2013.12.10 4大学ﾅﾉ･ﾏｲｸﾛﾌｧﾌﾞﾘｹｰｼｮﾝｺﾝｿｰｼｱﾑ保有設備の利用について技術支援 4大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアムでは、ナノ・マイクロ産学官共同施設NANOBIC内に最先端の微細加工装置および評価装置を有し、大学や企業からの技術相談～試作・評価まで一貫した支援を提供します。利用手順技術相談微細加工・評価に関することをなんでもご相談ください。技術スタッフが実現方法を一緒に考えます。（無償）利用申請利用申請書を提出していただくとIDが発行されます。安全講習ご利用される方全員に安全講習の受講をお願いしております。装置予約装置を予約します。HPからご利用される方が予約することも可能です。装置利用初めてご利用になる装置については、技術スタッフが丁寧に説明いたします。その後、ご利用される方が自由に操作できます。受託加工、技術スタッフによる作業はいたしておりません。加工例評価例 ECR成膜・エッチング ■白金Ptの成膜例ナノインプリント ■ナノインプリントの基本パターン雰囲気制御型熱電子放出型走査電子顕微鏡 ■はんだの溶融過程観察 ■NaClの加湿観察 ■二酸化シリコン(SiO2)のエッチング例フィルムナノインプリント (熱可塑性樹脂の表面加工) ■チーズのかび ■藻類レジストナノインプリント (熱可塑性樹脂orUV硬化樹脂) ■成型事例(熱式) ■φ230nmホールパターンレーザ顕微鏡超高精度電子ビーム描画装置パターン自動幅測定例 ■超細線描画例溝幅8nm ナノパターン(φ230nmピラー) 特有の干渉縞 ■3次元の細胞培養の様子白黒超深度画像(×2000) ■メタル配線パターンマイクロレンズ自動幅測定例ハニカムパターン培養中の細胞お問い合わせ窓口：公益財団法人神奈川科学技術アカデミー唐澤 (TEL) 080-6560-3061 e-mail : [email protected] カラー超深度画像(×2000) 自動車用塗料粉末利用料金（装置一部抜粋）ご利用にあたり、会員登録していただくとご利用料金が半額になります（年会費が発生いたします）。詳しくは4大ﾅﾉ･ﾏｲｸﾛﾌｧﾌﾞﾘｹｰｼｮﾝｺﾝｿｰｼｱﾑHP装置一覧http://www.nano-micro.sakura.ne.jp/home/?page_id=49をご覧ください。利用料金会員 40万円※1 年会費装置名型式・メーカ /1時間 /1時間 ECRｲｵﾝﾋﾞｰﾑｽﾊﾟｯﾀ成膜装置 EIS-230W （株）ｴﾘｵﾆｸｽ ¥9,600 ¥4,800 超高精度電子ﾋﾞｰﾑ描画装置 ELS-7800K （株）ｴﾘｵﾆｸｽ ¥15,200 ¥7,600 ﾅﾉｲﾝﾌﾟﾘﾝﾄ装置 X-300 SCIVAX（株） ¥6,000 ¥3,000 ｼﾘｺﾝ深堀りｴｯﾁﾝｸﾞ(D-RIE) MUC-21 住友精密工業（株） ¥16,000 ¥8,000 手動両面ﾏｽｸｱﾗｲﾅ BA6-BS 裏面ｱﾗｲﾒﾝﾄｵﾌﾟｼｮﾝｽｰｽﾞ･ﾏｲｸﾛﾃｯｸ（株） ¥4,800 ¥2,400 走査型電子顕微鏡(SEM) Quanta250+EDS （株）島津製作所 ¥9,400 ¥4,700 なしなし技術料 CR施設維持管理費 ¥6,000/1日・1人 ¥3,000/半日・1人 ¥3,000/1日・1人 ※1 資本金3億円以下の企業には割引があります。その他、装置によって消耗品のご負担をお願いする場合があります。利用料の具体例プロセスフローシリコンのマイクロ流路を作製する場合使用装置レジスト Si レジスト塗布コータデベロッパーマスクご準備いただくもの・φ4インチSiウェーハ・露光用マスク 4大学ﾅﾉ･ﾏｲｸﾛﾌｧﾌﾞﾘｹｰｼｮﾝｺﾝｿｰｼｱﾑでは、上記以外にもさまざまな微細加工設備有し、また形状観察、評価設備も多数揃っております。まずはお気軽にお問い合わせください。露光手動両面マスクアライナ現像コータデベロッパーシリコン深堀りシリコン深堀エッチング深さ測定レーザ顕微鏡膜厚測定装置レジスト除去アッシャ 1日、1人作業の場合、概算 70,000円川崎市との連携 4大学コンソーシアムの研究成果を地域産業の活性化に生かしていくとともに、先端科学技術による世界への貢献につなげることを目指し、平成21年1月「４大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアムと川崎市との連携協力に関する基本合意」を締結し、新川崎・創造のもりのKBIC 1)及びNANOBIC 2)において活動を展開しています。 1) 2) 3) KBIC, NANOBIC 3) KBIC:かわさき新産業創造センター(川崎市幸区新川崎7-7) NANOBIC:国際ナノ・マイクロ技術事業化支援センター(川崎市幸区新川崎7-7) KAST:公益財団法人神奈川科学技術アカデミー(川崎市高津区坂戸3-2-1 KSP内) 大学・企業