装置一般仕様 外観図 960 1590 440 タッチパネル Operation Panel 排気ダクト Exhaust duct φ75 900±20 1565 1330 搬送面 890 2000 235 排気ダクト Exhaust duct φ75 ＜単位：mm＞ 一般仕様 リフロー性能とエコ性能の両立を追及した 標準装備 名 称 UNI-6116S 入力電源 装置重量 3φ 200V 18kVA（18kW） 約 500kg 250L/ 分以上 0.4Mpa ・ 純度 99.99% 以上 50 ∼ 160mm 最大 160mm ピンチェーン方式※1 0.1 ∼ 0.5m / 分 900±20mm N2 供給量 ピンチェーン メッシュ（オプション） 搬送タイプ 搬送速度 搬送高さ 基板有効高さ ヒータ枚数 循環ファン 基板有効幅 加熱能力のパワーアップで半導体・LED・電子部品・モジュール部品に最適 高性能エコマシン シグナルライト 週間タイマー 基板詰まりセンサー（入口） 基板詰まりセンサー（出口） 入口タクトタイマー 準備タイマー インターフェース接点 ヒータ異常警報 ヒータ断線検出（ソフト） ヒータ負荷表示 構造仕様参照 オプション（●オプション） 名 称 UNI-6116S 過昇温防止 ● ※2 ● メッシュ搬送 搬送コンベア延長 ● 搬送幅自動調整 ● ソリ防止機構 ● ソリ防止自動位置調整 ● 循環ファン停止検出 ● N2 仕様 ● 酸素濃度計 ● 酸素濃度コントローラ ● 100ppm 対応 ● フラックス回収装置 ● UPS ● 指定色 ● ☆特殊仕様 ※搬送幅変更は MAX250mm まで対応 ※1 ピンチェーン方式 低振動構造で両面基板搬送に最適 ※2 メッシュ搬送方式 クリーン搬送や小型基板・デバイス搬送に最適 このカタログ記載事項は改良のため予告なしで変更する場合があります。また各種データは性能保証するものではありません。 UNI-6116S ■ 加熱全ゾーン 350℃設定が可能（高出力ヒータ採用） ■ N2 仕様機は酸素濃度 200ppm（オプションにて 100ppm）を実現 最大基板（□160）連続搬送時 ■ 加熱能力の大幅増大とランニングコストの大幅低減を両立 事業所： 〒224−0044 神奈川県横浜市都筑区川向町893番地1 FAX：045−476−3475 TEL：045−476−3461 E−mail：[email protected] URL：http://antom.jp 30741206-1000 装置の特長 350℃対応と低酸素濃度※で広範囲のリフロー条件対応を実現 リフローゾーンに高出力ヒータを採用、加熱能力の大幅パワーアップを実現 ◆ 高融点はんだ、AuSn共晶接合に最適 ◆ 熱容量の大きな部品対応や生産効率の向上が可能 【350℃対応の当社定義】 ・加熱ゾーンは全ゾーン350℃設定および40分以内での昇温が可能 ・昇温後の無負荷安定状態でのヒータ負荷は60％以下※ ・外板温度は50℃以下 ※炉内温度が基準設定から350℃に昇温すると空気は約20％希薄になり、N2消費量の削減が可能です。 当社では最大基板連続搬送にて200L/分で200ppm以下の性能を確認しています。 【当社規定の加熱能力検証】 プロファイル基準に基づき、プリヒート最高温度（180℃）からピーク温度（235℃）までの昇温時間を比較する。 炉内温度と酸素濃度の相関検証 炉内温度上昇に伴い酸素濃度が低下 ※ 昇温時間 昇温時間比 加熱能力比 従来機 328sec 1 1 6116S 185sec 0.56 1.79 ※昇温時間の逆数で加熱能力比を表す。 （例）昇温時間が従来比50％の場合 加熱能力は従来比2倍となる。（当社独自規格） 酸素濃度（最大基板連続搬送） 基準設定 250L/ 分濃度≒350℃200L/ 分濃度 装置機構 ■加熱方式について 当社独自のパネルヒータ（熱風循環と遠赤外線の併用）による均一加熱方式を継承 特長 ・低循環風量、低風速でも安定性のある効率のよい加熱が可能です。 ・循環風で温度コントロールが可能です。 ・ゾーンの独立性を保ちバランスのよい加熱が可能です。 ・微小部品のズレを抑える最適な加熱方式です。 装置性能 （データ例） 6116S プロファイル 当社プロファイル条件を満足 6116S 酸素濃度（最大基板連続搬送時） 250L/ 分で 200ppm を実現 ■フラックス回収装置について 多様なフラックス蒸発温度へ対応 ① ② ③ ④ ⑤ ⑥ フラックス回収装置 ⑦ ブロアー ・吸引ゾーンは選択方式としています。 →標準は5ゾーン吸引・指定により4ゾーン吸引も可能です。 ・フラックスの凝固温度範囲は130℃∼60℃として設計しています。 →フラックス回収装置への流入温度は130℃以上、流出温度は60℃ 以下とし、回収戻りは7ゾーン（冷却ゾーン）としています。 構造仕様 立上げ電力 安定時電力（無負荷） 立上げ 20 分で 5kW 以下に到達 高出力ヒータでも電力の大幅削減を実現 項 目 UNI-6116S 装置サイズ（突起部除く） W1590mm×Ｄ960mm×Ｈ330mm 適用範囲（許容部品高さ） ピンチェーン方式 上下 10mm（標準） 上下 30mm（オプション対応） メッシュ方式（オプション） 上 10mm（標準） 上 30mm（オプション対応） ヒータ 構成 12 枚 加熱強化 リフローゾーンに高出力ヒータ搭載（6 個） 制御方式 各ヒータ独立 PID 制御 循環ファン駆動方式 機能ゾーン毎インバータ制御 フラックス回収（オプション） （吸引）5 ゾーン下 → （戻し）7 ゾーン下 操作機器 カラータッチパネル（8.4 インチ）
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