超高真空フランジ UFCシリーズ寸法表

ULVAC Equipment Sales, Inc.
アルバック販売株式会社
寸 法 表
(単位:mm )
UFC 固定フランジ寸法表
寸 法
型 式
UFC034-000FH
UFC034-006FHS
UFC034-010FH
UFC034-010FHS
UFC034-018FH
UFC054-000FH
UFC054-022FH
UFC054-025FH
UFC070-000FH
UFC070-025FH
UFC070-032FH
UFC070-040FH
FT
FTS
FT
FTS
FT
FT
FT
FT
FT
FT
FT
FT
UFC070-042FH
FT
UFC114-000FH
UFC114-065FH
UFC152-000FH
UFC152-100FH
UFC203-000FH
UFC203-150FH
UFC253-000FH
UFC253-200FH
UFC306-000FH
UFC306-250FH
FT
FT
FT
FT
FT
FT
FT
FT
FT
FT
A
33.8
33.8
33.8
33.8
33.8
54.0
54.0
54.0
69.3
69.3
69.3
69.3
B
―
フランジ寸法
C
7.2
7.2
7.2
7.2
7.2
10.0
10.0
10.0
12.7
12.7
12.7
12.7
D
1.2
1.2
4.6
1.2
11.2
3.5
5.0
5.0
3.8
5.3
5.3
5.3
K
18.3
18.3
10.2
18.3
15.0
26.5
22.2
25.7
34.8
25.7
31.9
38.3
d
4.4( M4 )
4.4( M4 )
4.4( M4 )
4.4( M4 )
4.4( M4 )
6.0( M5 )
6.0( M5 )
6.0( M5 )
6.8( M6 )
6.8( M6 )
6.8( M6 )
6.8( M6 )
接続パイプ
外径
内径
―
―
6.35
4.35
10.0
8.0
10.0
8.0
18.0
16.0
―
―
21.7
18.7
25.4
22.4
―
―
25.4
22.4
31.8
28.8
38.1
35.1
タ
イ
プ
6.4
10.2
10.2
18.0
―
22.2
25.7
―
25.7
31.9
38.3
PCD
27.0
27.0
27.0
27.0
27.0
43.0
43.0
43.0
58.7
58.7
58.7
58.7
69.3
42.9
58.7
12.7
10.7
39.0
6.8( M6 )
m
42.7
39.4
113.5
113.5
151.6
151.6
202.4
202.4
253.2
253.2
306.0
306.0
―
63.8
―
102.0
―
152.9
―
203.8
―
256.0
92.2
92.2
130.3
130.3
181.1
181.1
231.9
231.9
284.0
284.0
17.5
17.5
19.8
19.8
22.4
22.4
24.6
24.6
27.0
27.0
5.0
7.0
4.8
7.1
9.7
12.7
9.7
12.7
10.0
13.0
63.8
63.8
102.0
102.0
152.9
152.9
203.7
203.7
256.0
256.0
8.5( M8 )
8.5( M8 )
8.5( M8 )
8.5( M8 )
8.5( M8 )
8.5( M8 )
8.5( M8 )
8.5( M8 )
8.5( M8 )
8.5( M8 )
a
b
a
b
a
b
a
b
a
b
―
63.5
―
101.6
―
152.4
―
203.2
―
254.0
―
59.5
―
97.6
―
146.4
―
197.2
―
248.0
c
d
b
d
e
a
b
b
a
b
b
b
ボルト
径 × 長さ
N
(外径 × 内径 × 厚さ)
ガスケット型式
M4×20( 16 )
6
UFC034G
( 21.3×16.3×2 )
M5×30( 20 )
6
M6×35( 25 )
6
UFC054G
( 34.8×26.0×2 )
UFC070G
( 48.1×36.9×2 )
UFC070GS
( 48.1×40.0×2 )
UFC114G
M8×45( 35 )
8
M8×50( 40 )
16
M8×55( 45 )
20
M8×60( 50 )
24
M8×65( 55 )
32
ボルト
径 × 長さ
N
M4×20
6
UFC034G
