2500型デュアルフォトダイオードメータ

レーザーダイオードパルス試験システム
型
レーザーダイオードの L−I−V テストに最適
A
G R E A T E R
M E A S U R E
O F
C O N F I D E N C E
2ch の（± 100V バイアス電源 +1fA 分解能ピコアンメータ）
特長
■
■
■
■
■
■
■
■
■
■
2ch のフォトダイオードの輝度測定
± 100V バイアス
2nA ∼ 20mA の 8 レンジ
1fA 暗電流測定分解能
1000 回 /s の高速読み取りスピード
3000 データメモリ（各チャンネル当たり）
1 本の三重同軸ケーブルで電圧印加＆電流測定
ビンソート、スイープテストのためのデジタル I/O
GPIB、RS-232C 標準装備
ハーフラックサイズ
アプリケーション
■
■
■
■
レーザダイオードの L-I-V 測定
LED の全放射測定
光スイッチのクロストークやインサーションロス測定
トランスミッタやポンプレーザモジュールの工業試験
トリガリンク
サーミスタ
ケースレーの2500型デュアルフォトダイオードメータはレーザダ
イオードの生産試験で行われるL-I-Vテストのスループット向上を
狙って設計されました。光通信用LDモジュールのトップメーカー
と共同開発され、輝度計との緊密な同期が特長です。3000 データ
をストアできるメモリとケースレーのみが提供するトリガリンク
機能により最高速の L-I-V 試験を実現します。また3 交代稼働の生
産現場で重要な信頼性と再現性を兼ね備えるよう、性能に加え特
に堅牢に設計されています。
微小電流を高速測定
ケースレーの定評ある微小電流測定に、高速測定性能を加えまし
た。2500 型の各チャンネルは電圧源と高速ピコアンメータから構
成されます。その電圧源とピコアンメータは内部でリンクされ、二
つのチャンネルは互いに独立して使えます。
高速 L-I-V 試験システムのコンポーネント
レーザダイオードモジュールの DC 試験において、2500 型は、LD
のバックサイドPDとファイバー通過後のフォトディテクタに電圧
を供給します。そして二つのPDの電流を測定し、光パワー（輝度）
に変換します。この変換はユーザが設定したLDモジュールの波長
に対する校正係数によって行われます。輝度の高速で正確な測定
は、結合効率（レーザ光が光ファイバーへ入射する効率）や輝度
特性の試験に大変重要です。マルチバックフォトダイオード付LD
を試験するときにも、ハーフラックで高密度な試験が行えます。
ペルチェ
ワイドダイナミック測定レンジ
ファイバー
GPIB
コンピュータ
積分球
2500 型は LD モジュールの L-I-V 試験システムによく使われるケースレーの
他の製品と緊密な連携をするよう設計されています。他の製品とは、2400型
ソースメータ、2510型 TECソースメータ、2000 型デジタルマルチメータ、
7000 シリーズスイッチングシステム、2361 型トリガコントロールモジュー
ルです。
2nA ∼20mA の 8 レンジのワイドレンジで、LDの L-I-V 測定、LED
の全放射測定、光スイッチのクロストークやインサーションロス
などのアプリケーションにお使い頂けます。またトランスミッタ
やポンプレーザモジュールの工業試験にも適合します。
1000 データ／秒、トリガリンクによるLIV 同期、ハンドラ制御機能付
高確度な暗電流測定
レシオ＆デルタ測定
2500 型の 2nA レンジは 1fA の分解能をもち、暗電流測定に最適で
す。暗電流のレベルがわかれば、2500 型のREL 機能が暗電流をオ
フセットとして差し引き、その後の輝度測定を正確に行えます。
2nA レンジの確度は、読み値の 1％+350fA と大変正確です。
2500型の完全にアイソレートされた二つのチャンネル間の比や差
を測定できます。用途として、バックサイドPDとファイバー通過
後のPDとの比を、入力電流を変えながら測定することがあげられ
ます。この機能は前面パネルからでもGPIB でも使えます。マルチ
