こちら;pdf

▐᫬㟁ᅽ㝆ୗ⪏㔞
㟁☢㛤㛢ჾ࣭㟁☢᥋ゐჾࡢືస㟁ᅽࡢಖド⠊ᅖࡣ᧯సࢥ࢖ࣝࡢ
ᐃ᱁㟁ᅽࡢ㹼࡛࠶ࡿࡀ㸪㟁ືᶵࡢጞື㟁ὶ࡟ࡼࡿ㟁ᅽ㝆
ୗ࡟ࡼࡾᅗ࡟♧ࡍࡼ࠺࡟᥋Ⅼ᥋ゐ᫬௨㝆㟁☢▼ࡢ྾ᘬຊࡀప
ୗࡋ㸪཯ᢠຊࡼࡾୗࡲࢃࡿ࡜᥋Ⅼࡀᾋࡁୖࡀࡾ㸪㛢㊰o㟁ᅽᅇ
᚟o෌ᢞධo㟁ᅽ㝆ୗo㛤㊰ࢆ㧗㢖ᗘ࡛⧞ࡾ㏉ࡋղ㸪᥋Ⅼ⁐╔
ࡲࡓࡣ᥋ゐᏊ⁐᩿ࢆⓎ⏕ࡍࡿሙྜࡀ࠶ࡿࠋ
067ࢩ࣮ࣜࢬ࡛ࡣࡇࡢࡼ࠺࡞ሙྜ࡛ࡶ࡛ࡁࡿࡔࡅ⪏࠼ࡿࡼ࠺
࡟྾ᘬຊ㸫཯ᢠຊࡢࣂࣛࣥࢫࢆ࡜ࡾ㸪᥋Ⅼࣂࢱࢶ࢟ࡢᢚไ࡜᥋
Ⅼ⁐╔⪏㔞ࡢྥୖࢆᅗࡗ࡚࠸ࡿձࠋ
6(0,)つ᱁ᑐᛂ
6(0,つ᱁ࡣ༙ᑟయ⿦⨨࡟ᑐࡍࡿ▐ప⪏㔞ࢆせồࡋࡓつ᱁ࡢ
ᅗ 㟁ືᶵࡢጞື࡟࡜ࡶ࡞࠺㟁ᅽ㝆ୗ࡟ࡼࡿ
ࡓࡵ㟁☢᥋ゐჾࡀ┤᥋‽ᣐࡍࡿࡶࡢ࡛ࡣ࠶ࡾࡲࡏࢇࡀ㸪
㟁☢▼ࡢ྾ᘬຊ≉ᛶ
6(0,)つ᱁᮲௳࡟࠾ࡅࡿ67ᙧ࠾ࡼࡧ6'7ᙧ㟁☢᥋ゐჾ
ࡢ▐᫬㟁ᅽ㝆ୗ⪏㔞ࢥ࢖ࣝບ☢≧ែ࡛▐᫬㟁ᅽ㝆ୗࡀⓎ⏕ࡋࡓሙྜ࡟᥋Ⅼࡀ2))ࡋ࡞࠸⪏㔞ヨ㦂ࢆᐇ᪋ࠋ
஺ὶ᧯సᙧ㟁☢᥋ゐჾࡣ୍㒊ࡢ⠊ᅖ࡛㐺⏝ྍ⬟ࠋ┤ὶ᧯సᙧ㟁☢᥋ゐჾࡣ6(0,)つ᱁࡬㐺⏝ྍ⬟ࠋ
࠙஺ὶ᧯సᙧ㟁☢᥋ゐჾ 67‫ࠚڧ‬
S-T‫ڧ‬ᙧ 㐺⏝ྍ⬟⠊ᅖ
ኴ⥺ࡼࡾୖ᪉ࡀ
SEMI つ᱁್
80
ࢥ 70
࢖
ࣝ
㟁 50
ᅽ
䥹
㸣
䥺
0.2
᫬㛫㸦⛊㸧
0.05
0.5
1.0
࠙┤ὶ᧯సᙧ㟁☢᥋ゐჾ 6'7‫ࠚڧ‬
0.2
0.05
▐೵⪏㔞
067ࢩ࣮ࣜࢬࡢ▐᫬೵㟁࡟࠾ࡅࡿ᭱኱▐೵᫬㛫ࢆୗ⾲࡟♧ࡍࠋ
ᙧྡ
67
67㸪7
67㸪7
67
᭱኱▐೵᫬㛫PV
ὀᮏ⾲ࡣ⮬ᕫಖᣢ⿵D᥋Ⅼࡀゎࡅ࡞࠸᭱኱▐೵᫬㛫ࢆ♧ࡍࠋ
32
ኴ⥺ࡼࡾୖ᪉ࡀ
SEMI つ᱁್
SD-T‫ڧ‬ᙧ 㐺⏝ྍ⬟⠊ᅖ
㸦SEMI つ᱁್㸧
80
ࢥ 70
࢖
ࣝ
㟁 50
ᅽ
䥹
㸣
䥺
0.5
1.0