サービス マニュアル ハイテックバキュームオーブン DP23／33 型 第2版 目 次 1 仕様 ··············································································································· 1 2 外観図············································································································ 3 3 結線図············································································································ 5 4 故障診断方法································································································· 8 5 部品交換方法······························································································· 13 6 交換部品表 ·································································································· 19 1 仕様 品 名 形 式 方 式 真空定温乾燥器 DP23 DP33 圧力槽直接加熱による真空乾燥 性 能 使 用 温 度 範 囲 40～240℃ 使 用 圧 力 範 囲 101～0.1kPa（760～1Torr） 温度調節精度 ※ 1 最高温度到達時間※ 1 ±1.5℃（@240℃） 約 60 分 約 90 分 外 装 内 装 ステンレス鋼 SUS304 材 ロックウール 断 熱 構 扉 成 ヒータ（マイカ） 冷間圧延鋼板 メラミン樹脂焼付塗装 片開き 0.68KW 1.05KW 真 空 計 ブルドン管式 0～－0.1MPa 観 測 窓 強化ガラス＋ポリカーボネート ポ ン プ 接 続 口 外径φ18（㎜） パ 外径φ18（㎜） ー ジ 口 コ ン ト ロ ーラ 温 度 制 御 方 式 マイクロコンピュータによる PID 制御 温 度 設 定 方 式 ▲ ▼キーによるデジタル設定方式（分解能：1℃） 温 度 表 示 方 式 緑色 LED によるデジタル表示 そ の 他 の 表 示 運転状態を示す温度パターン LED 表示 時 タ イ マ 間 1 分～99 時間 59 分、および 100 時間～999 時間 1 分または 1 時間 分 解 能 運 転 機 能 定値運転、オートスタート運転、オートストップ運転 付 加 機 能 カレンダタイマ機能（24 時間内の実時間タイマ）、積算時間計機 能（49999 時間までの積算計時）、時計機能（現在時刻表示） ヒータ回路制御 セ ン サ トライアック ゼロクロス方式 K 熱電対（ダブルセンサ） －1－ 15A 安全装置 漏 電 ブ レ ー カ 漏電･短絡･過電流保護 独立過昇防止回路 コ ン ト ロ ー ラ 内 蔵 機 能 デジタルスイッチ入力方式 内寸法 規 外寸法 内 容 ※2 量 格 付属 品 電 源 重 量 棚 板 取 扱 説 明 設定温度範囲：0～399℃ 自己診断機能（センサ異常検知､ヒータ断線検知､トライアック短絡検 知､メインリレー不良検知､POST 機能､自動温度過昇防止)､キーロック 機能 (W×D×H)mm (W×D×H)mm 定格感度電流 30mA 書 200×250×200 300×300×300 400×410×682 510×460×782 10ﾘｯﾄﾙ 27ﾘｯﾄﾙ 単相 AC100V 8A AC100V 12A 50/60Hz 共用、電源電圧の許容変動範囲：±10% 約 43kg 約 69kg ステンレスパンチングメタル×2 枚 本体用およびコントローラ専用 ※1 室温 20℃、無負荷時の値。最高温度到達時間は弊社基準による。 ※2 外寸法は突起部を含まず。 －2－ 各1部 2 外観／構造図 2.1 外 観 図 本体扉 扉取手 観察窓 真空計 独立過昇防止器 コントローラ操作パネル 電源プラグ 漏電ブレーカ パージバルブ（時計回りで「閉」） パージ口 ポンプバルブ（時計回りで「閉」） ポンプ接続口 －3－ 2.2 構 造 図 取手 ポリカーボネイト樹脂保護板 開 強化ガラス 扉 パッキン (シリコンゴム） ヒータ 断熱材 パージホース口 バキュームホース口 パージバルブ用ツマミ バキュームバルブ用ツマミ 真空計 －4－ －5－ 表示基板 制御基板 ソリッドステートリレー トランス 端子台 サーミスタ 漏電ブレーカ リレー PIO PLANAR SSR1 Tf P1 TH ELB X1 名 ヒータ 品 H 部 CT 号 電流検出素子 記 3 結線図 3.1 結 線 図 －6－ 3.2 ヒ ー タ 部 詳 細 図 DP23/33 のヒータ構成 －7－ 4 故障診断方法 4.1 温 度 調 節 器 の エ ラ ー 検 知 （ 表 示 部 表 示 原 因 (1) センサ不良 表示） チェック方法 処 置 温調器プレーナ基板の TC コネクタ センサ交換 を外し、1 ピン－5 ピン間の導通を チェックする。∞Ωならセンサ不良。 (2) セ ン サ 端 子 の 外 れ TC コネクタが確実に接続されてい 接続手直し または緩み るか確認する。 (3) 温調器の故障 プレーナ基板の TC コネクタを外 プレーナ基板交換 し､正常なセンサを接続してメイン 表示器の温度表示を確認する。 • 周囲温度を表示 • 周囲温度以外を表示 (1) トライアック不良 (2) 温調器の故障 運転状態において、トライアック入力 トライアック基板 信号を OFF にし、ヒータ制御用トラ 交換 イアックの T1－T2 間電圧を測定す る。 • 約 0V 異常 • 定格電圧 正常 ヒータランプ OFF の状態にして、 パワー基板、また トライアック入力信号を確認する。 はプレーナ基板交 • トライアック入力 ON 異常 換 • トライアック入力 OFF (1) ヒータ断線 正常 異常 正常 ヒータ線を端子台より取外し、ヒー ヒータ交換 タの端子間抵抗を測定する。抵抗値 ∞の場合は断線、0Ωの場合はショ ート。 正常値： • DP23 約 14.7Ω(±10%) • DP33 約 9.5Ω(±10%) (1) ヒ ー タ リ ー ド 線 の 電力制御部の端子台および、ヒータ 接続手直し 外れ ユニットのヒータ接続部を確認。 (2) トライアック不良 トライアック入力信号を ON にし トライアック基板 て、ヒータ制御用トライアックの T1 交換 －T2 間電圧を測定する。 • 約 0V • 定格電圧 －8－ 正常 異常 表 示 原 因 チェック方法 処 置 (1) 独 立 過 昇 防 止 器 の 独立過昇防止器の温度設定が温調器 再設定 の設定温度＋15℃以上に設定され 誤設定 ているか確認する。 (2) 独 立 過 昇 防 止 器 セ センサを端子から外し導通をチェッ センサ交換 クする。∞Ωならセンサ不良。 ンサ不良 時計異常 チェックはできません。 メインリレー溶着 ブレーカが「入」のとき、メインリ リレー交換 レー接点溶着の場合にエラー表示さ プレーナ基板交換 れる。 ブレーカを「切」にして、メインリ レー接点の導通をチェックする。 • 0Ω • ∞Ω プレーナ基板交換 異常 正常 RAM 異常 チェックはできません。 プレーナ基板交換 EEPROM 異常 チェックはできません。 プレーナ基板交換 4.2 ブ レ ー カ が 落 ち て し ま う 原 因 (1) 絶縁不良 チェック方法 4.3項の方法による。 処 置 配線手直し (1) 配線材および、電 電源コードアース端子と、電源端子間の絶縁抵抗 配 線 材 ・ 電 気 部 品 気部品の短絡 を測定する。0Ωであれば短絡と判断する。また、 の手直し、または交 正常であっても必ず線材被覆の皮ムケ等をチェッ 換 クする。ショートについては目視でチェックして いく。 (1) ヒータのリード線 ヒータのリード線が、ヒータおよび温調器の端子 配線手直し が外れてショート 台に確実に接続されているか確認する。 している (1) ブレーカの仕様違 15A 仕様であるか確認する。 い (1) ブレーカ故障 ブレーカ交換 （1）～（4）に該当しない場合、ブレーカの故障。 ブレーカ交換 －9－ 4.3 ブ レ ー カ を ON に し て も 電 源 が 入 ら な い 原 因 チェック方法 処 置 (1) 電源コードの外れ 確実に電源端子に接続されているか確認する。 確実に接続する (1) 電源不良 電源の電圧を測定。 定格電源供給 (1) ブレーカ不良 電源コードを 1 次電源側から取外し、ブレーカの ブレーカ交換 1 次側と 2 次側の導通を測定する。