LWIR-640 (8∼14µm)
高分解能 波面センサ 8µm∼14µm
SID4 DWIRは、Phasics社独自開発の技術
(4wave Lateral Shearing Interferometry)
を搭載した高分解能波面センサです。
動作波長レンジを8∼14µmとし、LWIR領
域で非常に広い動作範囲を持った非常にユ
ニークな波面センサとなっています。
160×120測定ポイントで、サーマルイ
メージ用オプティクスやCO₂レーザ向けのIR
レンズ等の評価にもご使用になれます。
CO₂レーザやOPOレーザの光学特性評価で
は、M² 強度プロファイルなどの評価が可能
です。
■ 仕様
■ 特長
動作波長レンジ
8∼14µm
● 高分解能（160×120）
アパーチャサイズ
16 × 12mm²
● 絶対測定
空間分解能
100µm
● LWIR領域
サンプリング
160 × 120
● 広NA測定可能
● 高速測定
● 耐振動性
精度
75nm RMS / 25nm RMS
(絶対/相対モード）
感度
25nm RMS
解析レート
>10fps
データ取得レート
40fps
サイズ
96×110×90mm
重量
850g
PHASICS S.A.

SID4 UV HR

SID4 HR