/2inch メス継手
3/8inch 二重くい込み継手
48.9
104.6
（82.5）
φ28
φ28
2-M5ねじ深6
45
°
●LGD2※-8S
操作ポート M5
OUT
16
（87）
φ48.3
IN
φ38
44.6
1/2inch 二重くい込み継手
（90.2）
φ28
2-M5ねじ深6
45
°
3
2-M5ねじ深6
45
°
（87）
φ48.3
プロセスガス用マニュアルバルブ
LGD※0 Series
●メタルダイアフラム
●180°回転方式
仕様
項　目
LGD10
LGD20
使用流体
使用圧力
不活性ガス・プロセスガス
Pa(abs)-MPa(G)
1.3×10-6　～0.99
流体温度
℃
5～80
周囲温度
℃
5～60
弁座漏れ
Pa・m3/sec.He
1.0×10-10　以下
外部漏れ
Pa・m /sec.He
1.0×10-10　以下
Cv値
（23℃、加圧下）
3
接続方式
質量
kg
0.3
0.7
1/4”VCRオス継手相当
1/2”VCRオス継手相当（3/8”互換）
1/4”VCRメス継手相当
1/2”VCRメス継手相当（3/8”互換）
1/4”二重くい込み継手
3/8”二重くい込み継手
－
1/2”ニ重くい込み継手
0.26
0.57
注1
注1
注1：質量はVCRオス継手相当の時の値です。
形番表示方法
LGD10 - 4RM
LGD20 - 8RM
記号
イ
接続方式
イ
内　容
記号
接続方式
イ
接続方式
イ
内　容
接続方式
4RM
1/4”オス継手（VCR相当）
8RM
1/2”オス継手（VCR相当）
4R
1/4”メス継手（VCR相当）
8R
1/2”メス継手（VCR相当）
4S
1/4”二重くい込み継手
6S
3/8”二重くい込み継手
8S
1/2”二重くい込み継手
内部構造および部品リスト
1
接ガス部材質
IN
2
OUT
品番
1
部品名
材　質
ダイアフラム
Ni-Co　合金
2
弁シート
PCTFE
3
ボディ
SUS316L
3
4
LGD※0 Series
外形寸法図
●LGD10-4RM
●LGD10-4R
φ45
65
65
φ45
IN
OUT
11
OUT
11
IN
φ28
57
φ28
1/4inch オス継手
78
1/4inch メス継手
2-M5ねじ深5
φ17
2-M5ねじ深5
φ17
45
°
45
°
●LGD10-4S
●LGD20-8RM
φ45
IN
IN
OUT
φ28
39.1
16
11
OUT
79
65
φ45
1/4inch 二重くい込み継手
φ38
2-M5ねじ深5
φ17
45
°
5
1/2inch オス継手
77
（67）
2-M5ねじ深6
φ28
45
°
LGD※0 Series
内部構造および部品リスト
外形寸法図
●LGD20-8R
●LGD20-6S
IN
OUT
φ38
16
16
OUT
79
IN
φ38
1/2inch メス継手
104.6
48.9
2-M5ねじ深6
φ28
45
°
3/8inch 二重くい込み継手
(82.5)
2-M5ねじ深6
φ28
79
φ45
φ45
45
°
●LGD20-8S
CLOSE
IN
16
OUT
79
φ45
φ38
44.6
1/2inch 二重くい込み継手
(90.2)
2-M5ねじ深6
φ28
45
°
6
LGD Series
使用上の注意事項
ご使用前に取扱説明書および最新の「ドライファイン機器総合」
（カタログNo.CB-035）の
「使用上の注意事項」を必ずお読みください。
警告
■設計・選定時
●本製品は流体温度5～80℃で性能を満足するように設計されています。
仕様にある温度範囲外では絶対に使用しないでください。
半導体製造工程及び製造装置にあわせた
商品紹介のコンテンツを公開！
Solution for Semiconductor
http://ckd.co-site.jp/ad/semi/jp/index.html
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高真空用電磁弁　HVBシリーズ
カタログNo.CB-035
■オリフィスφ1.0～φ15までシリーズ豊富
■N 2加圧から真空まで、最高使用差圧1.0MPaまで使
用可能
（機種により異なりますので、ご確認ください。）
■エア源のない高真空制御に最適
（ただし、パーティクル、寿命等には注意ください。）
クリーンユニット　FICSシリーズ
カタログNo.CC-1163
■選定・設計・図面作成の工数削減
■加工・組立・検査の工数削減
■フローと仕様条件をご提示いただくだけでクリーン
ユニットが完成
本製品及び関連技術を輸出される場合は、兵器・武器関連用途に使用されるおそれのないよう、ご留意ください。
If the goods and their replicas, or the technology and software in this catalog are to be exported, laws require the exporter
to make sure they will never be used for the development or the manufacture of weapons for mass destruction.
＜Website＞
http://www.ckd.co.jp/
本社・工場
〒485-8551 愛知県小牧市応時2-250
TEL(0568)77-1111
〒485-8551 愛知県小牧市応時2-250
TEL(0568)74-1303
営業本部
Overseas Sales Administration Dept. 2-250 Ouji Komaki, Aichi 485-8551, Japan
TEL(0568)74-1338
〒105-0013 東京都港区浜松町 1-31-1（文化放送メディアプラス4階） TEL(03)5402-3620
東京支店
〒485-8551 愛知県小牧市応時2-250
TEL(0568)74-1356
名古屋支店
〒550-0001 大阪市西区土佐堀1-3-20
TEL(06)6459-5770
大阪支店
●このカタログに掲載の仕様および外観を、
改善のため予告なく変更することがあります。
●Specifications are subject to change without notice.
C CKD Corporation 2015 All copy rights reserved.
○
お客様技術相談窓口
FAX(0568)77-1123
FAX(0568)77-3410
FAX(0568)77-3461
FAX(03)5402-0120
FAX(0568)75-1692
FAX(06)6446-1945
フリーダイヤル 0120-771060
受付時間 9:00∼12:00/13:00∼17:00
（土日、
休日除く）
2015.7.CCC

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