低パーティクル仕様

超高性能光学薄膜用蒸着装置
低パーティクル仕様
お客様のご要望をカタチにし生産性を向上させた装置を提供します
１．高効率排気システム
２．低パーティクル仕様（オプション）
３．高精度膜厚制御システム
４．高出力・大面積照射イオンソース
装置のご提案からプロセスのご協力まで、昭和真空がサポートします
Ｓａｐｉｏ1300/1550 はお客様の負荷軽減に貢献します
お問合せ先【営業部】
ＴEＬ：042-764-0370 FAX：042-764-0377
E-mail：[email protected]
URL http://www.showashinku.co.jp
<本社・相模原工場>〒252-0244 神奈川県相模原市中央区田名 3062-10

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