研削実験の状況報告
第16回新技術望遠鏡技術検討会
2009年4月11日
京都大学
所 仁志
• ワーク支持冶具基盤の平面研削
• セグメント 非軸対称 粗研削
基盤 平面研削
• 砥石
- WAP60E
• 加工条件
- 前後送りロータリー研削
- 周速度一定(11.5 m/min.)
- 前後送り：10 mm/rev.
- 切込み：1 mm/pass
- 1pass加工時間：13.5 min.
加工直後の形状
• 6 mmの凹
3時間後の形状
• 3 mmの形状変化
形状変化の原因
設定温度
研削液
ターンテーブル
上面
冶具基盤
暖機運転 加工
研削液止める
• 研削液の気化熱で、一時的に基盤に温度勾配が生じ、
基盤が反った
• 研削中の形状は、長時間経過後の形状と同じと推定
補正後の形状
加工直後
3時間後
内周セグメント
• 近似R=10,080.5 mm
• 非球面量 ~ 0.24 mm
360 deg
セグメント粗加工
• 砥石
- #170レジンボンド ダイアモンド砥石
• 加工条件
- 左右送りロータリー研削
- 周速度一定(10 m/min.)
- 左右送り：4.0, 0.75 mm/rev.
- 切込み：30 ~ 10, 2 mm/pass
- 1pass加工時間：31, 165 min.
- 総加工時間：190 + 11時間 ~ 8日
加工後形状誤差
• レーザー変位計 + X-Y同期形状ならい、8方向
• 補正なしで ~4 mm (p-v)、非軸対称性はなさそう
今後の方針
• 砥粒を使った加工では、SSD (SubSurface
damage)が生じる
0.3 L0.68 < SSD (mm) < 2 L0.85
L:砥粒径 (mm)
Lambropoulos (2000)
• #3,000砥石の場合、深さ1 ~ 8 mm
• 研磨で“やさしく”除去する必要あり
#1,200・3,000 (5月中旬～)→ 全面を均一に研
磨・部分研磨（この段階でCGH・もぐらを使う）
• 研磨ユニット（2軸）を設計中
セグメントの形状変化量（3hr）
#170砥石磨耗量

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