THP-CD Series

マスフローコントローラ
THP-CD Series
■
■
■
■
■
型式
型式欄にご記入頂き、そのままFAXでもOK! お見積もり、ご注文承ります。
出力
タイプ
規格
-
THP-CD
1
流体名
流量単位最大流量
2
継手
タイプ
口径
3
4
5
6
7
圧力
P1/P2
シール材
-
特殊ガス
-
8
9
選択項目からお選び頂き、上記型式の該当するにご記入下さい。
選択項目
1
2
3
∼1500 SmL/min
∼30
∼100
∼400
∼1000
∼2000
∼5000
Output 4-20mA
Output 0-5V
RS-485 with 4-20mA
RS-485 with 0-5V
AIR
N2
O2
CO2
Ar
He
特殊 (LPG, LNG, H2・
・
・etc)
接続口径
001
030
100
500
1000
2000
5000
C
V
RC
RV
1
2
3
4
5
6
9
最大流量(SL/min)
Mass Flow Controller
デジタル制御回路を用いて大流量でも迅速な応答速度と精度を保証し、
多彩な付加機能を搭載しています。
圧力センサ搭載で圧力監視が可能( 追加予定)
全流量域で迅速な応答速度
高精度・優れた安定性
LED 搭載で制御状態の確認が可能
Normally Open 仕様対応可能(THP-CD500 のみ)→”THP-CD500NO”
■
LOK1/8”
, 1/4”
, 3/8”
, VCR1/4”
LOK1/8”
, 1/4”
, 3/8”
, VCR1/4”
LOK1/4”
, 3/8”
, 1/2”
, 3/4”
, VCR1/2”
LOK3/8”
, 1/2”
, 3/4”
, VCR1/2”
LOK3/8”
, 1/2”
, 3/4”
, VCR1/2”
LOK1/2”
, 3/4”
, 1”
LOK1”
, 25A フランジ, 40A フランジ
4
5
6
7
8
9
SmL/min
SL/min
特殊
最大流量を記入
LOK継手
VCR継手
フランジタイプ
その他
1/8”
1/4”
3/8”
1/2”
3/4”
1”
JIS10K25A RFフランジ相当
JIS10K40A RFフランジ相当
Silicon
Viton
Viton-ETP
Kalrez
P1/P2を示します。
（記入例：2bar/1atm）
D
E
Z
Max.
L
V
F
Z
00
01
02
03
04
05
07
S
FKM
FKME
K
P1/P2
仕様
最大流量(N2)
THP-CD001
THP-CD030
THP-CD100
THP-CD500
THP-CD1000
THP-CD2000
THP-CD5000
5∼1,500 sml
1.5∼30 slm
30∼100 slm
100∼400 slm
400∼1,000 slm
1,000∼2,000 slm
2,000∼5,000 slm
流量制御範囲
2∼100 % of FS
制御精度
≤ ± 1.0% of Full Scale
応答時間
≤ 1.5 sec
直線性
再現性
最高使用圧力
コントロールバルブタイプ
シールタイプ
デジタルインターフェイス
シグナルタイプ
電源
使用温度範囲
ウォームアップタイム
材質
≤ ± 2.0% of Full Scale
≤ 2 sec
≤ 2.5 sec
≤ ± 0.2 % of FS
≤ ± 3.0% of Full Scale
≤ 3 sec
≤ ± 0.5 % of FS
≤ ± 0.2 % of FS
≤ ± 0.3 % of FS
25bar ※
25bar
Normally Closed Solenoid
Normally Closed Solenoid(Pilot type Valve)
パッキン (Silicon, Viton, Viton-ETP, Kalrez, etc.)
