EB源
NEG-F06AF型
新技術(特許申請中)
インナーポールピース型EB源
概 要
NEG-F06AF型EB源はEB源上部、上面に配置のポールピースを全て本体内に
収納しメンテフリーとパーティクル対策を前進させるEB源です。
特 長
①ビーム照射位置の確認が容易に行えます。(視認性の向上)
②メンテナンス時にポールピースのクリーニングが不要となり、ポールピースに
起因するトラブルが解消し安定した性能を維持します。
③ポールピース及びカバーが消耗品から無くなります。
④連続生産機に最適です。
⑤ポールピースに蒸着材料が付着する事が皆無となり、パーティクルの問題が
解消します。
仕 様
最大ビーム出力
ビーム加速電圧
ビーム偏向
外形寸法
：6kW（6kV・800mA）
：6kV
：270°
：W240×D160×H98
日新技研株式会社
エミッション電流
ビームポジション
ビームスキャン
重量
：0∼800mA
：±15mm
：±15mm
：12kg
※外観･仕様は改良のため予告なく変更することがあります