今後の整備計画 (METI委託事業を想定して) 総額 研究開発 エミッション顕微鏡を使用し た誤動作メカニズムの解析 レーザーを使用した誤動作 解析の高効率化 18,700 年度ごとの計画 H21 H22 H23 7000 6700 5000 3,700 1,000 1,700 1,000 3,000 1,000 1,000 1,000 SASEBO を用いたEM解析 12,000 5,000 4,000 3,000 技術の開発 装置等の整備(ハード/ソフト) 40,800 15,500 20,300 5,000 ※ハードは事業終了後に払い下げを検討中/ソフトは共同研究先に無償提供を予定 電流リーク解析 850X4/4,000 5,200 1,200 1,000 誤動作解析(電源グリッチ) 700X6/7,000 8,400 1,400 1,400 誤動作解析(レーザー) 3,600X2/7,000 1,900 9,700 2,600 電磁波リーク解析 (電流リークに含む)/8,000 0 8,000 0 人材育成 6,000 3000 3000 0 合計 65,500 25,500 30,000 10,000
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