シグマファインステージ（高剛性タイプ）! SFS-H 40×40mm テーブル： 40 16 16 8 40 16 16 6-M3深4 DSケーブル 20 FINEケーブル干渉計 SFS-H40X(CL) ホルダーステージ側取付穴 …φ3.5通し φ6ザグリ深13 定盤側固定用タップ穴 …M3 2-φ2 +0.01 0 32 32 , M3×10mm…2本ベース共通仕様光源手動ステージ X軸 XY 軸 Z軸 XZ軸 XYZ軸回転ゴニオ・傾斜多軸 M6 直動ガイドアクチュエータ微小変位センサピエゾアクチュエータデジタルセンサ対応ケーブル FINE-CA-3: ピエゾ用 DS1-CA-3: デジタルセンサ用 40 16 対応コントローラとケーブル〔1軸〕〔3軸〕 Controller 〔1軸〕〔3軸〕 Cable マイクロメータ・微調ネジブラケット・スペーサー 40 16 2-φ2＋0.01 0 FINEケーブル Cable 25 DSケーブル Stage SFS-H60（CL） DS1-CA 自動ステージピエゾステッピングスケール付 ACサーボソフトウェアケーブルオプションアクチュエータ 16 6-M3深4 SFS-H40（CL） FINE-CA FINE-01 FINE-503 8 Stage Controller FINE-01 FINE-503 16 SFS-H40Z(CL) ステージ側取付穴 …φ3.5通し φ6ザグリ深19 定盤側固定用タップ穴 …M3 32 32 , M3×10mm…2本注意 ●記載スペックは温度20±1℃の環境下で測定した値です。使用時には、取扱説明書および設置要領書をよく読んでお使いください。 ●値はステージ単体の値であり、複合体に対しての値ではありません。 ●値はスペック荷重内での値ですが、ステージ中心に荷重がかかる場合であり、偏荷重に対しての値ではありません。 ●リニアリティ、真直度、繰返し位置決め精度の仕様値は上面プレート近傍の値です。 ●ストロークはオープン時の値です。 ●リニアリティに関しては、弊社測定方法によります。 ●直動の繰り返しは、サンプリング時間100μsecの時のクローズド制御時の値です。 ●分解能は弊社SFS用コントローラを使用しての値です。 ●記載の値は、制御器にSFSコントローラ：FINEシリーズを使用した際の数値となります。 ●センサ分解能は、サンプリング時間350μS時の値となります。 40×40mm テーブル：品番価格納期の目安移動量（微動）質量理論分解能（オープン時）分解能（クローズ時）リニアリティ真直度（水平方向）繰返し位置決め精度耐荷重アクセサリ・メンテツール〔￥〕〔μm〕〔kg〕〔nm〕〔nm〕〔％〕〔μm〕〔μm〕〔N〕 SFS-H40X(CL) 250,000 問 NEW SFS-H40Z(CL) 90±15% 0.28 1 10 0.3以下 1 0.1以下 10(1kgf) 100±15% 0.28 1 10 0.3以下 1 0.1以下 7(0.7kgf) 250,000 問納期 A…受注後1週間、問…要問合せ C398 www.sigma-koki.com *[email protected] （高剛性タイプ） ! シグマファインステージ SFS-H 60×60mm テーブル： 60 50 6 1 16 16 50 16 60 60 50 6 1 16 4-M4深5 50 16 16 60 4-M4深5 8-M3深5 8-M3深5 +0.01 0 2-φ2 23 2-φ2 71 71 23 .5 78 干渉計 SFS-H60X(CL) 50 SFS-H60XY(CL) ステージ側取付穴 …φ4.5通し φ8ザグリ深17 定盤側固定用タップ穴 …M4 50 +0.01 0 50 ステージ側取付穴 …φ4.5通し φ8ザグリ深17 定盤側固定用タップ穴 …M4 50 , M4×10mm…4 本 , M4×10mm…4 本ホルダーベース光源手動ステージ 25 25 16 16 16 25 16 □ 60 25 25 25 16 16 16 25 60 X軸 XY 軸 Z軸 XZ軸 XYZ軸回転ゴニオ・傾斜多軸 M6 直動ガイド 25 8-M3深5 8-M3深5 4-M4深5 4-M4深5 28 80 16 □ 40 71 60 80 50 SFS-H60Z(CL) ステージ側取付穴 …φ4.5通し φ8ザグリ深22.5 定盤側固定用タップ穴 …M4 50 50 SFS-H60XYZ(CL) 50 , M4×10mm…4 本ステージ側取付穴 …φ4.5通し φ8ザグリ深10 定盤側固定用タップ穴 …M4 , M4×10mm…4 本自動ステージピエゾステッピングスケール付 ACサーボソフトウェアケーブルオプションアクチュエータマイクロメータ・微調ネジ 60×60mm テーブル： SFS-H60X(CL) 品番価格 250,000 〔￥〕納期の目安問 100±15% 移動量（微動）〔μm〕 0.4 質量〔kg〕 1 理論分解能（オープン時）〔nm〕 10 分解能（クローズ時）〔nm〕 0.3以下リニアリティ〔％〕 1 真直度（水平方向）〔μm〕 0.1以下繰返し位置決め精度〔μm〕 20(2kgf) 耐荷重〔N〕 SFS-H60XY(CL) NEW SFS-H60Z(CL) NEW SFS-H60XYZ(CL) 490,000 270,000 560,000 問問問 100±15% 0.43 1 10 0.3以下 1 0.1以下 15(1.5kgf) 100±15% 0.33 1 10 0.3以下 1 0.1以下 10(1kgf) 100±15% 0.63 1 10 0.5以下 1 0.15以下 10(1kgf) ブラケット・スペーサーアクセサリ・メンテツール納期 A…受注後1週間、問…要問合せ , 付属ビス C399 シグマファインステージ（高剛性タイプ）! SFS-H 高速度収斂データホルダー 0 ⇔ 75 μ m 繰返し周波数（16Hz）クローズド制御時 by SFS-H60X at 150g load ベースリニアリティ手動ステージピエゾステッピングスケール付 ACサーボソフトウェアケーブルオプションアクチュエータマイクロメータ・微調ネジブラケット・スペーサー 1回目行き 1回目戻り 2回目行き 2回目戻り 3回目行き 3回目戻り 4回目行き 4回目戻り 80 移動量〔μm〕 70 60 5回目行き 5回目戻り 6回目行き 6回目戻り 7回目行き 7回目戻り繰返し位置決め（行き） 0.25 50 40 繰返し位置決め（戻り） 0.20 0.15 0.10 30 20 0.05 10 0 0 20 40 60 指令値〔μm〕 0 ⇔ 80 μ m リニアリティ 0.3％以内クローズド制御時 by SFS-H60X at 150g load ご案内 ●SFSコントローラ FINE-01/503 C404 ●FINEケーブル　FINE-CA-3 ●DSケーブル　DS1-CA-3 C405 アクセサリ・メンテツール C400 繰返し位置決め精度 0.30 100 90 自動ステージ繰返し位置決め精度リニアリティ 0.3%以内光源 X軸 XY 軸 Z軸 XZ軸 XYZ軸回転ゴニオ・傾斜多軸 M6 直動ガイド 0 ⇒ 1 μ m ステップ収斂データ（15msec）クローズド制御時 by SFS-H60X at 150g load 測定値〔μm〕干渉計 www.sigma-koki.com *[email protected] 80 100 0.00 0 10 20 30 40 50 60 指令位置〔μm〕 0 ⇔ 80 μ m 繰返し位置決め精度 50nm 以下 by SFS-H60X at 150g load 70 80 90 100