WE ENG INE FROM ER SOURC E TO PROCE SS PUUR GAS VOOR EXTREEM SCHONE TOEPASSINGEN. TEESING LEVERT UNIEKE GAS PURIFIER SYSTEMEN AAN DE SEMICON INDUSTRIE. De behoefte aan schonere gassen neemt toe in de high tech industrie. Voor een maximale efficiëntie van diverse processen in de chip en semicon markt zijn schone gassen essentieel. Vaak worden gassen als CDA (Clean Dry Air), CO2 en waterstof gezuiverd tot een aanzienlijk verhoogde downstream kwaliteit. Het gas bevat uiteindelijk nog maar heel weinig vervuiling < 0,1 ppb (parts per billion) en heeft een zuivere kwaliteit van 99,99999% (7N). Ook neemt de behoefte aan verhoogde capaciteit toe, daar er steeds meer toepassingen gelijktijdig voorzien moeten worden van schone gassen of “lucht”. Teesing heeft afgelopen jaar meerdere bulk purifier systemen geplaatst die een capaciteit kunnen leveren tussen de 400 en 1200m3/uur, 24 uur per dag/ 7 dagen per week afhankelijk van het gas. Hogere capaciteit systemen zijn vanzelfsprekend ook leverbaar. Al deze systemen worden klantspecifiek geleverd, afhankelijk van de gewenste kwaliteit, capaciteit en optionele features als sample-mogelijkheden voor gaschromatografie. Om een nog constantere kwaliteit en betrouwbaarheid te kunnen garanderen kunnen deze systemen uitgerust worden met een back-up systeem met eigen PLC. In totaal bevinden er zich dan dus 3 purifiers in deze purifier-systemen, 1 purifier is operationeel, 1 purifier regenereert en 1 purifier staat op stand-by. De kans dat het proces stilvalt door storingen is dus minimaal. TEESING B.V. Verrijn Stuartlaan 40 2288 EL Rijswijk The Netherlands Tel +31 70 413 07 00 Fax +31 70 413 07 30 [email protected] www.teesing.com WE ENGINEER FROM SOURCE TO PROCESS TEL +31 7 0 413 07 50 | WWW.TEESING.COM ALLE P RODUC T KUNNE N OP VE EN R ZOEK DUBBE L VERP AKT WORDE N ONDE R CLEAN ROOM CONDIT IES UNIEKE PURIFIER SYSTEMEN Naast de bulk purifiers voor toepassing in de utiliteit levert Teesing ook purifiers voor POU (point of use) gebruik. Deze purifiers zijn compact en flexibel inzetbaar in applicaties als bijvoorbeeld waferproductie, solar cell productie, de fabricage van lampen of glove boxes. Ook de zogenaamde heated getters voor het voornamelijk verwijderen van lichte koolwaterstoffen (bijv CH4) in Argon, Helium of Waterstof zijn leverbaar voor hoge flows. Relatief nieuw in het programma van Teesing zijn de Palladium purifiers voor het produceren van de zuiverste vorm van waterstof, namelijk een zuiverheid van 9N (99,99999999%) waarbij er minder dan 1 ppb aan zuurstof, water, carbon of andere vervuilingen achter blijft,(ongeacht de kwaliteit die aangeleverd wordt). Dit is een zeer duurzame oplossing omdat het Palladium bij juiste bediening van de purifier oneindig lang blijft zuiveren. Deze purifiers worden voornamelijk ingezet bij productieprocessen van fotovoltaïsche cellen, optische vezels en andere high tech toepassingen. Bulk Purifiers Voorbeelden van toepassingen waar schone gassen essentieel zijn: • LED device manufacturing • Silicon Carbide (SiC) epitaxy • Crystal growth • Photovoltaic production • III/V and II/VI MOCVD processes • Polysilicon manufacturing • Silicon & compound semi • Fuel cells Alle purifiers kunnen verregaand worden aangepast aan de wensen van de eindgebruiker om zo de gewenste kwaliteit en zuiverheid van het gas te kunnen produceren. Voor meer informatie neem contact op met een van onze specialisten. Heated Getters POU Purifiers Verschillende Purifiers in uw proces TEL +31 7 0 413 07 50 | WWW.TEESING.COM
© Copyright 2024 ExpyDoc
