１．特 徴 自動キャリブレーション あらゆるカメラ向きに対応 様々な軸テーブルに対応 軸テーブルと直接接続して制御する （モーションユニット内蔵） 一回目から高精度アライメント 完成度の高いアライメントソフトが 内蔵されており、装置の稼動が早い モニター画面を見ながら、簡単に操作 選べるサーチ手法 高速処理 自動Calibration FAST特許 説明：カメラの取り付け位置を自動的に高精 度検出する機能 Calibration基準： 検出基準Markの位置（図）ＵＶＷテーブル： 白い→モーター停止 水色→モーター動作 ＋：テーブルの中心 Calibration操作 X方向シフト Y方向シフト －θ回転 マーク中心 ＋θ回転 ＋θ回転 マーク中心 －θ回転 あらゆるカメラ向きに対応 光軸向き不問 光軸周りの回転不問 光軸の傾き不問 視野の違い不問 位置不問 1～4台 様々な軸テーブルに対応 XYθテーブル UVWテーブル Ｘ１ Ｙ２ Ｘ２ Xθ+Yテーブル Ｙ１ 4軸テーブル 4軸テーブル特徴 Ｘ１ Ｙ２ Ｘ２ Ｙ１ 全方向で高剛性を保持 テーブル高精度移動 新アルゴリズムを搭載 軸テーブルを直接制御 (モニター) カメラ＆レンズ (PLC) FValigne r XPe/P 3-800 UN T トラック ボール (FV-aligner-UNT) モータ ドライバ (4軸ステージ) 2．LCD 液晶パネルの応用事例 液晶画面断面図 シール剤 ガラス基板Ⅰ Ⅱ ガ ラ ス 基 板 カラーフィルター 電 極 フレキシブル基板 液 晶 液晶画面 2.1 露光機 UVランプ － 工 程 － 1.ステージにガラス基板を供給 カ メ ラ マスク 2.ターゲットとなるマークを検出 3.アライメント 4.最終精度を確認 5.ＵＶ照射して露光 ガラス基板 ステージ 6.ガラス基板を排出 板 2.2 ガラス貼合機 － 工 ガラス基板 程 － 吸着ヘッド 1.ガラス基盤のマークをカメラ 視野に入れる 2.ターゲットとなるマークを検出 3.ステージにガラス基板Ⅰを供給 4.ガラス基板Ⅰのマークを検出＆ ステージ アライメント 5.ガラス基板ⅠⅡを貼り合わせ 6.ガラス基板ⅠⅡを排出 2.3 点灯検査機 － 工 程 － 1.ターゲットとなるマークを検出 2.ガラス基板ⅠⅡをステージ上に 検査機 供給 3.ガラス基板ⅠⅡのマークを検出 ＆アライメント 4.点灯検査 ガラス基板ⅠⅡ ガラス基板 ステージ 5.ステージからガラス基板ⅠⅡを 排出 2.4 ACF貼合機 － 工 程 － 1.サンプルガラス基板のアライメントマークをターゲット 4.導電性テープを貼り付け 2.ガラス基板ⅠⅡをステージ上に供給 3.アライメントマークを検出＆アライメント 5.ガラス基板①②を排出 加熱加圧ヘッド ガラス基板ⅠⅡ ステージ 導電性テープ 2.5 その他 シール剤塗布機 ダイジングカット機 スクリーン印刷機 FPC貼付機 基盤穴明機 COGマウント 3. システム構成例 FV-aligner-ENG FV-aligner-UNT ・位置合わせに必要な数値だけ ・画像認識から移動量をパルス を出力する画像処理エンジン 数に換算し、軸制御までを実 施 ・軸制御部分は自由に構築可能 指示 カメラ FV-aligner-ENG 指示 シーケンサ等 カメラ FV-aligner-UNT 移動量 軸ドライバ ＆ モータ 軸ドライバ ＆ モータ シーケンサ等
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