来歴
記号 年月日 訂正記事 訂正者 審査 承認
光学研磨
6.3
（
）C0.2
Φ80mm領域内
A面面精度　1/2λ以下
（波長633nm）
6
1
. 0
0
+
6
Φ
R=1000
0±100
2
Φ
0mm
磨
研
学
光
8
3
0
8
Φ 50 51
.0 .0
域- 0 8
領 9 9
証 Φ Φ
保
度
精
面
磨
研
学
光
15
20
A
1
員数 品番
透明球面板
合成石英 t22×105×105
材質
寸法
部品名称
備考
図番
設計 小森谷 2011.08.07 三角法 図面名称
小森谷機械設計
尺度
審査
透明球面板
BSK0009
公開図面
1/1
承認