Sistema di evaporatore a cannone elettronico !mu&todiaa € 231)00.00 ‘ [VA inclusa ferta economicamente più ioni di°ra: Id gara sarà aggiudicata con ll criterio deIl’ot a (max. 70 punti). vantaggiosa. Valutaziòne economica (ma”. 30 punti) e tecni.c £4’ essere un equipaggiamento dotato di il sistema di evaporatore che si intende acquisire deve ultra alto vuoto, con opportuno sistema di sorgente di evaporazione a cannone elettronico e in ntiene mdtspensabile la preserua di una prt pompaggro e misuratori di pressione Per tale scopo si per permettere l’inserimento dei campioni camera, dotata dì sistema di pompaggio indipendente, inoltre che il sistema sia interfacciato senza rompere il vuoto nella camera principale. Si richiede sistemi di pompaggio dei nusuraton dei tranne p e r’LC per consentire la gestione e il controllo da vuoto, e di rotti i parametri di deposizione. 4A RAT TE RISTI’ jE ECNIHMIME DE LA FORN ITUU Di secuito sono elencati i requisiti minimi richiesti: Camera di deposizione deve essere: • in acciaio elcttropuitto priviistadi. flang&CF tire la visualizzazione dell’interno della dotata di una finestra con shuuer protettivo per consen ne camera nella zona crogWio (per operazione di preevaporazio hiisiirà iaimeno quattro porte cieche per dotata di oite adègù. tipe siskmi:di•.por.pagio di. eventuali implementazioni future prediiiposta per inser.imedto.dF una iinea.di gas mantenendo inalterata la pressione nella • collegata ad:un ptécai•era per iaric&e i campioni camera di deposizione che garantisca un vuoto almeno di • sisuma di pompaggio comprendente una pompa enogentea, t mhar, connessa tramite valvola gaie a 3 posizioni 5x10 re da pressione atmosflrica a 5xlU’ dotata di opportuni rnisuratori di pressione i.n grado di misura mbar dorata di microL’ilancia ai quarzo * Precamera dotata.di turbomolecolare. sistema di pompaggio indipendente comprendente una nompa rnisur’atori.da•vuàto dedièati. sia tenia dì trasldntenio manuale dei campioni da e nella camera ° Cannone Elettronico. li da Ree 4 ni Sorgente di Evaporazione a cannone elettronico con n. crogio potenza. minima 5 kW. dotato di sht.itter sistema di deflessione programmabte XV dei fascio elettronico controllo del cannone possibilità di controllare e rate di deposizione tramite un’unità di elettronico connessa a bilancia al quarzo e al PLC quipaggiato con sistema di iaftreddamcnto tramite thilltr a ciclo duuso onsite 1.òrnito di a[inenò un niàteriale di evaporazione ai momento del collaudo * Portacampione pezzi di dimensioni dotta 4i.: un sisteàu&•pòrtacampione da 4”. che permetta di montare anche: inferiori, almeno di i cnr portacampione rotante con velocità minima duO rprn • possibilità di variare la distanza cmgio’o*portacanipione 500 °C. e dotato di posshilità di riscaldare il campione sino ad mia temperatura di almeno Lennocoppia per il controllo in temperatura tempi di nscaldamento i. di no valutati positivaimaite accorgimenti per ridurre i * * Verran raffrddàmentò detcaim,ioiie Sistema digestione e contralto remoto e da L’ nchiesto un’interfitecia tramite PC cht open sia in locale che in mi sistema PI C che consenta di controllare: “sia atc scqui,nza del ciclo di pompagg.o in ai towauw con gesoone di ‘iarte e pompt “controllo dellc pressioni della camera i della precamera controllo del cannone elettronico controllo della microbilancia al quarzo zioni incinorizzazione delle ricette e possibilità di richiamarle pir l’isecu • visualizzazione dei possibili allarmi remoto so • controllo dello stata della macchina e dei parametri del proces da atica autom te etamen compl o le manua na • possibilita di se]czionart modal Installazione, addestramento e assistenza to in laborarono i gstema dovra essere tornito .onipe!o di aziti i omponenti preiist abtalla a i drmttr i sùbf d&np&iintì funzionante In tale occasione si (o niranno tutti i mwwah del sistem di almeno I giorno per almeno Si preveda anche un addestramento presso la nostra sede della durata 5 rersone. ii Garanzia di almeno i 2 mesi Tempi di coavegna Consegna ed instailazione entro 3 mesi dalla data di stipula del contratto. .ìHSCIPL1NARE DI GARA Aì azione ‘-Caratteristiche e Il punteagin massimo. cari a 71) (settanta) punti. per il criterio di ‘Valut attribuito sulla base p.rbstazioni tecniehcdel sistema di evaporatore a cannone elettronico” verrà dei seguentì stiri criteri: Eeiuento di ndutazioue (nteno Temperatura d.i rieal&ùrehto dei portacamptone 500 °C .Rotaziòne portacampione , Pressione di base in camera Potenza al cannone . Cinte camera-precamera : . Possibilità di modificare la .distanzacrogioio-Øottàcarnpìone Durata garanzia 15 punti :I0 rptn O punti 5 punti 2 t5rpm > 20 rprn 4 mbar 5xW xinbtE 5 kW 6kW manuale 2 punti 5 punti O punti 6puiiir O punti 4 punti O punti 5 punti — - -- .auornàtica . O punti a camera aperta .a.cameta chituia . O punti 3 giorni dalla chiamata I materiale di evaporazione, almeno 25 gr_________ 2 materiali diversi di evaporazione. almeno 25 gr ciascuno, di cui almeno un metallo nobile — -— 5 punti 4 punti O punti 15 punir IS punti O punti 3_punti 6 punti O punti 6 punti 2 punti 2 punti O punti 3 mesi O 5 punti 4 punti EirllachiamJ entrO 4 mmd 1_punti ‘ . 6 punti 5 punti . 8 mesi 1: i 8 mesi 24 mes[ Predisposizione Fittr liuidad[:ja dotata di flussimetro giorni dalla chiamata Intenerito onsttt. durante il periodo di garanzia fempi di consegna ed installazione dallÉ data di stipula 40 tintratto* O Punteggio massimo punti Linea di gas Fornitura materiaU. di tvaporaziòne al moinenro.de[:... collaudo on-site Punteggio 3 punti
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