電子銃内蔵オージェ電子エネルギー分析器
PHI 3017
特　長
● 電 子 銃 を 内 蔵 し た 同 軸 円 筒 鏡 型 分析 器（Cylindrical Mirror
Analyzer）パッケージ
●取込角を42°±6°と大きく取ることが可能
●取付フランジは ICF152フランジと ICF203フランジの2種類
●検出系は V/f, パルスカウントの両方に対応
用　途
●試料表面のオージェ電子分光
●成膜装置と組合せた表面分析
10-155A アナライザの外観
仕　様
●S ／ N
：1600：1以上（ V/f モード、5kV、1μA）
：750：1以上（パルスカウントモード、5kV、100nA）
：250：1以上（パルスカウントモード、5kV、10nA）
● CMA 透過率
●エネルギー分解能
：10％
：0.6％固定
●ビーム加速電圧
●最大ビーム電流
：0.1kV～5kV
：50μA
●フィラメント材質
：W（タングステン）
●取付フランジ面—試料距離：228.6mm（ ICF152フランジ）又は279.4mm（ ICF203フランジ）
●掃引エネルギー範囲
：0～3,200eV
●最小エネルギーステップ ：50meV（コンピュータ制御）
●取付フランジ
：ICF152フランジ又は、ICF203フランジ
●磁気シールド
●ベーキング温度
：ミューメタルシールド
：最高150℃
※パッケージには、制御用PC、データ測定ソフトウェア（PHI SUMMITT）、データ解析ソフトウェア（PHI MultiPak）、AESハンドブックが含まれます。
オプション
●パルスカウント機能（パルスカウント用のプリアンプ・ケーブルなどはオプションです。）
外形寸法図
10-155A タイプ（ICF152フランジ）
15-155Aタイプ（ICF203フランジ）
２７９．
４
２７°
８．
２
８
ICF１５２フランジ
（ＦＨ）
４３
φ８８．
９
２７１．
２
φ８２．
６
４１
φ１５２．
４
φ８２．
６
２２０．
４
２７°
φ２０２．
４
２２８．
６
８．
２
（単位：mm ）
ICF２０３フランジ
（ＦＨ）
※FH は固定ホールフランジです。同時に FT（固定タップ付）
、RH（回転
ホール）
、RT（回転タップ）を意味します。
MT0048/OFG
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