テラヘルツ検出器
ἉἋἘἲನ঺
SHEB (Superconducting Hot Electron Bolometer)
制御コントローラー
SMAコネクター (A)
ឬˡ‫ݰ‬ἭἕἚỺἾἁἚἿὅἮἿἳὊἑὊ౨Ј֥
SMAコネクター (B)
出力信号
DCコネクター
RS ἉἼὊἌ
真空バルブ
KF16フランジ
100 K/40 K
熱シールド
応答速度 高速 50 ps もしくは 1 ns
液体ヘリウム
(1∼2 L)
ボロメーターセンサー
バイアスティ
周波数レンジ 0.3∼3 THz、1∼12 THz、25∼70 THz
HDPE窓
クライオスタット
ロシア SCONTEL社製 超伝導ホットエレクトロンボロメ
HEMTアンプ
THz用レンズ
ヒーター
SHEBボロメーター
ーター検出器（SHEB)は、NbN（窒化ニオブ)薄膜を使用し
た高速テラヘルツ検出器です。
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液体ヘリウム用クライオスタットをベースに検出素子、
入射窓、
フィルター、信号増幅器を含んだ構成になり、付
3000
属の制御用コントローラーにて操作を行います。
周波数レンジ 0.3∼3 THz, 1∼12 THz, 25∼70 THzの
NEP (W√Hz)
３種類から選択でき、応答速度は最小 50 psと高速検出
が可能です。
10
-10
10
-11
10
-12
10
-13
波長 (—m)
300
30
3
0.3 ∼ 3 THz
1 ∼ 12 THzz
10
25 ∼ 70
7 THz
H
-14
0.1
1
10
100
周波数レンジ (THz)
特長
用途
■ 周波数レンジ
● テラヘルツ分光測定
0.3∼3 THz、1∼12 THz、25∼70 THzの3種類
■ 応答速度：最小50 ps
仕様 (RSシリーズ)
● 電波天文分野
周波数レンジ
● セキュリティー分野
型名
■ NEP：最小10∼14 W/√Hz
● テラヘルツイメージング測定
センサー材質
■ 入射窓、
フィルター、信号増幅器 一体型
● 非接触検査用途
ダイナミックレンジ
■ 液体ヘリウム用クライオスタットもしくは
● 情報通信分野
応答速度
● ラストワンマイル
NEP
クローズドサイクル機械式冷凍機対応
■ 制御用コントローラー付属
● テラヘルツイーサネット
25 ∼ 70 THz
2
2a
3
3a
MoRe
NbN
MoRe
NbN
MoRe
NbN
50 ps
1 ns
50 ps
1 ns
0.1 —W
1 ns
50 —W
2 —W
50 ps
5 ∼ 7×10-14 W/√Hz 3 ∼ 5×10-13 W/√Hz 1 ∼ 2×10-11 W/√Hz 6 ∼ 8×10-11 W/√Hz 1 ∼ 2×10-11 W/√Hz 4 ∼ 5×10-12 W/√Hz
感度 (Responsivity)
∼ 10,000 V/W
∼ 3,000 V/W
∼ 300 V/W
∼ 100 V/W
∼ 2,000 V/W
∼ 100 V/W
0.01 ∼ 200 MHz
1 ∼ 3500 MHz
0.01 ∼ 200 MHz
1 ∼ 3500 MHz
0.01 ∼ 200 MHz
1 ∼ 3500 MHz
THz 用レンズ
対応入射光
冷却方式
超伝導ホットエレクトロンボロメーター検出器
1 ∼ 12 THz
1a
HEMT アンプ帯域
最小入射光
25
0.3 ∼ 3 THz
1
ハイブリッドアンテナ
シリコンレンズ
ゲルマニウムレンズ
50 —W
10 mW
1 mW
10 mm、F/3 ∼ F/∞ ( コリメートビーム )
液体ヘリウム用クライオスタットもしくはクローズドサイクル冷凍機対応
超伝導ホットエレクトロンボロメーター検出器
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