仮止接着剤 DNP Fine Chemicals Co., Ltd. 精密研磨・ 精密研磨・精密加工の 精密加工の仮固定用にカスタマイズが 仮固定用にカスタマイズが可能 にカスタマイズが可能です 可能です。 です。 液状タイプ 液状 液状タイプ タイプ ((アルファリキッド アルファリキッドAR AR 、 、TR TR 、 、SR SR シリーズ シリーズ) 液状タイプ アルファリキッドAR シリーズ)) 主な用途 ①シリコンウエハの研磨(AR 、TRシリーズ)。 ②サファイアウエハの研磨(SRシリーズ)。 特 徴 アルファリキッド ①人体に影響のあるトルエンを不使用です。 ②合成樹脂の使用により製品の品質を安定化しています(AR 、 SRシリーズ)。 ③金属含有量はppbレベルです (AR 、TRシリーズ)。 ④優れた塗布性により精密研磨が可能です。 ⑤アルカリ水溶液による洗浄が可能です(AR 、TRシリーズ)。 物性値 塗布性(μm) 液粘度 固形分 接着力 (mPa・s) (%) (MPa) 平均膜厚 標準偏差 1.6 25.0 2.0 1.65 0.026 製品名 AR-931H(25) (塗布条件)8inシリコンウエハ、4cc滴下、3000rpm×3sec (測定装置)光学式膜厚マッピング装置 …面内161点測定 固形タイプ 固形 固形タイプ タイプ ((セラックス セラックス 、 、ファインフィックス ファインフィックス シリーズ シリーズ) 固形タイプ シリーズ)) 主な用途 ①サファイアウエハの研磨、水晶やガラスなどの切断(ファインフィックスシリーズ)。 ②磁性材の切断(セラックスシリーズ)。 特 徴 ①アルコール、アルカリ水溶液による洗浄が可能です。 ②幅広い接着力(2 ~ 14 MPa)と軟化点(40 ~ 80℃)のラインナップがあります。 ③板状と粉状による使用条件での使い分けが可能です(セラックスシリーズ)。 セラックス 板状タイプ セラックス 粉状タイプ ファインフィックス ※記載の数値は、実測値であり保証値ではありません。 株式会社DNPファインケミカル 0
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