計測・分析装置 1 電界放出形走査電子顕微鏡 SU5000 電界放出形走査電子顕微鏡（FE-SEM：Field Emission − Scanning Electron Microscope）は，研究開発や産業の 幅広い分野で使用されている。昨今は装置の性能・機能が 発展する一方，ユーザーの裾野の広がりに応じてスキルに よらずに性能を反映したデータが取得できる装置が求めら 電子装置・システム れている。 今回開発した SU5000 には，ユーザースキルに関わらず， 目的に応じた観察像を取得できる新ユーザーインタフェー スを新規に搭載した。ユーザーは， 「条件を検討」するの 計測・分析装置 ではなく，表面情報，材料分布などの「目的を選択」する 2 卓上顕微鏡Miniscope TM3030Plus ことで観察に必要な条件が自動的に設定され，複雑な操作 を省略して高い分解能，コントラストの像が得られる。一 方，熟練者には自由に装置の条件を設定できるような操作 が可能となっている。 2 卓上顕微鏡Miniscope TM3030Plus また，幅広い観察・分析に対応するため最大 200 nA の 大電流を確保している。新開発の反射電子検出器や低真空 卓上顕微鏡 Miniscope シリーズは，光学顕微鏡を超える 条件での二次電子像取得機能など，今後拡大していくさま 高い倍率で観察ができ，低真空観察により，絶縁物や水分・ ざまな材料観察や分析ニーズに対応した最先端の材料開発 油分を含んだ試料でも前処理なしでの観察，EDX（Energy や研究に貢献する。 Dispersive X-ray Spectrometry）分析（オプション）が可能 （株式会社日立ハイテクノロジーズ） である。また， オート機能や徹底した操作の簡易化により， （発売時期：2014 年 8 月） 電子顕微鏡に初めて触れる人でも使用することができる。 従来，卓上顕微鏡の役割は，主に光学顕微鏡より高い倍 率での観察を気軽に行うことであったが，近年は電子顕微 鏡ユーザーがスクリーニング観察を目的として使用する場 合もある。 今回開発した TM3030Plus では，こうした多様化する ニーズに対応するため， 新たに二次電子検出器を搭載した。 これまでの Miniscope は，試料の組成や凹凸情報を得るこ とができる反射電子像で観察を行っていたが，上位機種で 採用している高感度低真空二次電子検出器を搭載すること で，試料表面の微細形状が観察できる二次電子像の観察も 可能にした。 卓上顕微鏡の市場拡大の中で多様化するニーズに応える 装置として，研究開発や品質管理などに貢献する。 （株式会社日立ハイテクノロジーズ） （発売時期：2014 年 8 月） 1 電界放出形走査電子顕微鏡SU5000 104 電子装置・システム 3 （右） Chromaster 5610質量検出器（MS Detector）の外観（左），装置内部（大気圧イオンフィルタ） 高速液体クロマトグラフ用 Chromaster 5610質量検出器（MS Detector） 熱機械分析） ，弾性率を測る DMA（Dynamic Mechanical Analysis：動的熱機械測定）などの手法があり，材料の研 究開発や品質管理などで幅広く活用されている。 示差熱熱重量同時測定装置 STA7200RV は，TG/DTA 測 られる重要な検出器として，製薬・化学・食品分野をはじ 定を行いながら，CCD（Charge Coupled Device）カメラ めとした研究開発部門を中心に用いられている。大型の質 によって測定中の試料の形態変化を同時に観察できる「試 量分析計は，特別な設置環境が必要なうえ，操作性やメン 料観察オプション」に対応した装置である。これにより， テナンス性に不安があり，導入の障壁が高いといった課題 通常の熱分析では分からない試料の加熱時における形態変 があった。 化を，測定結果と併せて観察・評価することができる。ま Chromaster 5610 質 量 検 出 器（MS Detector）は， 「よ り た，試料観察窓（ビューポート）を持つ新設計の加熱炉に 正確に」 ， 「より手軽に」， 「よりコンパクトに」をコンセプ よって 1,000℃までの観察測定が可能であり，高分子有機 ト と し た 四 重 極 型 質 量 分 析 計 を 採 用 し た HPLC（High 材料などの分解過程，無機材料の融解，ガラス転移などを Performance Liquid Chromatograph）ユーザーのための新 視覚的に捉えることができる。 しい検出器であり，質量情報が得られることで，定性分析 （株式会社日立ハイテクサイエンス） の信頼性を大幅に向上させることができる。高速液体クロ （発売時期：2014 年 6 月） マトグラフ Chromaster と同等の設置面積， AC（Alternating Current）100 V 電源対応，窒素ガスの低減など，設置環境 の自由度を拡大させている。また，新開発の大気圧イオン フィルタの搭載によってメンテナンス性を大幅に向上させ るなど，大型の質量分析計の持つ課題の払拭と導入障壁を 抑えることにより，新たな分析ニーズに貢献することがで きる。 （株式会社日立ハイテクサイエンス） （発売時期：2014 年 9 月） 4 示差熱熱重量同時測定装置STA7200RV 熱分析装置は，物質の熱に対する基本的な性質（熱物性） を測定する装置である。物質への熱の出入りを測る DTA （Differential Thermal Analysis： 示 差 熱 分 析），DSC （Differential Scanning Calorimetry：示差走査熱量測定）， 重量変化を測る TG（Thermo Gravimetry：熱重量測定）， 長 さ の 変 化 を 測 る TMA（Thermo-mechanical Analysis： 日立評論 4 試料観察オプションを装着した示差熱熱重量同時測定装置STA7200RVの 外観（上），ビューポート搭載加熱炉（下） 2015.01-02 105 計測・分析装置 質量分析計は，物質の質量情報（マススペクトル）が得 電子装置・システム 3
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