材料払い出し

各工程RTR用設備例
工程フロー
材料払い出し
ハーフエッチング
レーザー穴明け
CONFIDENTIAL
機能
加工装置
ロール状で工程投入
18μm厚み銅箔
→ 6μmまでエッチング
微細TH穴明け
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1
(NCドリル穴明け)
通常一般的穴径の場合
プラズマ処理
レーザー穴明け時スミアー除去
マイクロエッチング
レーザー穴明け時のドロス除去
CONFIDENTIAL
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2
導電化処理
微細TH穴内への導電化処理
シャドープロセス
硫酸銅メッキ
表裏導通用電気銅メッキ
ドライフィルムラミネート
微細回路形成用DFRの
ラミネート
CONFIDENTIAL
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3
露光
現像・エッチング・剥離
回路検査(AOI)
CONFIDENTIAL
平行光による焼き付け
DFRの現像・エッチングによる
回路形成・DFRの剥離除去
ロール状回路の欠陥検査
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4
ロール材をシート状に裁断
する前に後工程で使用する
ガイド穴を打ち抜く
ガイドホール穴明け
※ガイドホールの使用方法によっては
表面処理(Ni/Auメッキ)後穴明けする
カバーフィルム打ち抜き
カバーフィルム洗浄
CONFIDENTIAL
ロール状CLを自動で
打ち抜く
ロール状で打ち抜かれた
CLを水洗洗浄
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5
カバーレイ仮接着
ロール状で準備されたCL
を精度良く自動で仮付け
カバーレイラミネート
ロール状で仮付けされた
CLを自動でラミネート
カバーレイ接着剤キュアー
CONFIDENTIAL
N2雰囲気でロール状
のままキュアー
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6
マイクロエッチング
レーザー穴明け時の
ドロス除去と同一設備
電解NI/Auメッキ
表面処理
シート裁断
CONFIDENTIAL
ロール状からシート状に裁断
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7
リードカット
OSチェッカー
外観検査
CONFIDENTIAL
導通リード部裁断
通電検査
外観不良検査
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8
オプション工程
PSR 印刷
PSR 乾燥
PSR 露光
PSR 現像
PSR ポストキュアー
CONFIDENTIAL
PSR乾燥機を使用又は裁断後オーブンキュアー
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9