ウェハーガードII SF 3XPミニ/ミニXL インラインガスフィルター - Entegris

ウェハーガード II SF 3XP ミニ/ミニ XL
インラインガスフィルター
超高純度ガス用高性能オール 316L ステンレススチール製ガスフィルター
ウェハーガード II SF 3XP ミニ/ミニ XL は、超高純度ガス
供給システムおよび半導体製造装置用に開発された高流
量、高除粒子性能のオール 316L ステンレススチール製イン
ラインガスフィルターです。
高流量、高除粒子性能
最適化されたフィルターエレメントは、既存モデル＊の
3 倍の流量で粒子除去率もアップ（当社比）。
＊既存モデル：ウェハーガード II SF ミニ /ミニ XL
幅広い条件で使用可能
オールメタルで構成されているため、流量変化や脈動の
かかるライン、さらに高差圧下でも使用でき、高温ベー
キングも可能。
コンパクト設計
高流量ながら、既存モデル＊と同一の面間寸法を実現。
フットプリントの削減が可能。
ISO 登録認定工場による製品
＜お薦めアプリケーション＞
フックアップ、シリンダーキャビネットなどの
ガス供給ライン
■ 拡散装置、アニーリング装置、エピ装置などの
超高純度ガス用装置など
■
仕様
EC1005
粒子補足率： 0.003 µm 以上の粒子を 99.99999% 以上
（ミニ: 100 L/min、ミニ XL: 200 L/min 時）
材質：フィルター 316L ステンレススチール
ハウジング 316L ステンレススチール
内面粗度： Ry < 0.7 µm
粒子清浄度： 0.01 µm 以上の粒子が 0.03 個 /L 以下
最高使用圧力： 0.98 MPa* * 日本国内における仕様
最大許容正差圧： 0.98 MPa
最高使用温度： 460 ℃
He リークレート： 9 × 10-10 Pa・m3/sec. 以下
Wafergard® II SF 3XP Mini / Mini XL Inline Gas Filters
製品型番のご案内（梱包数： 1 本/箱）
製品名
接続
ウェハーガード II SF 3XP ミニ
ウェハーガード II SF 3XP ミニ XL
寸法［mm］
型番
L1
L2
6.35mm ガスケットシールオス（1/4" VCR 互換）
WG2S 3P1 RR2
−
−
12.7mm ガスケットシールオス（1/2" VCR 互換）
WG2S 3P1 RR4
94
19
6.35mm ガスケットシールオス（1/4" VCR 互換）
WG2S 3P2 RR2
126.9
15.7
12.7mm ガスケットシールオス（1/2" VCR 互換）
WG2S 3P2 RR4
133.5
19
寸法図（単位： mm）
WG2S 3P1 RR2
φ38.5
INLET
OUTLET
15.7
8 8.5
13
φ38.5
WG2S 3P1 RR4、WG2S 3P2 RR2、WG2S 3P2 RR4
15.7
35
84
L2
L2
8
13
35
L1
OUTLET
INLET
流量
WG2S 3P1 RR2
[kP a ]
100
Inlet 0.1 MPa
Inlet 0.1 MPa
Inlet 0.3 MPa
60
差
圧
40
60
40
Inlet 0.5 MPa
Inlet 0.5 MPa
20
20
0
0
50
100
150
0
200
[L /m in ]
0
50
流量（Air at 20˚C, 101kPa）
100
150
200
[L /m in ]
流量（Air at 20˚C, 101kPa）
WG2S 3P2 RR2
[kPa]
100
WG2S 3P2 RR4
[kPa]
100
Inlet 0.1 MPa
Inlet 0.3 MPa
Inlet 0.1 MPa
80
80
差
圧
Inlet 0.3 MPa
80
80
差
圧
WG2S 3P1 RR4
[kP a ]
100
60
Inlet 0.3 MPa
40
差
圧
60
40
Inlet 0.5 MPa
20
Inlet 0.5 MPa
20
0
0
0
50
100
150
200
[L /m in ]
流量（Air at 20˚C, 101kPa）
0
100
200
300
400
500
[L /m in ]
流量（Air at 20˚C, 101kPa）
● ご不明な点は弊社までお問い合わせ下さい。 ● 製品の仕様は改良の為、予告なく変更する場合があります。
登録商標 VCR® ： Swagelok Company
Wafergard®、Entegris® ： Entegris Inc.
日本インテグリス株式会社
東京／ TEL. (03) 5442-9718 FAX. (03) 5442-9738 〒 108-0073 東京都港区三田 1-4-28 三田国際ビル
大阪／ TEL. (06) 6390-0594 FAX. (06) 6390-3110 〒 532-0011 大阪市淀川区西中島 6-1-1 新大阪プライムタワー
九州／ TEL. (092) 471-8133 FAX. (092) 471-8134 〒 812-0013 福岡市博多区博多駅東 1-13-9 博多駅東 113 ビル
米沢工場（ISO9001/ISO14001 登録認定工場）／第一工場：〒 992-1128 山形県米沢市八幡原 2-4736-3 第二工場：〒 992-1128 山形県米沢市八幡原 3-3145-5
URL/http://www.entegris.com/nihon
② 4/25/2011 PDF.I.
＜ EC1005 ＞初版 6/30/2010 PDF.I.

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