プレスリリース Steven Cantor VP of Corporate Relations T +1 978 436 6750 [email protected] インテグリス、純水用の 新しい精製ソリューションを発表 BILLERICA, Massachusetts, – 2014 年 2 月 9 日 – 最先端の製造環境向けのコンタミネー ションコントロールおよびマテリアルハンドリング技術で世界をリードする、米国イン テグリス社 (Entegris Inc.、Nasdaq: ENTG) は、除粒子孔径 7 nm の Protego® (プロテゴ) Plus HT/HTX を発表した。同製品は純水から金属イオンを除去する最先端のピューリ ファイヤー / フィルターで、既存のピューリファイヤーに比べ微細粒子の除去性能にも 優れている。 インテグリスの液体用ピューリファイヤーおよびピューリファイヤー / フィルターのプ ロテゴシリーズの最新製品であるプロテゴ Plus HT/HTX は、フラットパネルディスプレ イなどのエレクトロニクス製品や半導体の製造に欠かせない純水用の製品で、金属イオ ンやその他の汚染物質の除去が可能である。プロテゴ Plus HT/HTX の最高使用温度は 80 ℃で、除粒子孔径が大きい他の製品よりも粒子の除去性能に優れた設計になっている。 また、現在市場にある製品のなかでは最高の流量と清浄度を誇る。 129 Concord Road | Billerica, MA 01821 USA | T +1 978 436 6500 「次世代半導体の製造プロセスでは、より一層高い清浄度が必要になっており、ごく微 量でも金属や金属イオンが製造プロセス内に存在すると、製造の歩留まり低下やディ フェクト発生を招く恐れがあります。私たちはこのような高いレベルの清浄度を達成す るための新製品の開発とリリースに焦点をあて、最終的には製造の歩留まり改善に寄与 したいと考えています。」とインテグリスの副社長兼コンタミネーションコントロール ソリューション部門 GM、Todd Edlund は語る。 除粒子孔径 7 nm のプロテゴ Plus HT/HTX は、フィルターおよびピューリファイヤーの プロテゴシリーズの最新製品である。先日、同シリーズでは清浄度が極めて重要な IPA 向けの新しい製品が発売された。インテグリスの新しいプロテゴ Plus HT/HTX や、その 他のコンタミネーションコントロールおよび基板ハンドリングソリューションは、韓国 ソウルの COEX で開催される SEMICON Korea 2014 (2 月 12 ～ 14 日) にて展示される予 定である。 プロテゴに関する詳細情報は、インテグリスのウェブサイト (www.entegris.com)、または 最寄りのインテグリスで確認できる。 ※本資料は 2014 年 2 月 ｘｘ 日付けで米国インテグリス社が発表したニュースリリースを日本語に翻訳したものです。 インテグリス社について インテグリス社は半導体およびその他ハイテク産業の加工・製造に使用される貴重な材料を精製、保 護、搬送する製品を幅広く提供している世界有数のサプライヤーです。インテグリスは ISO 9001 認証 Entegris, Inc. | 2/3 ページ を取得しており、米国、中国、フランス、ドイツ、イスラエル、日本、マレーシア、シンガポール、 韓国、台湾に製造工場、カスタマーサービスセンター、研究施設を構えています。さらに詳しい情報 については、www.entegris.com をご覧ください。 ### 以上 ### 【米国本社 お問い合わせ先】 Entegris, Inc. Steve Cantor, VP of Corporate Relations Tel. +1-978-436-6750, Mail_to: [email protected] 【国内 お問い合わせ先】 日本インテグリス株式会社 担当: 長谷川 弥生 〒108-0073 東京都港区三田 1-4-28 三田国際ビルヂング Tel: 03-5442-9718 Mail_to: [email protected] URL: http://www.entegris.com/nihon Entegris, Inc. | 3/3 ページ
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