スイッチ ON のとで 0Ωであれば正常。 (1) 配線不良 実体配線図を参考に温調器端子の配線をチェック、 配線手直し かつ端子が確実に接続されているかも確認する。 (1) 電源コード不良 電源コード両端の導通をチェックする。それぞれの線 電源コード交換 について確認し、導通がない場合は電源コード不良。 (1) トランス不良 パワー基板の J3 の電圧（1－2 ピン間、3－4 ピン トランス交換 間、4－5 ピン間、6－7 ピン間）をチェックする。 電圧出力がない場合、トランス不良。 (1) パワー基板の故障 パワー基板の J3 ピンまで電圧がある場合、基板の パワー基板交換 故障。 4.4 温 度 表 示 が 不 安 定 原 因 (1) センサ不良 チェック方法 処 置 温調器プレーナボードから J3 コネクタを抜き、1 センサの交換 ピン－3 ピン間の導通を測定する。∞Ωであれば 不良。 (1) 周囲の温度変化が 本器の仕様環境温度範囲は 5℃～35℃であるが、 設置場所の変更 激しい 急激な温度変化（特に繰り返し）は好ましくない ので、使用状態をチェックする。 (1) 温調器の故障 (1)～(2)に該当しない場合、温調器の故障。 温調器交換 4.5 温 度 が 上 昇 し な い 原 因 チェック方法 処 置 (1) 配線不良 温調器端子の配線をチェック。端子が確実に接続 配線手直し されているかも確認する。 (1) トライアック不良 温調器前面のヒータランプが点灯している状態 トライアック交換 で、トライアック T1－T2 間の電圧を測定する。 0V であれば正常。 (1) ヒータ断線 温調器端子のヒータリード線を外し、端子間の抵 ヒータ交換 抗を測定する。 正常値： • DP23 • DP33 約 14.7Ω(±10%) 約 9.5Ω(±10%) －10－ (4) 温調器の故障 (1)～(3)に該当しない場合、温調器の故障。 －11－ 温調器交換 4.6 器 内 が 減 圧 し な い 原 因 (1) 扉パッキンの不良 チェック方法 処 置 1. 硬化、破れ、接合不良を目視により確 扉パッキンの交換 認する。 2. バキュームホース口側にピラニー真 空計等を取付け真空引きし、平衡状態 になったところでポンプを停止、パッ キンの一部分にアルコールを塗布し て、真空度変動を確認していく。 (1) 配 管 系 継手、バルブ の不良 バキュームホース口側にピラニー真空計 等 を 取 付 け 、 パ ー ジ ホ ース口をシール し、バルブを開いて真空引き、平衡状態 になったところでポンプを停止、配管・ 継手の一部分にアルコールを塗布して、 真空度変動を確認しながらリーク個所を 突き止める。 リーク個所の配 管・継手部交換又 は継手シール部修 正 バ ル ブ の ボ ー ル 配管系及びパッキンにリークのないこと バルブの交換 ま た は ボ ー ル シ を確認後、パージホース口をシールして ール材 バルブを開き、真空引きの後、両バルブ を閉じ、両ホース口を開放しても真空度 に変化のないことを確認する。 (1) 真空ポンプの接続不良 バキュームバルブを閉じ、真空ポンプを 運転、平衡状態になったところでポンプ を停止し、アルコールを塗布して、ピラ ニー真空計等の指示値変動を確認しなが ら、リーク個所を突き止める。 (1) 真空ポンプの不良 直接ピラニー真空計等を接続し、到達真 修理もしくは交換 空度を確認する。異常音がしていないか 確認する。 (1) 真空ポンプのオイル劣化 サイトグラスから内部のオイルの状態を オイルの交換（真空 確認する。 ポンプ取扱説明書 参照） (1) 真空ポンプのオイル減少 オイルのレベルが所定値内にある事を確 オ イ ル の 追 加 充 認する。 填。充填してもすぐ にオイルレベルが 低下するときは分 解修理。 －12－ リークのないよう に接続。また、真空 ホース等に不良が ある場合は交換。 5 部品交換方法 5.1 外 観 実 体 図 メンブレンスイッチ 写真 1：前面 図 写真 2：背面 図 電源コード －13－ 5.2 温 調 器 関 係 危険 作業を開始する前に必ず電源を切ってください！ 5.2.1 プレーナ基板・PIO 基板等 1) 操作パネルのネジ（M4）を外して化粧板、制御部枠を外し、操作パネルを引 き出してください。プレーナ基板、デジスイッチ等が取り付いています。 （写真 3） ブレーカ プレーナ基板 写真 3 デジスイッチ (独立過昇防止器) 2) 制御部枠のネジを外してください。PIO 基板が取り付いています。