小型イオンマイクロビーム装置
機械・装置
No. 4-14
従来技術では30m程度の長さを必要とするイオンマイクロビーム装置群を2×2×3m3 程度の
範囲に設置できる小型イオンマイクロビーム装置を開発する技術です。
技術の特徴
約30 m
静電加速器
従来のイオンマイクロ
ビーム技術
5m
集束レンズ系 例）高崎量子応用研究所
軽イオンマイクロビーム装置
電源
イオン源
小型イオンマイクロ
ビーム装置
二段加速
レンズ系
（プロトタイプ、最大300keV）
90cm
50cm
第3加速レンズ
(300kV)
像点
微小径を測る技術
2段加速レンズ系
小型イオンマイクロビーム
装置の概念図
第3加速レンズ
(～1MV)
~3m
~2m
従来技術との比較
１ プロトタイプの装置を開発
２ 小型高安定高圧電源の開発
研究のステージ
実用化段階
想定応用分野
利用分野
微細加工分野、分析機器分野など
知財関連情報
特許第4665117号
特開2014-053202（共願：ビーム精工」）
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