イニシ アム アルバ ック テクノ 日本リ ライア ンス アルバ ック・ ファイ アル バ ック・ クライ オ 昭和真 空 アルバッ ク 機工 アルバッ ク 理工 タイゴ ールド アルバ ック マテリ アル アルバ ック 制御ソ リューシ ョン アルバ ック 電子機 器 アルバ ック 産業機 器 アルバ ック 規格品 真空ポンプ（油拡散ポンプ） 株式会社 アルバック 規格品事業部 PBL シリーズ 油拡散エゼクタポンプ ULVAC の PBL 型油拡散エゼクタポンプは、長年の研 究・豊富な製作経験を活かして、設計・製作されています。 数多くの高真空生産設備に使用されて、その実用性能を 高く評価されています。 特 長 -1 PBL-04 外形寸法図 （単位：mm ） A A ●10 Pa 台で排気速度が最大です。 ● PBL-02 〜 PBL-04 型は本体（シリンダ）にステンレス 鋼を使用しています。したがってアウトガスが少なく、 高真空が得やすく、耐食性にすぐれています。 ●横型エゼクタポンプに比べ作動範囲は、約一桁低圧側 にずれますが、同じ口径での排気速度ははるかに大き く、また排気速度特性もすぐれています。油回転真空 ポンプ、メカニカルブースタポンプと油拡散ポンプの 中間圧力で使用するのに効率がよいうえ、据付面積も 小さく、最適のポンプです。 ● PBL-06 〜 PBL-20 型の大型ポンプはパイプヒータを 直接作動油中に入れているので、特に熱効率がすぐれ ています。 動作原理および構造説明図 BB 動作原理および構造説明図 高真空側 冷却水入口 冷却水入口 冷却水入口 冷却水入口 A A シリンダ BB BB A A 冷却水出口 冷却水出口 HH 冷却水入口 冷却水入口 第１ジェット 第２ジェット 第３ジェット HH HH 冷却水出口 冷却水出口 冷却水出口 冷却水出口 チムニ PLB-02 PBL-02 PLB-02 PBL-02 PLB-04 PBL-04 PLB-04 PBL-04 HH BB BB HH BB 冷却水出口 冷却水出口 内部冷却水出入口 内部冷却水出入口 冷却水出口 冷却水出口 PLB-20 PLB-20 PBL-20 PBL-14 PBL-20 PBL-02 PBL-04 PBL-06 PBL-10 PBL-14 PBL-20 H 463 526 975 1325 1687 2344 A 100 150 200 300 340 510 B 70 112 154 350 550 444 外形寸法 62 型式 ボイラ パイプヒータ PLB-14 PLB-14 PBL-14 PBL-10 空気分子 A A 冷却水出口 冷却水出口 PLB-10 PLB-10 PBL-10 油蒸気 A A HH 冷却水入口 冷却水入口 A A 冷却水パイプ PLB-06 PBL-06 PLB-06 PBL-06 冷却水入口 冷却水入口 冷却水入口 冷却水入口 補助真空側 VACUUM COMPONENTS 保温材 油拡散エゼクタポンプは本体、加熱部およびジェット 部より構成され、ボイラ内で加熱された作動油は、蒸気 となって各段のジェットより高速度で噴射します。高真 空側の気体は噴射する蒸気中に巻込まれ（拡散）上段の ジェット部より下段のジェット部に運ばれ圧縮されなが ら排気口より補助ポンプ側に排気されます。噴射した蒸 気は本体の内壁で冷却、凝縮されてボイラに戻ります。 この作用を繰返しながら排気が行われます。 株式会社 アルバック 規格品事業部 01 02 03 仕 様 仕様の範囲 ●1回分の油（油の種類は ULVOIL B-6 ） 付属品 ●吸気、排気口ガスケット（材料：NBR ）各1 ●水冷バッフル、封止フランジ、水冷用ホース口、ボルト、 ナットは付属していません。 （オプション） ●輸送、保管時の防塵のため蓋をつけております。 ｛ 諸元 排気速度 型式 PBL-02 PBL-04 PBL-06 PBL-10 PBL-14 PBL-20 L/s 80 200 500 1800 4000 7000 -2 -2 -2 -2 Pa 臨界背圧 Pa 40 40 40 40 40 40 所要電力 kW 200V/ 単相0.44 200V/ 単相1.8 200V/3相4.0 200V/3相8.0 200V/3相11.0 200V/3相18.0 カートリッジヒータ 熱盤 0.1 0.6 7.5 18 36 90 ULVOIL B-6 ULVOIL B-6 ULVOIL B-6 ULVOIL B-6 ULVOIL B-6 ULVOIL B-6 1.5 5 8 12 18 25 4 6 10 14 20 2 3 4 8 313 495 YM-VS1215 YM-VS1224 PMB-040C ＋ PSK-070 所要油量 L 使用油 L/min 吸気口径 B 排気口径 B 質量 2 3 ／ 4 B ホース口 ㎏ 標準補助ポンプ ※2 1 1 2.7×10 2.7×10 2.7×10 2.7×10 11 パイプヒータ 2kW×2本 パイプヒータ 4kW×2本 パイプヒータ 5.5kW×2本 パイプヒータ 6kW×3本 ／2 6 17 86 198 VD-201、VD301 PKS-016 PKS-030 PVD-360 VS1501 VS2401 PKS-070 YM-VD609 YM-VS1224 13 20 （PMB-024C ＋ PSK-070） ※ １：到達圧力は電離真空計により、冷却水温度20℃の場合です。 ※ ２：補助ポンプの選択は、ここでは拡散エゼクタポンプの最大 Q 値に対応して行われていますが、一般には粗引の時間を考慮して、ここに示したものより大きめのメ カニカルブースタポンプおよび油回転真空ポンプを用いるのが普通です。 排気速度曲線 10000 22 23 30 PBL-14 31 1000 PBL-10 排気速度 (L/S) 21 24 PBLシリーズ排気速度曲線 PBL-20 32 PBL-06 40 100 PBL-04 50 PBL-02 10 52 ULVOIL B-6 水冷バッフル付 1 1.0E-02 12 1.0E-01 60 70 1.0E+00 圧力 (Pa) 80 90 99 63 真空ポンプ 所要水量 2.7×10 05 10 -2 到達圧力 ヒータの種類 2.7×10 -2 04
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