高精度ステッピングモータ XY軸ステージ PK series クロスローラとＶ溝によるガイドシステムを用いた高精度タイプです。 高精度・高剛性・低摩擦によりあらゆる高精度用途に対応できます。 ● stepping motor XY stage XY軸 ステッピングモータステージ ● 仕様 型 式 PK70C-20XY PK100C-25XY 移動方向 PK120C-50XY PK180C-100XY XY軸 移動量 20×20㎜ 25×25㎜ 50×50㎜ 100×100㎜ テーブルサイズ 70×70㎜ 100×100㎜ 160×124㎜ 250×180㎜ ガイド方式 送り方式 モータ クロスローラガイド 精密ボールねじ リード1㎜ （オリエンタルモータ：PMM33B2 相当品） 搭載センサ 自 重 最大速度 耐荷重 （多摩川精機：TS3667N11E1 相当品） リミットセンサ （CW/CCW） 1.2kg 2.4kg 主要材質／外観 分解能 精密ボールねじ リード2㎜ 0.35A/相 5相ステッピングモータ 7kg 20kg アルミ合金／黒アルマイト処理 0.2μｍ （1/20分割時）2μm （1/2分割時） 0.1μｍ （1/20分割時）1μm （1/2分割時） 10㎜/sec （最大荷重/ 1/2分割 /10000pps） 25㎜/sec （無積載/ 1/2分割 /25000pps） 9kg 20㎜/sec （1/2分割 /10000pps） 18kg 24kg 6μm 8μm 30kg 単軸精度 位置決め精度 5μm ±1μm 0.5μm バックラッシュ 1μm ロストモーション 真直度 （水平・垂直） 1μm 平行度A 5μm 価格 （税抜き） 10μm ±0.5μm 繰返し位置決め精度 ¥360,000 2μm 2μm ¥440,000 8μm 10μm ¥560,000 ¥760,000 全商品検査成績書付 COMS自動ステージは業界標準のHP5529レーザ測長器による試験結果を無償で製品に添付しています。 実際の製品の精度をご確認いただいた上で安心してご利用いただけます。 また、 ご検討時の製品比較には各機種の代表検査データのご提供も可能です。 98 http://www.coms-corp.co.jp coms_094-103.indd 98 10.2.27 3:47:51 PM axis guide drive controller XY軸 クロスローラ ガイド方式 精密 ボールねじ 全コントローラ 対応可能 stepping motor XY stage precision motorized stages 自動ステージ 自動ステージ ガイダンス ガイダンス 外形寸法図 ACサーボ モータステージ ・PK70C-20XY ・PK100C-25XY X軸 XY軸 168 82 70 42 42 4-M3深さ8 （□40） 4-M4深さ8 （□60） 4-M4深さ8 （□90） 4 120 100 44 42 Z軸 90 100 □28 60 82 5 5 4-M4深さ7 （□60） 4-M3深さ6.5 （□40） 4-M3深さ6.5 （□30） 206 44 シャフト モータステージ 44 ステッピング モータステージ M4深さ6 42 85 M4深さ3.5 25 168 17 X軸 49 □28 X軸 XY軸 □28 60 46 Z軸 回転スイベル 30 60 4-φ4.5 キリ （□60） 90 4-φ4.5 キリ （□90） コントローラ ドライバ/ケーブル CP-500 CP-310 CA-800 ・PK120C-50XY CD ・PK180C-100XY ドライバ 300 57 418 48 310 250 60 ケーブル 48 45 180 160 3次元形状 測定システム 105 M10深さ10 48 60 60 M5深さ8.5 4-M6深さ0.8 （□160） 4-M5深さ11 （□140） 4-M5深さ11 （□110） 4-M4深さ10 （□90） 4-M4深さ10 （□60） 4-M3深さ10 （□40） □42 4-M4深さ8 （□60） 4-M3深さ8 （□40） 4-M3深さ8 （□30） 110 □42 4-M5深さ8 （□110） 4-M4深さ8 （□90） 124 25 195 160 140 □42 160 4-φ4.5 キリ （□110） 精密卓上型 3軸ロボット カスタム 計測システム 70 90 45 110 MAP-3D RAP3 140 □42 LAF-3D 厚み 測定システム 4-φ7 キリ （□160） 液晶視野角 評価システム E-Measure E-Position お問い合わせ お問い合わせ coms_094-103.indd 99 0120-177-564 TEL 06-6415-2600 [email protected] 99 10.2.5 6:17:27 PM
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