バックサイド PD をもつ LD モジュールでは、この測定結果を LD
の出力制御に利用できます。
電圧バイアス性能
2500 型の電圧バイアスレンジは± 10V と± 100V が用意されてい
ます。これによってエリアの大きなフォトディテクタには±10V、
アバランシェタイプのフォトディテクタには± 100V レンジなど、
タイプに応じて使い分けができます。そうすることで、測定のリ
ニアリティと確度が改善できます。分解能は±10Vレンジで500μ
V、± 100V レンジで 5mV です。
プログラマブルリミットとフィルタ
試験開始時などに過電圧がかかり、デバイスを破壊しないように、
他のケースレー製品と同様、電圧リミットと電流リミット機能が
用意されています。またバッファにストアされたデータに加算平
均フィルタやメディアンフィルタを適用できます。
高試験スループット
試験要求の変遷に柔軟に対応
2500 型は 4 1／ 2 桁で 1000 回／秒の読み取りが行なえます。これ
は光デバイスの特性評価や生産試験でよく一緒に使われる 2400
型ソースメータのスピードと同じです。また共にケースレー独自
のハードウェアトリガである「トリガリンク」とバッファメモリ
をもっています。例えばスイープ試験をするとき、測定を完全に
同期させ、測定値をメモリにストアするのにトリガリンクを使う
と測定の信頼性を上げられます。同時に GPIBによるトリガリン
クや個々のデータ転送が不要になることで、試験スピードは大幅
に向上します。
PD 付のパワーメータと異なり、2500 型はユーザが最適なフォト
ディテクタを選び、その校正係数をプログラムすることで、幅広
いレンジの測定ができます。波長補正は必要なく、試験スピード
の向上にも貢献します。
省スペース設計
輝度測定に必要な全てのファンクションをコンパクトなハーフ
ラックサイズの筐体に収めました。それもますます複雑になる
レーザダイオード同様、試験機器も複雑化の傾向にあります。
2500型を使うと試験システムのスペースや床面積を減らせ、GPIB
アドレスの節約になります。
インターフェイス
システムアップを迅速かつシンプルに行なうために、2500 型は、
トリガリンク、デジタル I/O、GPIB、RS-232C を標準装備してい
ます。トリガリンクは1つのコネクタ中に 6 つのソフトウェア選択
可能なトリガラインがあり、システムの全機器をコントロールで
きます。スイープするアプリケーションでトータル試験時間を減
らす場合に特に有効です。2500型は2400 型からトリガを受け取り
1 回のスイープを実行できます。デジタルI/O を使い、外部ハンド
ラの制御やビンソート動作も簡単に行なえます。
2500 型背面パネル
仕様
2500 型背面パネル2500 型フォトダイオードメータは2系統のフォ
トダイオード電流、もしくはユーザが設定した光パワーゲイン／
波長校正ファクタから光パワーを測定、表示します。
測定仕様
確度 1, 2
温度係数
23℃±5℃
0°
-18℃, 28°
-50℃ 最大DC
レンジ
最大分解能 ±（読みの％+オフセット） ±（読みの％+オフセット）/℃ 入力抵抗3
2.000000 nA
1 fA
1.00％+ 2 pA
( 0.01 + 200fA )
20kΩ
20.00000 nA
10 fA
0.40％+ 2 pA
(0.01 + 200fA)
20kΩ
200.0000 nA
100 fA 0.30％+ 200 pA
(0.02 + 20pA)
200Ω
2.000000μA
1 pA
0.20％+ 200 pA
(0.02 + 20pA)
200Ω
20.00000μA
10 pA
0.10％+ 20 nA
(0.01 + 2nA)
2.0Ω
200.0000μA
100 pA 0.10％+ 20 nA
(0.01 + 2nA)
2.0Ω
2.000000 mA
1 nA
0.10％+ 2μA
(0.02 + 200nA)
0.2Ω
20.00000 mA 10 nA
0.10％+ 2μA
(0.02 + 200nA)
0.2Ω
最大許容入力：±20.0mA.
