EB源 NEG-F06AF型 新技術(特許申請中) インナーポールピース型EB源 概 要 NEG-F06AF型EB源はEB源上部、上面に配置のポールピースを全て本体内に 収納しメンテフリーとパーティクル対策を前進させるEB源です。 特 長 ①ビーム照射位置の確認が容易に行えます。(視認性の向上) ②メンテナンス時にポールピースのクリーニングが不要となり、ポールピースに 起因するトラブルが解消し安定した性能を維持します。 ③ポールピース及びカバーが消耗品から無くなります。 ④連続生産機に最適です。 ⑤ポールピースに蒸着材料が付着する事が皆無となり、パーティクルの問題が 解消します。 仕 様 最大ビーム出力 ビーム加速電圧 ビーム偏向 外形寸法 ：6kW（6kV・800mA） ：6kV ：270° ：W240×D160×H98 日新技研株式会社 エミッション電流 ビームポジション ビームスキャン 重量 ：0∼800mA ：±15mm ：±15mm ：12kg ※外観･仕様は改良のため予告なく変更することがあります
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