各工程RTR用設備例 工程フロー 材料払い出し ハーフエッチング レーザー穴明け CONFIDENTIAL 機能 加工装置 ロール状で工程投入 18μm厚み銅箔 → 6μmまでエッチング 微細TH穴明け Copyright @ FPC connection co., ltd 1 (NCドリル穴明け) 通常一般的穴径の場合 プラズマ処理 レーザー穴明け時スミアー除去 マイクロエッチング レーザー穴明け時のドロス除去 CONFIDENTIAL Copyright @ FPC connection co., ltd 2 導電化処理 微細TH穴内への導電化処理 シャドープロセス 硫酸銅メッキ 表裏導通用電気銅メッキ ドライフィルムラミネート 微細回路形成用DFRの ラミネート CONFIDENTIAL Copyright @ FPC connection co., ltd 3 露光 現像・エッチング・剥離 回路検査(AOI) CONFIDENTIAL 平行光による焼き付け DFRの現像・エッチングによる 回路形成・DFRの剥離除去 ロール状回路の欠陥検査 Copyright @ FPC connection co., ltd 4 ロール材をシート状に裁断 する前に後工程で使用する ガイド穴を打ち抜く ガイドホール穴明け ※ガイドホールの使用方法によっては 表面処理(Ni/Auメッキ)後穴明けする カバーフィルム打ち抜き カバーフィルム洗浄 CONFIDENTIAL ロール状CLを自動で 打ち抜く ロール状で打ち抜かれた CLを水洗洗浄 Copyright @ FPC connection co., ltd 5 カバーレイ仮接着 ロール状で準備されたCL を精度良く自動で仮付け カバーレイラミネート ロール状で仮付けされた CLを自動でラミネート カバーレイ接着剤キュアー CONFIDENTIAL N2雰囲気でロール状 のままキュアー Copyright @ FPC connection co., ltd 6 マイクロエッチング レーザー穴明け時の ドロス除去と同一設備 電解NI/Auメッキ 表面処理 シート裁断 CONFIDENTIAL ロール状からシート状に裁断 Copyright @ FPC connection co., ltd 7 リードカット OSチェッカー 外観検査 CONFIDENTIAL 導通リード部裁断 通電検査 外観不良検査 Copyright @ FPC connection co., ltd 8 オプション工程 PSR 印刷 PSR 乾燥 PSR 露光 PSR 現像 PSR ポストキュアー CONFIDENTIAL PSR乾燥機を使用又は裁断後オーブンキュアー Copyright @ FPC connection co., ltd 9
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