ノイズフロア測定仕様（公称値）6
レンジ
2.000000 nA
20.00000 nA
200.0000 nA
2.000000μA
20.00000μA
200.0000μA
2.000000 mA
20.00000 mA
ノイズフロア（公称値）、1標準偏差、100測定値
0.01 NPLC 0.1 NPLC 1.0 NPLC
10 NPLC
2 pA
1 pA
40 fA
15 fA
2 pA
1 pA
40 fA
15 fA
200 pA
100 pA
2 pA
500 fA
200 pA
100 pA
2 pA
500 fA
20 nA
10 nA
200 pA
50 pA
20 nA
10 nA
200 pA
50 pA
2μA
1μA
25 nA
5 nA
2μA
1μA
25 nA
5 nA
スピードとノイズ除去比（公称値）4
読み取り／秒
桁数
GPIB（SCPI） GPIB（488.1）
4 1／2
700
900
5 1／2
460
475
6 1／2
58
58
フォトダイオード電圧バイアス仕様
NPLCs
0.01
0.1
1
NMRR
─
─
60 dB
2
確度
レンジ
分解能
23℃±5℃
最大電流負荷変動率 5 温度係数
0 to±10V ＜400μV ±(0.15％ of setting 20mA
＜0.30％ 150ppm/℃
+ 5mV)
0 to20mA
0 to±100V ＜4mV ±(0.3％ of setting 20mA
＜0.30％ 300ppm/℃
+ 50mV)
0 to20mA
注） 1 スピード＝ノーマル（NPLC 1.0）、
フィルタオン
2 1年間
3 フルスケール及びゼロの入力電流で ⊿ Vin /⊿ I in を測定
4 2チャンネル、
内部トリガ、測定のみ、
ディスプレイオフ、
マニュアルレンジ、
オートゼ
ロオフ、
ソースディレイ＝0、
フィルタオフ、
リミットオフ、CAL5、CAL6 オフ、60Hz
5 フルスケール
（20mA ）及びゼロの負荷電流で ⊿V in / ⊿I in を測定
6 ノイズフロア測定：1標準偏差、
100測定サンプル、
フィルタオフ、入力オープン
（キャップ付）
7 設計仕様
8 フルスケール
（20mA）
とゼロの入力電流で ⊿ Vin を測定
一般仕様
許容試料容量：∼ 10nF（公称値）
入力バイアス電流 7：50fA 以下＠ 23℃
入力電圧降下 8：4mV 以下＠ 20mA レンジで 20mA 入力時
電圧ソーススルーレート：3.0ms/V（公称値）
コモンモード電圧：200VDC
コモンモードアイソレーション：109 Ω //300pF（公称値）
オーバーレンジ：測定値の 105％
メモリバッファ：6000（3000 × 2）
指定した測定値とタイムスタンプ
プログラマビリティ：GPIB（SCPI-1995.0）
、RS-232C、5 つのユーザ
設定パワーアップ状態＋工場出荷デフォルト
（*RST）
デジタルインターフェイス：
イネーブル：アクティブ Lo 入力
ハンドラインターフェイス：試験開始、試験終了、3 ビット分類信
号、+5V ＠ 300mA 電源
デジタル I/O：1 トリガ入力、4TTL/リレードライブ出力（33V
＠ 500mA、ダイオードクランプ）
商用電源：100/120/220/240V ± 10％
商用周波数：50 Hz ／ 60Hz
消費電力：60VA
保証：1 年間
E M C ：欧州連合 98/336/EEC に適合
振動：MIL-T-28800F ランダム加振クラス 3
安全性：欧州連合 72/23/EEC に適合
ウォームアップ：規定確度まで 1 時間
寸法： 89mm（H）× 213mm（W）× 370mm（D）
ベンチ状態（ハンドルと足を含む）
：
104mm（H）× 238mm（W）× 370mm（D）
重量： 23.1kg
環境：動作： 0°∼50℃、70％RH（∼35℃、結露しないこと）
35°∼ 50℃、3％ RH /℃を減じる
保存： − 25°∼ 50℃、結露しないこと
オプション
237-ALG-2 型
低ノイズ三重同軸ケーブル（3 スロットTRX −
ワニ口クリップ）
237-BNC-TRX 型 BNC メス− 3 ラグ三重同軸オスアダプタ
7078-TRX-1 型
低ノイズ三重同軸ケーブル
CS-1053 型
バレルアダプタ
CS-751 型
バレルアダプタ
ケースレーインスツルメンツ株式会社
〒105−0022 東京都港区海岸1−11−1 ニューピア竹芝ノースタワー13F TEL : 03−5733−7555 FAX : 03−5733−7556
Web site : www.keithley.jp・Email : [email protected]
Keithley Instruments, Inc
28775 Aurora Road ･ Cleveland, Ohio 44139 ･ 440-248-0400 ･ Fax: 440-248-6168
1-888-KEITHLEY (534-8453) ･ www.keithley.com
C Copyright 2002 Keithley Instruments, Inc
Printed in the Japan
0402300057

Download Report