MRトンネル内 (周長 1568 m) 電源室 500 m 制御用コンピュータ EPICS ←電源入切 接点信号→ イオンゲージ ULVAC GI-M2 コントローラ コンベクトロン コントローラ 圧力値→ イーサネット PLC Yokogawa 圧力値→ 開閉信号→ ゲートバルブ (圧空切換弁) 制御用リレー A/D Yokogawa MW100 ←開閉操作 ←電源入切 接点信号→ イオンポンプ (VARIAN) コントローラ イオンポンプ (Gamma) コントローラ 圧力値→ 制御信号 アナログ信号 RS485 Micro IOC EPICSでRS485と通信 するための装置
© Copyright 2025 ExpyDoc