本 体 温 度 制 御 X Y ス テ ー ジ Z ス テ ー ジ 外 部 出 力 光 学 系 画 像

形 式
本
外
形
寸
CCM-iBIS
527mm×
(D)
744mm×
(H)
398mm ※突起部を含む
法 (W)
ディッシュ収 納 枚 数
60mm GPS ディッシュ 9枚
70mm×
(D)
88mm×
(H)
17mm 容積:約105ml
チャン バ ー 内 寸 法 (W)
加
体
湿
方
体
重
電
本
式
無加湿方式
源
AC100V,5A,50/60Hz
量
約50kg
温 度 制 御 方 式 デジタルP
ID方式
24℃∼30℃
度
温 度 制 御 範 囲
室温+7℃∼40℃
制
温
使 用 温 度 範 囲
温 度 変 動 幅 ±0.3℃
(室内28℃時)
御
温 度 分 布 ±0.3℃
(室内28℃時)
メ イ ン ヒ ーター ガラスヒーター
ガ ス 仕 様 X Y ステ ージ Z ス テ ー ジ 光 学 系 画
扉
ヒ ー タ ー シリコンゴムヒーター50W
ガ ス 供 給 方 式
ミックスガスを供給
モ ニ タ ー 表 示
CO2:0.0∼20.0%,O2:0.0∼21.0%
ガス濃 度 表 示 制 度
±0.2%
(マニュアルキャル実施時)
移
囲
±100mm
(X軸)±150mm
(Y軸)
能
12μm/step
度
30mm/sec以上
動
分
最
範
解
高
速
繰 返 位 置 決め精 度
±10μm以内
移
囲
±5mm
能
0.5μm/step
度
5mm/sec
動
分
最
範
解
高
速
繰 返 位 置 決め精 度
カ
対
±0.3μm以内
ラ 130万画素CMOSカメラ
メ
物 レ ン ズ
10X
像 外 部 出 力
照 明 用 光 源
赤色LED照明
画 像 保 存 形 式
JPEG形式
画 像 保 存 方 式
NAS
(ミラーリング機能付き 4TBx2)
ア ナ ロ グ 出 力
温度
(チャンバー×3、
外扉、
フロア温度)
、
CO2濃度、O2濃度
SMPコネクタ8ピン
(JST製)
接
アラーム発生時にCLOSE、
電源OFFでCLOSE
SMPコネクタ4ピン
(JST製)
点
出
力