2004 年 1 月 21 日 軟Ｘ線照射方式 イ リ シ ス 静電気除去装置「IRISYS® -SX」を刷新∼除電範囲拡大・小型化 クリーンルーム営業を推進 高砂熱学工業株式会社 本社・東京都千代田区神田駿河台 4-2-8 社長･石井勝、資本金 131 億 3491 万円 高砂熱学工業は､液晶や半導体の製造に障害をもたらすクリーンルーム内の静 イ リ シ ス 電気を高効率に除去する装置「スーパークリーンイオナイザ IRISYS® -SX」の 照射（除電）範囲を広げ、小型化した新型機種[型式 ISX-224]を 2004 年 2 月 2 日から発売します。 帯電による静電気は、静電気放電や微粒子付着などを誘発し歩留まり低下の原 因となります。コストダウンにしのぎを削る半導体・液晶メーカーにとって、そ の除去は不可欠です。 イ リ シ ス 当社は、新IRISYS®-SX を、クリーンルーム受注のセールスポイントのひとつ とするとともに、装置単独での納入にも注力し、クリーンルームの“ソリューシ ョン”企業としての営業活動を推進していきます。 イ リ シ ス このたびのIRISYS®-SX の新機種への切り替えは、液晶ガラスや半導体ウエハ の大型化、微細化・高集積化、製造工程の進歩に対応して行なうものです。主な 改良点は次の 2 点です。 ●軟Ⅹ線照射角度を 130 度に拡大 照射角度の拡大により照射範囲が広がり(従来は 115 度)、より効果的な除電 が可能です。特に納入先の 8 割以上を占める液晶産業におけるガラス基板の 大型化対応に最適です。 照射角度の拡大は、管球の固定方法の変更等により実現しました。 ●主要機器・軟Ⅹ管ヘッドの体積を 1／2 に小型化 液晶・半導体製造工程に軟Ⅹ線を照射する軟Ⅹ管ヘッドの大きさを 幅 3×奥行 9.6×高さ 5cm とし、大幅な小型化を図りました(体積従来比 52%)。 これにより、製造装置や搬送装置などの狭小スペースへの取付けがより容易 になります。 採用する電子部品の見直し等によって小型化を可能にしました。 イ リ シ ス 新IRISYS®-SX の価格は、従来機種と同じ 600,000 円です（税抜き、取付け 工事費除く）。薄型テレビをはじめとするデジタル家電、携帯電話の需要増を背 景に、今後も液晶、半導体とも活発な設備投資が期待されることから、2004 年 度 500 台、従来機(当面は併売)を含めると 800 台の販売を見込んでおります。 イ リ シ ス IRISYS® -SX とは 静電気を除去するためには、①接地（アース）により静電気を逃がす、②イオ ンによる中和の 2 通りがありますが、プラスチックやセラミックなど絶縁体カセ ットで搬送される電子部品の製造工程では、アース方式は使えません。「イオナ イザ」によるイオン中和方式が、唯一の有効な手段です。 当社は、1994 年に世界で初めて、軟Ｘ線照射によるイオン中和式静電気除去 装置を浜松ホトニクス株式会社と共同開発しました。それまでのイオナイザの欠 点だった発塵やオゾンの発生をなくしたことなどが評価され、液晶メーカー、半 導体メーカー等に、2003 年 9 月末までに 2,544 台を販売してまいりました。 除電原理は、軟Ｘ線管ヘッドから照射されたエネルギーの高い光が、除電対 プラス マイナス 象物近傍のガス(空気)分子をイオン化し、生成された + と − のイオンが±の 引き合う力で除電対象物に吸い寄せられ、静電気を完全に中和するものです。 主な特長 ○短時間での除電が可能 除電対象物の近傍で直接大量のイオンを生成するため、１秒でウエハの 帯電電位を 1／10 まで下げる ○残留電位は常に０(ゼロ)ボルト 正負の電荷が常に均衡しているため、除電後の残留電位は常に０ボルト ○ダストフリー、誘導電圧・電磁ノイズフリー 光照射方式のため、発塵が皆無で、誘導電圧、電磁ノイズも発生しない ○オゾンフリー 空気中の酸素分子も速やかにイオン化するため、オゾン(O3)が発生しない ○気流に影響されない 光の照射されている空間内のガス(空気)をイオン化しているため、 ガスの流動状態に関係なく安定した除電性能が得られる 除電対象物近傍に不均一な気流が存在しても除電性能は影響を受けない ○あらゆる製造装置に適用可能 軟Ｘ線管ヘッド、コントローラのみのシンプルな構成のため 製造装置や搬送系への取付けが容易 ○メンテナンスフリー 日常メンテナンスは不要。軟 X 線管ヘッドの寿命による交換のみ 以 上 イ リ シ ス 新IRISYS® -SX コントローラ(左)と軟Ｘ線管ヘッド この製品に関するお問い合わせ・資料請求先 高砂熱学工業株式会社 東京本店 商品統括部 〒163-1020 東京都新宿区西新宿 3-7-1 新宿パークタワー20F ℡（03)5323-8282 Fax（03)5323-8250
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