第 3 回プロトンビームライティングとその応用に関するシンポジウム The

第 3 回プロトンビームライティングとその応用に関するシンポジウム
The 3rd Symposium on Proton Beam Writing and Its Applications
・日時：2016 年 2 月 24 日（水）、9:30-17:00（Feb. 24, 2016, 9:30-17:00）
・場所：芝浦工業大学豊洲キャンパス交流棟 5F, 501 教室
[5F Room 501, Toyosu Campus, Shibaura Institute of Technology (SIT), 3-7-5 Koto-ku, Tokyo 135,
Japan]
・主催：芝浦工業大学 SIT 総合研究所フレキシブル実装工学研究センター
（2011-2015 年度、文部科学省私立大学戦略的研究基盤形成支援事業）
[Center for Flexible System Integration (CFSI), Shibaura Research Laboratories, SIT]
・参加費：無料
・申込先：http://www.flex.ae.shibaura-it.ac.jp にて
・お問い合わせ先：西川宏之(電子メール：[email protected])
1. 9:30-10:00 (0:30): 西川宏之（芝浦工業大学）Prof. Hiroyuki Nishikawa (SIT),
フレキシブル実装工学研究センター（2011-2015）活動報告
Progress in the PBW project at Center for Flexible Micromachining in 2011-2015.
2. 10:00-11:00 (60min.) 松井真二（兵庫県立大学）Prof. Shinji Matsui, LASTI, Univ. of Hyogo
基調講演：FIB-CVD とナノインプリントの現状と展望
Plenary Talk：Status and Prospect of FIB-CVD and Nanoimprint.
3. 11:00-11:50 (50min.), Dr. Istvan Rajta, ATOMKI, Hungary,
Invited Talk: P-beam written microfluidic devices for filtering circulating tumor cells
<Lunch Break: 11:50-13:00>
4. 13:00-13:30 (30 min.), 神谷富裕（日本原子力研究開発機構高崎量子応用研究所）
Dr. Tomihiro Kamiya, Japan Atomic Energy Institute (JAEA)
TIARA におけるイオンビームマイクロ／ナノ加工技術、
Ion beam micro-/ nano-fabrication technology at TIARA
5. 13:30-14:20 (50 min.), Prof. Andrew Bettiol, National Univ. Singapore, Singapore.
Invited Talk: Proton Beam Writing and ion implantation for applications in photonics and optics
6．14:20-14:50 (30 min.), 酒井卓郎（日本原子力研究開発機構量子ビーム応用研究センター
大気照射 PBW 技術とその応用
Dr. Takuro Sakai, JAEA
External Proton beam writing technique and its applications.
<Coffee Break, 20 min.>
7. 15:10-15:40 (30 min.), 石井保行（日本原子力研究開発機構高崎量子応用研究所）
Dr. Yasuyuki Ishii, JAEA, Japan
数百 KeV 級イオンマイクロビームシステムにおけるビーム径の縮小
Beam Size Reduction of Several Hundred KeV Ion Microbeam System
8. 15:40-16:10 (30 min.), 林秀臣（SIT 総研フレキシブル実装工学研究センター）
Mr. Hidetaka Hayashi, CFSI, SIT, Japan
PBW 技術による高分子フィルム基板表層への超実装デバイスの形成
Hyper Integration on Plastic Film by Proton Beam Writing
9. 16:10-16:40 (30 min.), 加田渉（群馬大学学術研究院）
Dr. Wataru Kada, Gumma University, Japan
プロトンビーム描画法を利用したフレキシブル光素子の形成とその場評価技術の開発
Development of fabrication and in situ evaluation technique of flexible optical devices by proton
beam writing
10. 16:40-17:00 (20 min.) Discussion & Concluding Remark
（懇親会 18:00-20:00）
（アクセス）
〒135-8548 東京都江東区豊洲 3-7-5
・東京メトロ有楽町線「豊洲駅」1c または 3 番出口
から徒歩 7 分
・ゆりかもめ「豊洲駅」から徒歩 9 分
・JR 京葉線「越中島駅」2 番出口から徒歩 15 分
入口、エレベータにて 5F へ

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