日立超高分解能走査電子顕微鏡
Hitachi Ultra High Resolution Scanning Electron microscope/SU8220
SU8220
低加速観察での観察と分析を融合した進化したCold FE-SEM
The novel Cold FE-SEM providing image observation and elemental microanalysis at low acceleration voltage conditions
「IEEEマイルストーン」に認定された
FE電子顕微鏡の技術を更に高めた
高輝度安定Cold -FE電子銃による
高分解能観察
High resolution imaging by newly high
brightness and stability Cold FE-Gun
which further raised the technology of
field emission electron microscope authorized by "IEEE Milestone"
10V～2,000Vまで設定可能な減速光学系を用いた
低ダメージ・極表面観察
Low damage and top surface observation with beam deceleration
system which can be set up to 10V - 2,000V landing voltage
大口径EDX検出器を用いた高空間分解能組成分析
High spatial resolution X-ray microanalysis using large area size
EDX detector
■多彩な信号検出系■
(標準光学系)
Top検出器
Upper
検出器
Top(HA-BSE)
Upper(LA-BSE)
BaCO
3
TiO2
組成コントラスト
Lower(SE)
組成コントラスト＋凹凸情報
（チャージアップ抑制）
Upper(SE)
Lower
検出器
試
料 ： BaCO3/TiO2 混合粒子
加速電圧 ： 1kV
観察倍率 ： x 70k
凹凸情報
最表面情報

Document 7436858

2. - JKU

Ag Al Pb Zn Cu Ba Ca Na Fe Ag Al Pb Zn Cu Ba Ca Na Fe AgCl