（写真 4） タフカード PIO 基板 写真 4 －14－ 5.2.2 トランス・リレー・パワー基板等 1) 台脚裏板を外します。（写真 5） 写真 5 2) 電力制御部取付板にトランス、リレー、パワー基板等が取り付いています。 （写真 6／写真 7） パワー基板 SSR 基板 リレー 電流センサ トランス 端子台 写真 6 独立過昇防止器 写真 7 －15－ 5.3 セ ン サ 危険 1) 作業を開始する前に必ず電源を切ってください！ 外装裏板を外してください。（写真 8） 写真 8 2) 裏面断熱材を外してください。（写真 9） 温度センサ 写真 9 3) センサ取付ネジを外します。 4) 操作パネルを外し、センサリード線を外してからセンサを交換してください。 －16－ 5.4 真 空 計 危険 作業を開始する前に必ず電源を切ってください！ 1) 化粧板、制御部枠を外してください。 2) 真空計パネルを外してください。 3) 真空計取付板を外してください。（写真 10） 真空計 写真 10 4) 真空計後部のナットを外し、真空計を交換してください。 －17－ 5.5 パ ッ キ ン 1) 扉を開け、パッキンを引き剥がしてください。（写真 11） パッキン 写真 11 2) 新しいパッキンをシリコンシーラント等で接着してください。 5.6 そ の 他 の 部 品 に つ い て ヒータ、バルブ類の交換が必要となった場合は、製品本体を弊社工場まで送付して ください。 －18－ 6 交換部品表 6.1 DP23 部 品 名 コード NO. 仕 様 写真番号 掲載ページ 上面ヒータ DP22S-40131 AC100V 80W 18 側面・底面 ヒータ DP22S-40141 AC100V 200W 18 電源コード 2130010005 T2-3b 2 13 PIO 基板 1240000024 ハイテックⅣCR 型 4 14 プレーナ基板 1240000033 ハイテックⅣCR 型 3 14 SSR 基板 LT00028423 SSR-01 6 15 ブレーカ 2060050010 BJS-153 3 14 トランス 2180000022 AC100V 6 15 端子台 2070230001 M011-OFX4P 6 15 温度センサ 1160010026 K 熱電対 9 16 リレー 2050000056 G7L-1A-TUB 6 15 メンブレン スイッチ 1013200003 タイプ 3H 1 13 電流センサ 2170010002 CTL-6-S-400 6 15 タフカード 1130000001 FC-30P125KL-200UL10S 5/5 4 14 パワー基板 1240000025 ハイテックⅣCR 用 6 15 真空計 5070010004 GK25-A40 10 17 パッキン DP21S-40051 SH745U 11 18 独立過昇 防止器 1270010007 QKB-K1 7 15 ハイテックⅣCR 用 W センサ －19－ 6.2 DP33 部 品 名 コード NO. 仕 様 写真番号 掲載ページ 上面ヒータ DP32S-40161 AC100V 150W 18 側面・底面 ヒータ DP32S-40181 AC100V 300W 18 電源コード 2130010005 T2-3b 2 13 PIO 基板 1240000024 ハイテックⅣCR 型 4 14 プレーナ基板 1240000033 ハイテックⅣCR 型 3 14 SSR 基板 LT00028423 SSR-01 6 15 ブレーカ 2060050010 BJS-153 3 14 トランス 2180000022 AC100V 6 15 端子台 2-07-023-0001 M011-OFX4P 6 15 温度センサ 1160010026 K 熱電対 9 16 リレー 2050000056 G7L-1A-TUB 6 15 メンブレン スイッチ 1013200003 タイプ 3H 1 13 電流センサ 2170010002 CTL-6-S-400 6 15 タフカード 1130000001 FC-30P125KL-200UL10S 5/5 4 14 パワー基板 1240000025 ハイテックⅣCR 用 6 15 真空計 5070010004 GK25-A40 10 17 パッキン DP31S-30011 SH745U 11 18 独立過昇 防止器 1270010007 QKB-K1 7 15 ハイテックⅣCR 用 W センサ －20－
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