A1 真 空 用 マ ニ ピ ュ レ ー タ ー 銅合金製チャンバー Copper Alloy Chamber A2 真 空 フ ラ ン ジ 特 長 Features PAT. MXY ■10-12Pa・m3/sec・m2台の超低ガス放出率。 ■ベークなしでも、10-8Paの超高真空達成が可能。 ■100℃の低温ベークで10-10Paの極高真空が可能。 ■完全非磁性、熱伝導性良、低輻射率という銅の特性をいかせる。 ■ヴァージンチャンバーからの立ち上げ時間が非常に短い。 ■ Extreme low Outgassing rate in the region of 10-12Pa･m3/sec･m2. ■ Ultra-High Vacuum of 10-8 Pa can be achieved without baking. ■ Extreme-High Vacuum of 10-10 Pa can be obtained with low temperature baking at 100℃. ■ Utilizes characteristics of copper such complete non-magnetism, good heat conductivity and low radiation rate. ■ Very short start-up time from a virgin chamber. A3 真 空 用 ボ ル ト ･ ナ ッ ト A4 真 空 装 置 A5 そ の 他 ア ク セ サ リ ー ■電子ビームチャンバー Electron beam chamber B ■極高真空用球形チャンバー Globular shape chamber for Extreme-High Vacuum ステンレス合金製チャンバー 分 析 機 器 Stainless Steel Alloy Chamber C 受 託 業 務 特 長 ■一般的なチャンバー材質のため、自由な形状が可能。 ■真空面にTOMI研磨（弊社独自の研磨）を施すことにより、容易に超高真空達成が可能。 Features ■ Any shape is possible since this is the most common chamber material. ■ Ultra-High Vacuum can easily be achieved by using the TOMI-polishing process (original Musashino Engineering process) on the surface of the vacuum chamber. D 加 速 器 ・ 放 射 光 利 用 機 器 E オ ー ダ ー メ ー ド 製 品 ■加熱試験装置 Heating test machine 76 ■表面解析装置 Surface analysis machine
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