超高純度炭化ケイ素 GMF-CVD

2008.12
超高純度炭化ケイ
超高純度炭化ケイ素粉末
ケイ素粉末
GMF-CVD,GMF-60FH2
GMFGMF-CVD, GMFGMF-60FH2は、当社独自の
60FH2は、当社独自の
技術で精製した高純度パウダーです。
パワーデバイス・LED
パワーデバイス・LED・通信デバイス等の
LED・通信デバイス等の
単結晶SiC
単結晶SiC用の原料として適しておりま
SiC用の原料として適しておりま
す。
GMF-CVD
■ 粒度分布図
100
累積 [%]
80
GMF-CVD
GMF-60FH2
60
40
20
GMF-60FH2
0
10
100
1000
10000
粒子径 [µ m]
■不純物含有率 (加圧分解法 ICP-AES : 代表値)
元素[ppm]
元素
項目
主な
結晶形
Fe
Ni
Ca
Al
P
B
Na
K
Ti
V
Zr
N
GMF-CVD
3C
(βSiC)
0.1
0.1
0.1
<1
<0.1
<0.1
<0.1
<0.1
<0.1
0.1
<0.1
2
GMF-60FH2
6H,4H
(αSiC)
5
0.8
0.5
14
1
<0.1
0.4
<1
3.5
0.7
0.4
123
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