カラーレーザ顕微鏡
新潟県工業技術総合研究所
設備機器情報　【問い合わせ先　素材応用技術支援センター　TEL 0258-62-0115　】
設備名称
カラーレーザ顕微鏡
メーカ
㈱キーエンス製
型式
VK-8500
設置機関
素材応用技術支援センター
導入年月
2003/02
貸付機器名 レーザ顕微鏡
利用料金
\1,560 円／時間（県外居住者の場合、５割加算となります。）
技術分野
1 機械系
装置分類
5 顕微鏡
用　途
レーザを用い、光学顕微鏡では得られない超深度観察が可能な顕微鏡です。顕微鏡観察と同時に、表面
の粗さ測定も可能です。
仕　様
型式　測定部VK-8510/コントローラVK-8500
15型モニタ上での倍率　200　400　1000　2000
対物レンズ倍率　10X　20X　50X 100X
観察測定範囲カラー　1390x1053　695x526　278x210　139x105
（μｍ）　モノクロ　1479x1109　739x554　295x221　147x110
作動距離：mm　16.5 3.1　0.54　0.3
開口数　NA　0.3　0.46　0.8　0.95
高さ測定範囲：mm　7
高さ方向最小測定分解能：μm　0.01
高さ方向繰り返し測定精度：σ　0.03
表示分解能　カラー　962x729
（ピクセル）モノクロ　1024x768
フレームメモリ　映像用（カラー）　1024x768x8bitx3
映像用（モノクロ）　1024x768x8bit
高さ用　1024x768x20bit
フレームレート　カラー　6
モノクロ　9
ライン及び膜厚　1000
光学ズーム　2x、4x
デジタルズーム　2x、3x
測定用レーザー光源　波長　685nm
出力　0.45mW
クラス　JISクラス2
観察用白色光源　ランプ　50Wハロゲン
寿命　2000時間（平均）
色温度　3000K（max時）
カメラ　撮像素子　カラーCCDイメージセンサ
ゲイン　調整可
シャッタースピード　調整可
ホワイトバランス　3200K/AUTO/MANUAL/PUSHSET
Yガンマ有り　Yガンマ有り
Zステージ　ストローク　28mm
試料最大高さ　28mm
XYステージ　ストローク　70x70mm
試料最大奥行き　159mm
ステージ　回転　360度
出力　アナログRGB　1024x768ピクセル　水平48.4KHz　垂直60.6KHz
SCSI　SCSI-2準拠マイクロミニピンタイプ　50ピン
AC出力　2系統　最大2A
電源　電源電圧　AC100～240V±10%　50/60Hz
消費電力　300VA以下
質量　顕微鏡　約22kg
コントローラ　約9.5kg
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カラーレーザ顕微鏡
新潟県工業技術総合研究所
平成26年5月20日(火)に県央から素材応用へ移管した。
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