INNOTECH Group Press Release 2014 年 12 月 2 日 報道関係者 各位 STAr Technologies, Inc. 台湾・STAr Technologies 社が新製品を発表 3D-IC 用ハイブリッド半導体試験装置「STAr Gemini」 半導体試験システムおよびプローブカード・メーカーである STAr Technologies, Inc. (イノテックグル ープ 本社：台湾 新竹市 代表者：劉 俊良 以下 STAr 社 )は、3D-IC のパッケージングに用いる Si 貫 通電極（Through Silicon Via :TSV）、Si インターポーザー、銅柱フリップバンプなどが提供できる半導体 試験装置（Automatic Test Equipment：ATE） 「STAr Gemini」をリリースしました。 なお、「STAr Gemini」の日本国内における販売およびサポートは、イノテック株式会社が行います。 STAr 社は設立以来、半導体プロセス技術および新製品の研究開発を中心にビジネスを展開しております。 近年では、小型、低消費電力、多機能な最終製品の開発をするうえで、3D-IC は半導体メーカーの重要な課 題になっています。3D-IC のパッケージングと測定がますます重要視されるようになり、コスト管理と生産 目標達成のため、半導体メーカー各社は新技術を使用し、歩留まりを向上する必要があります。 「STAr Gemini」のハイレベルな統合ソリューションは、3D-IC 技術開発のパラメーター試験、信頼性試験、 ウエハー生産および生産品質のモニタリング機能や 3D-IC の貫通電極（Stacking）の KGD（Known Good Die） 試験もできます。 「STAr Gemini」は、低コストで 3D-IC の品質検証を行い、受注先の量産需要を満たし、市場にリリースす るまでの時間を短縮できます。20 個の計測モジュールを有し、外部の計測器と確実に統合できます。そして、 「STAr Gemini」は、960 個のフルマトリックス低リークチャネルまでの構成が可能で、マイクロオーム、ピ コアンペア、フェムトファラッドなどの微少信号を正確に計測できます。さらに、100MHz 最大 1920 チャン ネル（per-pin PMU） 、3D-IC 貫通電極の前（pre-bond） 、中（mid-bond） 、後（post-bond）などの KGD 試験を 実現できます。 STAr 社はパートナー企業との提携で「STAr Gemini」のマイクロオーム抵抗測定機能を用いて、3D-IC 製造 テストおよび歩留まり分析中に KGI（Known Good Interposer）と KGS（Known Good Substrate）の検証を達 成しました。検証中に「STAr Gemini」がインターポーザプロセスの不安定で 2 峰性の分布を正確に測定でき ました。パートナー企業もピコアンペア電流測定を用いて Si 貫通電極プロセスの不安定性を発見、故障解析 と照合し、プロセスの歩留まりと信頼性を向上させました。 pg. 1 INNOTECH Group Press Release ■STAr Technologies,Inc. CEO 劉 俊良のコメント 「STAr Gemini」は受注先の需要に基づき開発する半導体試験装置であり、パラメーター、信頼性および機能 などの測定ができます。他のテスターを使用せず、ワンストップ品質検証を行うことができ、コスト削減を 図ることができる最適な 3D-IC テストソリューションです。そして信頼性テストシステム「Scorpio HCI/NBTI GOI/TDDB テストシステム」とともに、弊社の半導体試験ソリューションや優れた開発技術が幅広 くご提供できるものと信じています。 3D-IC 用ハイブリッド半導体試験装置／「STAr Gemini」 【STAr Technologies, Inc.について】 ■代表者 ：劉 俊良 ■本社 ：4F., No.158,Gongdao 5th Rd., Sec.2, Hsinchu City 30070, Taiwan ■設立 ：2000 年 ■URL ：http://www.star-quest.com/ ■資本金 ：354 百万台湾ドル 【プレスリリースに関するお問い合せ先】 イノテック株式会社 TEL：045-474-8824 テストソリューション本部 STAr 推進室 FAX：045-474-9064 pg. 2
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