EMAX-5770の使用方法

JSM-5310使用方法
精密分析室
2010/11/25
目次
始動
試料交換
観察
写真撮影
装置停止
終了
始動
1.配電盤のスイッチをON
通常ONになっています
2.冷却水を流す
3.POWERキーをSTART
まで回す
4.LCDの排気シーケンスが
HT REDYになるまで20分
まつ
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試料交換
1.フィラメントを反時計方向一杯に回す
2.HTをOFF
3.VACUM VENTをON
4.鏡筒内が大気圧になった
らステージを引き出す
5.試料交換し試料室を押し込む
6.VACUM EVACをON
7.LCDにHT READYが表示されれば観察可能
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観察
1.GUN BIASはAUTO
2.IMAGE SEI(ランプ消灯)
3.加速電圧を設定し、HTをON
4.SCANNING MODE LSP1
5.フィラメントをゆっくり加熱する
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写真撮影
PHOTOを押し撮影するとデジカメに自動的に
露出される
画像は上下が幾分カットされます
撮影データはSDカードをコピーするか、PCに
取り込んで使用する
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装置停止
FILAMENT
反時計方向いっぱいに回す
HT OFF
POWERキー OFF
配電盤スイッチ OFF 通常切らなくても良い
10~15分後に冷却水を止める
使用後は検鏡記録をつけてください
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2010.5.18