NACTS
エア浮上直線走路モジュール L1000,L500
特性テストデータ



2011/2/2
供給エア圧力と消費エア流量
負荷重量と浮上量
正味消費動力
（株）ケンモチ
供給圧力/流量特性
400
350
流量（SLPM）
300
250
L1000ユニット
キャリヤのみ
10Kgw搭載
L1000ユニット
キャリヤのみ
10Kgw搭載
200
150
100
50
0
0.000
0.020
0.040
0.060
0.080
供給圧力（MPa）
2011/2/2
（株）ケンモチ
0.100
0.120
0.140
Ｌ５００ユニット 圧力/流量特性
300
250
SLPM
200
L500ユニットのみ
150
ユニット＆キャリヤー
キャリヤーに12Kgw荷重
L500ユニットのみ
L500ユニット+ｷｬﾘﾔ
100
L500+ｷｬﾘﾔ+10Kgw
50
0
0
0.02
0.04
0.06
0.08
0.1
MPa
2011/2/2
（株）ケンモチ
0.12
0.14
0.16
0.18
エア圧力/流量特性
400
350
エア流量（SLPM）
300
250
200
L1000ユニット
150
L1000キャリヤのみ
L1000ｷｬﾘﾔ10Kgw搭載
100
L500ユニットのみ
L500ユニット+ｷｬﾘﾔ
50
0
0.000
L500+ｷｬﾘﾔ+10Kgw
0.020
0.040
0.060
0.080
0.100
エア圧力（MPa）
2011/2/2
（株）ケンモチ
0.120
0.140
0.160
0.180
L1000ユニット エア流量別の荷重と浮上量の関係
100
90
400SLPM
300SLPM
200SLPM
195SLPM
0
80
浮上量（μｍ）
70
60
50
40
30
20
10
0
0
2011/2/2
2
4
6
荷重（Kgf)
（株）ケンモチ
8
10
12
14
L1000ユニット 供給圧力、荷重と浮上量の関係
160
140
浮上量（μm）
120
100
浮上量（0.1MPa）
浮上量（0.2MPa）
80
60
40
20
0
0
2011/2/2
2
4
8
6
荷重（Kgw）
（株）ケンモチ
10
12
14
L1000ユニット負荷テスト（荷重4～24Kgw）
450
エア流量（SLPM）、浮上量（μｍ）
400
W24流量
350
W24浮上量
W10流量
300
W10浮上量
W6流量
250
W6浮上量
W4流量
200
W4浮上量
150
100
50
0
0.00
2011/2/2
0.02
0.04
0.06
0.08
エア圧(MPa）
（株）ケンモチ
0.10
0.12
0.14
0.16
L1000ユニット 荷重と浮上量/流量（圧力パラメータ）
300
浮上量(μm）/流量(SLPM)
250
200
150
圧力（ＭＰａ） 0.1 流量（SLPM）
圧力（ＭＰａ） 0.1 浮上量（μm）
100
圧力（ＭＰａ） 0.2 流量（SLPM）
圧力（ＭＰａ） 0.2 浮上量（μm）
50
0
0
2011/2/2
2
4
6
8
荷重（Kgw)
（株）ケンモチ
10
12
14
正味消費動力
350.0
正味消費動力（Watt）
300.0
250.0
200.0
150.0
L1000ユニット
L1000キャリヤのみ
100.0
L1000ｷｬﾘﾔ10Kgw搭載
L500ユニットのみ
50.0
0.0
0.000
L500ｷｬﾘﾔ10Kgw搭載
0.020
0.040
0.060
0.080
0.100
エア圧力（MPa）
2011/2/2
（株）ケンモチ
0.120
0.140
0.160
0.180

バリアブルポートバルブ

バタフライバルブ

バタフライバルブ