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今後の整備計画
（METI委託事業を想定して）
総額
研究開発
エミッション顕微鏡を使用し
た誤動作メカニズムの解析
レーザーを使用した誤動作
解析の高効率化
18,700
年度ごとの計画
H21
H22
H23
7000
6700
5000
3,700
1,000
1,700
1,000
3,000
1,000
1,000
1,000
SASEBO を用いたEM解析
12,000
5,000
4,000
3,000
技術の開発
装置等の整備（ハード／ソフト）
40,800
15,500
20,300
5,000
※ハードは事業終了後に払い下げを検討中／ソフトは共同研究先に無償提供を予定
電流リーク解析
850X4/4,000
5,200
1,200
1,000
誤動作解析（電源グリッチ）
700X6/7,000
8,400
1,400
1,400
誤動作解析（レーザー）
3,600X2/7,000
1,900
9,700
2,600
電磁波リーク解析
(電流リークに含む）/8,000
0
8,000
0
人材育成
6,000
3000
3000
0
合計
65,500
25,500
30,000
10,000

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