超深度形状計測顕微鏡システム （学内教育研究設備に関する調査票） 設備管理者 １．学内教育研究設備 の区分 ２．設備名 所 属・職 氏 名 知能機械工学専攻・教授 青 山 尚 之 ■ａ．基盤的設備（教育研究設備で３千万円未満のもの） □ｂ．基盤的大型設備（教育研究設備で３千万円以上のもの） 超深度形状計測顕微鏡システム ３．導入年 2002 年 6 月納入 ４．製造会社名・型番 キーエンス・VK-8850 ・コントローラー部 VK-8550 ・長距離ズームレンズ VH-Z35 ・マイクロスコープ CCD カメラコントロール VH-5000 ・データ処理用パソコン 971612 ・側微鏡部 VK-8510 ・低倍率ズームレンズ VH-Z05 ・マルチピューワースタンド VH-S10/S11 ５．設備の概要，使用目 導入目的：マイクロ部品、ファイバ－などの金属及び複合材料の 的及び具体的性能 超深度観察、３次元形状 解析、表面形状解析を行なう。 導入効果：現在、上記観察・計測に光学顕微鏡、及び電子顕微鏡 （ＳＥＭ）を用いるが、 微小光ファイバ－関連デバイスの 3 次元形状を高倍率で精密にしかもカラ－解析 することが可能 になる。 主な性能： カラーレーザ顕微鏡本体（顕微鏡部、コントローラ部） 顕微鏡部測定原理 レボルバ移動＋ピンホール共焦点光学原理である 対象物に対しての制約のないレボルバー移動方式を用いている。 焦点位置を検出する原理として「ピンホール式共焦点光学原理」 である。 (ピンホール方式では、受光素子の前にピンホールを設 け、正確な計測 に対して障害となる、焦点位置以外からの不要 なレーザ反射光をキャンセルすることができる。) 観察用カメラ 通常の光学観察顕微鏡としても使用するため、光学画像を得るた めのカラーＣＣＤカメラを搭載している。また、光学顕微鏡画像 （カラー光学像） と、レーザ顕微鏡画像（カラー超深度・白黒 超深度等）が同一モニタ画面で表示できる。 Ｚ軸方向最小測定分解能０．０１μｍで、Ｚ軸方向測定範囲 ７ｍｍ以上である。 カラー超深度観察画像レーザの反射光量画面と、それぞれの焦点 位置におけ るカラー情報を重ね合わせ、カラーの超深度画像が 得られる。 画像解析部：形状解析アプリケーションＶＫデータをＰＣ上でよ り詳細な解析・計測を行なうための専用ＰＣアプリケーションが 付属し、プロファイル計測、粗さ計測、面粗さ計測、表面積・体 積計測、各種平面計測の計測機能を有している。 さらにリアルカラー３Ｄ表示機能を有し、対象物表面の高さ情 報、レーザ反射光量情報、 実際の表面の色情報を元に、カラー ３Ｄ表示ができる ６．設備のキーワード ７．購入価格（概算額） ８．設置場所 SVBL308 室 ９．ユーザー（教員） 知能機械工学専攻 青山尚之、明愛国、金森哉吏、平田助教など教員および外国 人研究者) １０．使用頻度（概算） 年間稼働日数：130 日 年間使用人数：延べ 80 人
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