●廉価版 XTM/2 ■廉価版 XTM/2用検出器 用検出器 ●φ70ICF 水晶式検出器（直線型） 名称 型名 φ70ICF 水晶式検出器 983-9125 Ｌ寸法 300 500 700 製品コード 22010 22011 22012 ■仕様 ベーキング温度 冷却水量 リーク量 使用水晶振動子 300℃max 0.15～0.2L/min(30℃max) 5×10-10Pa･m3/sec 以下 008-010-G10 振動子(81-264315) dxf ●φ70ICF 水晶式検出器（L 型） 名称 φ70ICF 水晶式検出器 型名 983-9126 Ｌ寸法 300 500 700 製品コード 22013 22014 22015 ■仕様 ベーキング温度 冷却水量 水冷パイプ最小曲げ半径 リーク量 使用水晶振動子 300℃max 0.15～0.2L/min(30℃max) R30(参考値) 5×10-10Pa･m3/sec 以下 008-010-G10 振動子(81-264315) dxf ●M25 水晶式検出器（直線型） 名称 M25 水晶式検出器 型名 983-9127 Ｌ寸法 300 500 700 製品コード 22016 22017 22018 ■仕様 ベーキング温度 冷却水量 リーク量 使用水晶振動子 105℃max 0.15～0.2L/min(30℃max) 1.3×10-10Pa･m3/sec 以下 008-010-G10 振動子(81-264315) dxf ●M25 水晶式検出器（Ｌ型） 名称 M25 水晶式検出器 型名 983-9128 Ｌ寸法 300 500 700 製品コード 22019 22020 22021 ■仕様 ベーキング温度 冷却水量 水冷パイプ最小曲げ半径 リーク量 使用水晶振動子 105℃max 0.15～0.2L/min(30℃max) R30(参考値) 1.3×10-10Pa･m3/sec 以下 008-010-G10 振動子(81-264315) dxf
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