副鏡駆動機構のスペック 名大Z研 吉田 憲司 軸の設定 光軸のずれを引き起こす要因 • • • • • 重力変形 ：ｙ方向 鏡筒の角度に依存、再現性あり 取り付け誤差 ：全方向 依存性なし、予測不可 経年変化 ：全方向 依存性なし、予測不可 熱変形 ：ｚ方向 予測困難 風などの外乱 変形量は、およそ１ｍｍ、１００″ このうち外乱以外を副鏡駆動機構で修正 駆動軸の選択 ：３軸制御（θｘ、θｙ、ｚ） ●架台の変形量に制約 ●視野中心の移動 ：５軸制御（ｘ、ｙ、ｚ、θｘ、θｙ） ●視野中心は移動しない ただし、現実的には収差の原因がshiftによるものか tiltによるものか判断できない Shift:理論によるテーブル Tilt:実測によるテーブル パラメータ 焦点 第一 (汎用側) 第二 （MOS側） 視野 許容半径 ０.１° 15μｍ （～0.27″） 30μｍ （～0.55″） １° 許容半径：Encircled energy の計算範囲 波長：0.55μm Encircled energy：＞90％ 結果：第一焦点（汎用側） 視野0.1° 補正レンズなしの場合 ・tilt駆動 ⇒ 鏡筒のたわみによる収差を補正 tiltで補正できる最大shift量は shift:2.0mm （ tilt:340″ ） 結果：第二焦点（MOS側） 視野１° 補正レンズありの場合 ・tilt駆動 ⇒ 鏡筒のたわみによる収差を補正 tiltで補正できる最大shift量は shift:0.9mm （ tilt:150″ ） 必要とされるスペック 汎用焦点… tiltで補正できる最大shift量は 2.0mm （ tilt:340″ ） MOS焦点…tiltで補正できる最大shift量は 0.9mm （ tilt:150″ ） 架台（鏡筒） ⇒ shift 0.9ｍｍ以内 副鏡駆動範囲 ⇒ 340″以上
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