2014 年 11 1 月 28 日 SE EMICON Jaapan 2014 出展のお知 出 知らせ 電機産業シス ステム株式会 会社(以下、 TMEIC)(社長 長：町田 精 孝)は、半導 導体製造に関 関連する専門 門展 東芝三菱電 「S SEMICON Jaapan 2014」に に出展いたしま ます。 同展示会は は出展企業数 数 700 社以上、来場者数は は約 65,000 人以上が見込 人 込まれており 、「品質改善」や「コスト削 削減」 をテーマに、理 を 理想的な製造 造ラインを実現 現する TMEIC C 独自の知見 見・技術を応用 用したソリュー ーションをご紹 紹介します。 会場にお越しの 会 の際には、ぜ ぜひ弊社展示 示ブースにもご ご来臨賜りますようお願い い申し上げます す。 1．展示会名 1 2．場所 2 3．開催日時 3 4．入場費用 4 5．弊社ブース 5 ス 6．弊社展示製 6 製品 SEM MICON Japan n 2014 （Weeb Site）http:/ //www.semicconjapan.org/ /ja/ 東京 京ビックサイト ト 東展示棟・・会議棟 20144 年 12 月 3 日（水）～5 日 日（金）の 3 日間 日 10：00-17：00 展示 示会は全来場 場者登録入場 場制です（無料 料）。 ※セ セミナー・レセプションの料 料金は別途登 登録・費用がか かかる場合が があります。 ホー ール 5 ブース ス番号 5427 (1) 窒素無添加方式超高濃度 度オゾンガス ス発生装置 半導体用ウェ ェハの大口径 径化や、ますます多様化す する LSI、メモ モリの製造プロセスも各用 用途 に 対応でき きる超高濃度 度タイプ(OP-H H シリーズ)、 、必要な機能 能をコンパクト トにパッケージ ジし たオールイン ンワンタイプ(O OG-P/H-R シリーズ)など シ ど、幅広くライ インナップして ています。 (2) Mist-CVD 非真空プロセ セス下で、環 環境負荷が少 少なく下地基板 板へのプラズマ マダメージが がない太陽電池 の 透明導電 電膜やパッシ シベーション膜 膜を実現しました。設備の のコンパクト化 化、発電効率の の 向上、太陽電 電池製造コス スト低減などお お客様のニー ーズにお応え えします。またMist-CVDは は、 今後ますます す応用範囲が が広がる有機 機EL、高機能 能フィルム、ナ ナノテク素材な などにおいても も 従来のウェッ ットコーティン ング技術では適用厳しいナ ナノクラスの薄 薄膜化実現に にも貢献いたし ます。 ダ (3) 超音波ボンダ 鉛フリーで耐 耐熱性の高い いパワーモジ ジュールを超音 音波ボンダの の直接接合技 技術が実現し しま す。熱ダメー ージの無い常温 温接合プロセ セスは薄膜太 太陽電池や有 有機 EL 照明などのガラス ス基 板に成膜され れた電極膜に に対しても直接 接接合を実現 現し、製造コス ストを大幅に削 削減します。 ンジニアリング グ (4) トータルエン 開発段階か からお客様の製 製品試作と品 品質評価をサ サポートし、ユ ユーザーとして ての経験を活 活か して最適な 量産ラインを をエンジニア アリングします す。メーカー ーとしての技術 術力を結集し し、 Mist-CVD や超音波ボン や ンダなどの製 製造装置と検 検査システムの の最適な組み み合わせをご ご提 供します。 報道関係 係からのお問い い合わせ先 東芝三菱電機 東 機産業システ テム株式会社 社 事業開発・ 広報部 〒104-0031 〒 東 東京都中央区京 京橋3-1-1 東京 京スクエアガー ーデン Tel: 03-3277-4645 Fax: 03-327 7-4578 ＴＭＥＩＣ（ティー ーマイク）は、社会 会を支える基盤である「ものづくり」 の現場ニーズに にお応えするために、社会の発展と と美しい地球環境 境とを調和させる る産 業システムイン ンテグレータとして て、「産業」「社会」 」「環境」の未来を を常に見据えてい います。工場・プラ ラントにおいて原動 動力となっている る回転機、電力を を変 換・制御するパ パワーエレクトロニ ニクス、そしてプラ ラント全体を計画 し実現するエンジ ジニアリング、これ れらの技術をコア アに、ものづくりと環境マネジメント トに 最先端の技術で で貢献していきま ます。
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