微細加工 応用例
金属
入口
出口
100μm
t = 1mm
入口ϕ58μm 出口ϕ77μm
逆
微細穴加工
微細穴加工
微細穴加工
微細穴加工
t = 1mm 字穴
溝幅 80μm 長 220μm
微細穴加工
t = 1mm C字穴
溝幅 60μm
微細穴加工
微細穴加工
微細溝加工
200μm
20μm
t = 100μm 字穴
薄膜除去
t = 100μm ϕ10μm穴
t = 100μm
ϕ30μm穴 50μm
t = 100μm ϕ35μm穴
幅91μm 深
微細溝加工
薄膜除去 10.2μm
10μm
17.3μm
46.1μm
89.2μm
2mm
上 ITO膜
上
微細彫込
金薄膜
微細彫込
間隔 9μm
溝幅 8μm
真鍮
微細切断
微細切断
200μm
20μm
銅
35μm
真鍮 ϕ30μm 深 15μm
微細切断
100μm
白金 t = 100μm
白金 t = 100μm 断面
t = 100μm
微細切断
等
微細刻印
微細刻印
微細切断
100μm
炭素繊維
微細穴加工
微細切断
300μm
表面
内部
200μm
微細穴加工
300μm
10mm
微細穴加工
t = 0.7mm
多結晶
t = 300μm 穴径ϕ770μm
t = 1mm
直径 ϕ1.4mm
微細溝加工
微細溝加工
1μm
1mm
GaN -
100μm
20μm
毛髪 溝幅 1μm
窒化
溝幅 180μm
微細加工 応用例
樹 脂
微細穴加工
微細穴加工
微細穴加工
微細穴加工
100μm
t = 25μm
入口ϕ65μm 出口ϕ55μm
t = 25μm ϕ25±0.25μm 逆
微細切断
微細切断
t = 30μm
微細溝加工
PMMA
樹脂
微細溝加工
微細溝加工
流路
流体混合
流路
t = 8μm
高密度 貫通孔+溝加工
微細溝加工
微細溝加工
PMMA
深
PDMS
720μm
剥離
700μm
100μm
PEDOT
微細溝加工
t = 125μm
ϕ20μm 貫通孔
剥離
200μm
PMMA
溝幅37μm
剥離
剥離
TLS Dicing
50 μm
TLS cut
SiC (t=160 µm, epi-layer + backside metal)
Feedrate: 200 mm/s / 1-pass process
Ge t = 400 µm
Si on Glass
D
75 μm
32 μm
32 μm
32 μm
3D-Micromac AG
Technologie-Campus 8
D-09126 Chemnitz
Germany
日本総代理店
Tel : +49 (0)371 400 43-0
Fax: +49 (0)371 400 43-40
E-Mail: [email protected]
Web: http://www.3d-micromac.com
光 株式会社
252-0243 神奈川県相模原市中央区上溝1880-2
産業創造
(SIC-3) 312号室
TEL. 042-707-4941 FAX. 042-707-4940