RS-485 (Baud Rate 9600 bps)
アナログモード : 4∼20mA or 0∼5VDC デジタルモード： RS-485
＋15∼24VDC(min14.5V/max.32V)/0.5A
5∼50 ℃ (精度保証 : 15∼35℃ )
15分 (精度保証 : 30分)
SUS316L
※ 最大流量15sml以下：5bar、30sml以下：10bar、100sml以下：15barとなります。又、流体がH2、Heの場合は、50sml以下：5bar、100sml以下：8bar、300sml以下：15barとなります。
その他の圧力については、お問い合わせください。
01
差圧比較
構造図
THP-CD100
Y : ΔP (bar)
LOK1/4”L
0.14
E
F
THP-CA/CD001
0.12
48
X : Flow rate (SL/min)
0.08
0.04
0.03
0
20
D
0.02
A
B
Model
A
48
B
LOK1/8" LOK1/4" LOK3/8" LOK1/2" LOK3/4" VCR1/4" VCR1/2"
122.74
127.32
130.36
123.8
146.34
149.38
154.98
161.58
148.9
5
50
200
400
700
1.0
C
D
E
F
30.8
32.8
12.7
17
131.8
136.8
14
23
THP-CA/CD030
0.8
0.6
0.4
0.4
0.2
0
THP-CD500
0.8
0.6
0.2
2
4
6
10
14
18
22
LOK1/2”L LOK3/8”L
1.4
1.0
151.8
0.8
0.25
0.4
24.5
24
0.2
121
LOK3/8"
199.92
THP-CD500
LOK1/2"
205.5
LOK3/4"
209.08
VCR1/2"
200
40
50
60
80
100
THP-CDシリーズはAnalog MFCに比べ応
答性と安定性に優れ、全区間に対して迅速な
応答速度でより精密な制御が可能です。
THP-CD1000∼5000
0 %∼100 %応答
※ THP-CD5000については、
お問い合わせください。
C
20
D
2-M4×0.7P 6deep
Model
LOK3/8"
228.92
-
THP-CD1000
THP-CD2000
配線図
4
6 7 8 9
D-Sub 9 Pin
26.5
170
B
B
3
30
0.55
A
Model
2
0.6
0.4
1.0
応答性
6-M4×0.7P 6deep
1
0.4
0.3
0.2
0
54
0.8
0.75
0.6
14.5
30
LOK1/4”L
1.0
141
A
26
THP-CA/CD100
1.2
49
1,200
LOK1/4”L
THP-CD
76
93.5
THP-CD001∼030
THP-CD100
F
0.1
0.09
0.08
0.07
0.06
0.06
2-M4×0.7P 6deep
C
0.11
0.10
5
LOK1/2"
234.5
238.08
A
LOK3/4"
238.08
238.08
LOK1”
246.72
VCR1/2"
229
-
48
111.5
B
C
D
Ø 79
Ø 90
36.4
42.4
175.6
187.6
内容
アナログモード
デジタルモード
Pin No. ケーブル色
1
F.G
F.G ＊1
緑
2
+15∼24VDC
+15∼24VDC
赤
3
N.C
RS-485 B( - )
灰
4
Signal Com
Signal Com
青
5
Valve Com
Valve Com ＊2
白
6
Signal Out (4-20mA or 0-5VDC) Signal Out (4-20mA o r 0-5VDC)
茶
7
Power Com
Power Com
黒
8
Signal In (4-20mA or 0-5VDC)
Signal In (4-20mA or 0-5VDC)
黄
9
N.C
RS-485 A(+)
橙
＊1: F.Gを必ず接地し使用してください。
＊2: Valve comにはPower comと同じ電源の - マイナス(0V)を必ず接続してください。
※ 専用接続ケーブル2m(片側フリー)が付属します。
%
100.0
90.0
80.0
70.0
60.0
50.0
40.0
30.0
20.0
10.0
0
Set
2
4
6
8
10
Digital
12
14
16
0 %∼10 %応答
48
マスフローコントローラ
THP-CA/CDシリーズは、最大5000SL/minまで製
作が可能で、圧力条件及び継手のサイズによって製作
可能な流量が決まります。
THP-CD001∼100
%
100.0
90.0
80.0
70.0
60.0
50.0
40.0
30.0
20.0
10.0
0
Set
2
4
6
8
10
Digital
12
14
16
20%∼100 %応答
%
100.0
90.0
80.0
70.0
60.0
50.0
40.0
30.0
20.0
10.0
0
Set
2
4
6
8
10
Digital
12
14
16
Analog
18 20 22
Time(sec)
Analog
18 20 22
Time(sec)
Analog
18 20 22
Time(sec)
02

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