ＶＥ－５１－１５３５ 951-7177，7178 リークバルブ 取扱説明書 ５ 年 月 日 ４ 2007 年 05 月 23 日 ３ 2006 年 01 月 10 日 ２ 1998 年 10 月 30 日 １ 1980 年 09 月 09 日 版 数 年 月 日 ＶＥ－５１－１５３５ 輸出に関する注意事項 本製品は、日本国外に輸出する際は外国為替及び外国貿易法の規定に基づく 判定が必要となりますので、弊社に必ずお問い合わせください。 Copyright© 2007 by Canon ANELVA Technix Corporation All Rights Reserved. ＶＥ－５１－１５３５ 保証 納入後、１年間以内に弊社の責任により発生した本バルブの故障に対し、無償にて修理または代替品と の交換を致します。 但し、修理及び保証の範囲は本バルブに限定させて頂きます。また、二次的に発生する損失の補償及び 火災、天災、取り扱いミスに起因する故障は保証の範囲外と致します。尚、保守部品及びオーバーホール は有償となります。 保守部品の注文、取扱上の疑問点、その他不備な点等に付きましては、最寄のサービス事業部までご連 絡下さい。 ＶＥ－５１－１５３５ 目 次 1．概 要.................................................................................. 2．仕 様.................................................................................. 3．取扱上の注意............................................................................ 4．操作・取付.............................................................................. 5．保守.................................................................................... 1 2 2 2 2 3 ＶＥ－５１－１５３５ 1．概 要 本バルブは真空装置内に大気又は特定ガスを導入する為のリークバルブで、真空シールおよび 軸シールにはふっ素ゴム（バイトン）を使用しています。 高真空、 超高真空装置をリークさせる際の大気または特定ガス導入用バルブとして適しています。 2．仕 様 型名 使用真空領域 全閉時リーク量 オリフィス径 許容加熱温度 主要部材質 接続フランジ 質量 外形寸法 ９５１－７１７７ ９５１－７１７８ －７ 大気圧～10 Pa 程度 6.7×10-11Pa･m3/sec 以下 ※１ φ3.5mm 125℃※2 真空シール材 ：ふっ素ゴム(バイトン) 軸シール材 ：ふっ素ゴム(バイトン) “Ｏ”リング 軸シール潤滑剤：高真空用シリコーングリース バルブボディ 軸 ：SUS-304 弁体 ：SUS-304 ハンドル ：ﾅｲﾛﾝ 66、ﾎﾟﾘﾌﾟﾛﾋﾟﾚﾝ φ70ICF NW25 0.4kg 5/5 構造断面図参照 ※１．ふっ素ゴム（バイトン）のガス透過は仕様外。 ２．ベーキングはハンドルを取り外してから行ってください。 3．取扱上の注意 １）バルブを閉める時は、必要以上の力で閉めないで下さい。 尚、本バルブはハンドルが重くなってから、３０°前後が全閉状態です。 ２）許容加熱温度以上の加熱は行わないで下さい。 ３）導入ガスはゴミ等の混入していない、清浄なものを御使用下さい。 4．取付・操作 ４－１．開 梱 開梱しましたら、接続フランジのシール面に傷がないか確認して下さい。 ４－２．操 作 ハンドルを回転させ動きがスムーズであることを確認して下さい。 尚、バルブはハンドルを左（反時計方向）へ回転させると開となり、右（時計方向）に回転 させ弁座がガスケットに接触しハンドルが重くなってから、３０°前後が全閉状態です。 2 ＶＥ－５１－１５３５ 5．保守 ５－１．保守部品 ・９５１－９１７７ ガスケット ・Ｐ９ バイトン“Ｏ”リング ５－２．保守操作（5/5 構造断面図参照） １）分解 1． ハンドルを取り外します。 ①バルブを開状態にします。 ②ナットをスパナで固定し、ハンドル を反時計方向に回します。 ③ハンドルを外したら、ワッシャーとナ ットを取り外します 2．シャフト組立からφ２８特殊ナット，スペーサー，Ｐ９“Ｏ”リング，スペーサーを 順に抜き取ります。 3．本体から９５１－９１７７ガスケットを抜き取ります。 ２）点検 1．Ｐ９“Ｏ”リングに傷、極端な変形、摩耗、汚れ等がないか点検して下さい。 傷、極端な変形、摩耗がある場合は新品と交換して下さい。また、汚れている場合は アルコール等にてクリーニングして下さい。 2．シャフト組立のシャフトシール面及び弁座部シール面に傷、汚れ等がないか点検して 下さい。 3．９５１－９１７７ガスケットに傷、極端な変形、汚れ等がないか点検して下さい。 4．本体シール面に傷、汚れ等がないか点検して下さい。 3 ＶＥ－５１－１５３５ ３）組立 1．シャフト組立にスペーサー、Ｐ９“Ｏ”リング、スペーサー、φ２８特殊ナットを 順に挿入します。尚、Ｐ９“Ｏ”リング、シャフトスライド部、シャフトネジ部には 高真空用シリコングリースを塗布して下さい。 2．シャフト組立にナットとワッシャーを挿入し、ハンドルを取り付けて下さい。 3．本体に９５１－９１７７ガスケットを挿入します。 4．本体にハンドル付きシャフト組立をネジ込みます。 5．φ２８特殊ナットを本体にネジ込み固定します。 4 ＶＥ－５１－１５３５ 構 造 断 面 図 5
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