( 21.3×16.3×2 )
M5×30
6
UFC054G
( 34.8×26.0×2 )
M6×35
6
UFC070G
( 48.1×36.9×2 )
M8×50
8
M8×55
16
M8×60
20
M8×60
24
M8×65
32
( 82.4×63.7×2 )
UFC152G
( 120.5×101.8×2 )
UFC203G
( 171.2×152.6×2 )
UFC253G
( 222.1×203.4×2 )
UFC306G
( 273.0×258.0×2 )
※FH、FHS は通しボルト穴型、FT、FTS はタップ穴型です。
※ フランジ寸法の d およびボルト寸法の数値は FH、FHS の寸法で( )内の数値は FT、FTS の寸法です。
UFC 回転フランジ寸法表
寸 法
型 式
UFC034 -000RH
UFC034-006RHS
UFC034 -010RH
UFC034-010RHS
UFC034-018RH
UFC054-000RH
UFC054-022RH
UFC054-025RH
UFC070-000RH
UFC070-025RH
UFC070-032RH
UFC070-040RH
UFC114-000RH
UFC114-065RH
UFC152-000RH
UFC152-100RH
UFC203-000RH
UFC203-150RH
UFC253-000RH
UFC253-200RH
UFC306-000RH
UFC306-250RH
A
33.8
33.8
33.8
33.8
33.8
54.0
54.0
54.0
69.3
69.3
69.3
69.3
113.5
113.5
151.6
151.6
202.4
202.4
253.2
253.2
306.0
306.0
B
―
6.4
10.2
10.2
18.0
―
22.2
25.7
―
25.7
31.9
38.3
―
63.8
―
102.0
―
152.9
―
203.8
―
256.0
PCD
27.0
27.0
27.0
27.0
27.0
43.0
43.0
43.0
58.7
58.7
58.7
58.7
92.2
92.2
130.3
130.3
181.1
181.1
231.9
231.9
284.0
284.0
フランジ寸法
C
D
7.2
1.2
7.2
1.2
7.2
4.6
7.2
1.2
7.2
11.2
10.0
1.2
10.0
5.0
10.0
5.0
12.7
2.0
12.7
5.3
12.7
5.3
12.7
5.3
19.1
5.0
19.1
7.0
21.3
4.8
21.3
7.1
23.9
9.7
23.9
12.7
24.6
9.7
24.6
12.7
27.0
10.0
27.0
13.0
E
5.8
5.8
5.8
5.8
5.8
6.6
6.6
6.6
7.6
7.6
7.6
7.6
12.7
12.7
14.3
14.3
15.9
15.9
17.2
17.2
18.0
18.0
K
18.3
18.3
10.2
18.3
15.0
29.6
22.2
25.7
41.3
25.7
31.9
38.3
63.8
63.8
102.0
102.0
152.9
152.9
203.7
203.7
256.0
256.0
d
4.4
4.4
4.4
4.4
4.4
6.0
6.0
6.0
6.8
6.8
6.8
6.8
8.5
8.5
8.5
8.5
8.5
8.5
8.5
8.5
8.5
8.5
タ
イ
プ
l
i
k
i
j
h
g
g
h
g
g
g
f
g
f
g
f
g
f
g
f
g
接続パイプ
外径
内径
―
―
6.35
4.35
10.0
8.0
10.0
8.0
18.0
16.0
―
―
21.7
18.7
25.4
22.4
―
―
25.4
22.4
31.8
28.8
38.1
35.1
―
―
63.5
59.5
―
―
101.6
97.6
―
―
152.4
146.4
―
―
203.2
197.2
―
―
254.0
248.0
ガスケット型式(外径
× 内径 × 厚さ)
UFC114G
( 82.4×63.7×2 )
UFC152G
( 120.5×101.8×2 )
UFC203G
( 171.2×152.6×2 )
UFC253G
( 222.1×203.4×2 )
UFC306G
( 273.0×258.0×2 )
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